单列式时栅直线位移传感器的制作方法

文档序号:12188046阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种单列式时栅直线位移传感器,包括定尺和动尺,定尺包括定尺基体和激励线圈,激励线圈沿测量方向呈矩形波绕制,动尺包括动尺基体和第一、第二感应线圈,第一、第二感应线圈采用半正弦绕线方式绕制,第一、第二感应线圈与激励线圈正对平行;激励线圈中通入正弦激励电流,当动尺相对定尺运动时,第一、第二感应线圈输出两路感应信号,将第一感应线圈输出的感应信号移相90°后与第二感应线圈输出的感应信号叠加形成行波信号,再与同频率参考信号进行比相,相位差由插补的高频时钟脉冲个数表示,经换算后得到直线位移。该传感器结构简单,测量分辨力高,易批量制造,成本低。

技术研发人员:杨继森;张静;高义;李明;李路健
受保护的技术使用者:重庆理工大学
文档号码:201621047272
技术研发日:2016.09.09
技术公布日:2017.03.08

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