用于石英坩埚质量检验的支架结构的制作方法

本实用新型涉及石英坩埚质量检验辅助设备，特别是一种用于石英坩埚质量检验的支架结构。

背景技术：

石英玻璃坩埚在采用切克劳斯基(Czochralski)法拉制单晶硅时，是作为盛放硅熔体的容器。其生产过程是通过利用石墨电极放电产生的电弧，熔融在特定形状模具内的石英砂而得到的。在坩埚熔融过程中，由于熔制条件极难控制，同时受到原料方面的影响，有时会在坩埚内表面产生类似“白点”、“黑点”、“附着物”和“气泡”等缺陷。当这些缺陷严重到一定程度，在拉制单晶硅时，将影响单晶硅的生长，降低单晶硅的产率和合格率，严重的还会损坏拉制单晶的设备。所以坩埚的质量检验在坩埚生产过程中是很重要的一项流程。

一般在坩埚质量检验过程中，坩埚会放在一个较平稳的平台上。检验员会在较明亮的条件下，近距离观察坩埚内表面的缺陷。为了检查到内表面所有的部分，检验员会不停的转动并搬动坩埚，并且可能会反复观察多次。当坩埚很大很重时，移动起来会非常不便。这在一定程度上减慢了检验的速度，降低了检验的效率。

技术实现要素：

本实用新型的目的是为了提供一种解决上述问题的提高检验效率的用于石英坩埚质量检验的支架结构，使坩埚能够自由的转动，方便质检员的操作。

本实用新型的技术方案是：

一种用于石英坩埚质量检验的支架结构，其特征在于：由底座、设于底座上的侧壁滚动支撑体、底部滚动支撑体和照明装置组成，所述底座上表面为斜面，所述底部滚动支撑体位于斜面低端位置处，由固定支架、与固定支架连接的活动支架、固定于活动支架上的滚轮Ⅰ组成，所述滚轮Ⅰ的轴心线与斜面垂直，所述侧壁滚动支撑体位于斜面中部位置处，由沿斜面长度方向间隔排布的相互平行的两个支撑横梁、设于每个支撑横梁两端的三角形支架、设于每个三角形支架顶部的滚轮Ⅱ组成，所述滚轮Ⅱ的轴心线与斜面平行，每个支撑横梁上的两个滚轮Ⅱ的轴心线相互平行，两个支撑横梁对应端的两个滚轮Ⅱ的轴心线重合，经过所述滚轮Ⅰ的轴心线且与地面垂直的面为支撑横梁两端的滚轮Ⅱ的对称中心面。

上述的用于石英坩埚质量检验的支架结构,所述照明装置由蛇形万向杆、灯罩、灯泡、开关、电线、插头组成，所述蛇形万向杆固定在侧壁滚动支撑体和底部滚动支撑体之间的底座边沿。

上述的用于石英坩埚质量检验的支架结构,所述底座上表面沿其长度方向设有多组对应支撑横梁的安装孔，以根据坩埚尺寸调整安装位置。

上述的用于石英坩埚质量检验的支架结构,所述固定支架由等腰三角形支架和直角形支架焊接而成，所述直角形支架的高度棱边与等腰三角形支架的高度棱边重合，所述活动支架呈F状，其立棱与等腰三角形支架的高度棱边利用螺栓连接固定，所述活动支架的横棱末端开设有对应滚轮Ⅰ的凹槽。

上述的用于石英坩埚质量检验的支架结构,所述滚轮Ⅰ和滚轮Ⅱ分别由两端带有螺纹的固定轴、固定于固定轴中部的滚珠轴承、固定于滚珠轴承外圈上的尼龙或聚氨酯轮体组成，所述滚轮Ⅰ的固定轴两端利用螺母固定在活动支架上，所述滚轮Ⅱ的固定轴两端利用螺母固定在三角形支架上。

