用于半导体激光光纤耦合模块测试治具的制作方法与工艺

文档序号:11782275阅读:来源:国知局
用于半导体激光光纤耦合模块测试治具的制作方法与工艺

技术特征:
1.一种用于半导体激光光纤耦合模块测试治具,其特征在于,包括:散热载台,用于承载激光光纤耦合模块,并在测试时对所述激光光纤耦合模块进行液冷式散热;压紧单元,用于以弹性压紧方式将所述激光光纤耦合模块压紧在所述散热载台上进而进行测试。2.根据权利要求1所述的用于半导体激光光纤耦合模块测试治具,其特征在于,所述散热载台包括:基板;绝缘层垫,设于所述基板上;水槽,设于所述绝缘层垫上;散热金属板,设于所述水槽上,用于承载所述激光光纤耦合模块的下表面。3.根据权利要求2所述的用于半导体激光光纤耦合模块测试治具,其特征在于,所述散热载台还包括半导体制冷片,所述半导体制冷片,设于所述水槽和所述散热金属板之间。4.根据权利要求3所述的用于半导体激光光纤耦合模块测试治具,其特征在于,所述散热载台还包括进、出水水管,所述进、出水水管与所述水槽构成流体回路。5.根据权利要求1所述的用于半导体激光光纤耦合模块测试治具,其特征在于,所述压紧单元包括:固定机构;滑动机构,与所述固定机构相固定;控制机构,与所述固定机构相固定并与所述滑动机构活动配合;弹性机构,与所述控制机构相连接,以在所述控制机构的作用下进行升降。6.根据权利要求5所述的用于半导体激光光纤耦合模块测试治具, 其特征在于,所述固定机构包括:支撑杆;横梁块,固定于所述支撑杆上;L型载板,固定于所述横梁块上。7.根据权利要求6所述的用于半导体激光光纤耦合模块测试治具,其特征在于,所述滑动机构包括:滑轨安装板,固定于所述横梁块上;滑动导轨,固定于所述滑轨安装板上;滑块,与所述滑动导轨滑动配合。8.根据权利要求7所述的用于半导体激光光纤耦合模块测试治具,其特征在于,所述控制机构包括:快速夹,固定于所述横梁块上;连接板,安装于所述快速夹上。9.根据权利要求8所述的用于半导体激光光纤耦合模块测试治具,其特征在于,所述弹性机构包括:弹簧支撑块,连接于所述连接板的底部;弹簧伸缩板,与所述弹簧支撑块相固定;弹簧引导杆,一端穿设于所述弹簧伸缩板上;弹簧,套设于所述弹簧引导杆上;硅胶软垫安装板,连接于所述弹簧引导杆的另一端,所述弹簧位于所述弹簧伸缩板和所述硅胶软垫安装板之间;弹性硅胶垫,固定于所述硅胶软垫安装板表面,用于弹性压住所述激光光纤耦合模块的上表面。10.根据权利要求9所述的用于半导体激光光纤耦合模块测试治具,其特征在于,所述弹簧引导杆和所述弹簧为四组。
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