技术总结
本实用新型公开了一种碳化硅品质检验装置，包括电源、存储器、MCU处理器和计算机控制装置，所述电源和存储器均与MCU处理器电性连接，所述计算机控制装置通过数据采集与处理装置和MCU处理器信号连接，所述MCU处理器电性连接有电子显微镜、LED显示屏和控制按钮，所述MCU处理器还电性连接有CCD扫描装置。本实用新型智能化程度高，设计合理，操作简单，很好地解决了现有技术对碳化硅检测效率低和精度低的问题。
技术研发人员：宗艳民
受保护的技术使用者：山东天岳先进材料科技有限公司
文档号码：201620030649
技术研发日：2016.01.13
技术公布日：2016.11.30