上述的用于石英坩埚质量检验的支架结构,所述活动支架和三角形支架对应固定轴的位置设有半开放安装孔，以方便安装维护。

上述的用于石英坩埚质量检验的支架结构,所述底座为具有稳定支撑功能的楔形框架结构，由至少12条棱边焊接组成，包括两根短高度棱、两根长高度棱、四根位于高度棱下部并将四根高度棱连接为一体的下固定棱边、四根位于高度棱顶部并将四根高度棱连接为一体的上固定棱边，上、下固定棱边分别焊接成矩形框状。

上述的用于石英坩埚质量检验的支架结构,所述底座、固定支架、活动支架和三角形支架分别利用角型或方管型板材焊接组成。

本实用新型的有益效果是：

1、通过采用侧壁滚动支撑体和底部滚动支撑体使底座上方滚动以方便检验各个位置，不需要人为费力搬动坩埚，操作方便，使用可靠，省时省力，提高了坩埚检验效率。

2、底座上表面为斜面，底部滚动支撑体位于斜面低端位置处顶靠坩埚底部，保证了坩埚在滚动过程中，不会发生滑落，保证了使用的安全性和可靠性。

3、通过调整侧壁滚动支撑体的滚轮Ⅱ在底座上的间距及底部滚动支撑体的滚轮Ⅰ的高度适应不同直径和高度的坩埚，调整方便快捷，适用性广。

4、照明装置近距离照射坩埚，显著提高坩埚检验的准确性。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型的侧壁滚动支撑体的结构示意图；

图3是本实用新型的活动支架的结构示意图。

图中：1.底座、101.短高度棱、102.长高度棱、103.下固定棱边、104.上固定棱边、104a.安装孔、2.侧壁滚动支撑体、201.支撑横梁、202.三角形支架、202a.半开放安装孔、203.滚轮Ⅱ、3.底部滚动支撑体、301.等腰三角形支架、302.直角形支架、303.立棱、304.横棱、304a.半开放安装孔、305.滚轮Ⅰ、4.照明装置。

具体实施方式

如图1-图3如示，该用于石英坩埚质量检验的支架结构，由底座1、设于底座1上的侧壁滚动支撑体2、底部滚动支撑体3和照明装置4组成。

所述底座1为具有稳定支撑功能的楔形框架结构，由至少12条棱边焊接组成，包括两根短高度棱101、两根长高度棱102、四根位于高度棱下部并将四根高度棱连接为一体的下固定棱边103、四根位于高度棱顶部并将四根高度棱连接为一体的上固定棱边104，上、下固定棱边103、104分别焊接成矩形框状。所述底座1上表面所在平面为斜面。所述底部滚动支撑体3位于斜面低端位置处，由固定支架、与固定支架连接的活动支架、固定于活动支架上的滚轮Ⅰ305组成，所述滚轮Ⅰ305的轴心线与底座1的斜面垂直。所述固定支架由等腰三角形支架301和直角形支架302焊接而成，所述直角形支架302的高度棱边与等腰三角形支架301的高度棱边重合，所述活动支架呈F状，其立棱303与等腰三角形支架301的高度棱边利用螺栓连接固定，所述活动支架的横棱304末端开设有对应滚轮Ⅰ305的凹槽。所述侧壁滚动支撑体2位于斜面中部位置处，由沿斜面长度方向间隔排布的相互平行的两个支撑横梁201、设于每个支撑横梁201两端的三角形支架202、设于每个三角形支架202顶部的滚轮Ⅱ203组成，所述滚轮Ⅱ203的轴心线与底座1的斜面平行，每个支撑横梁201上的两个滚轮Ⅱ203的轴心线相互平行，两个支撑横梁201对应端的两个滚轮Ⅱ203的轴心线重合，经过所述滚轮Ⅰ305的轴心线且与地面垂直的面为支撑横梁201两端的滚轮Ⅱ203的对称中心面。所述底座1上表面沿其长度方向设有多组对应支撑横梁201的安装孔104a，以根据坩埚尺寸调整安装位置。所述滚轮Ⅰ305和滚轮Ⅱ203分别由两端带有螺纹的固定轴、固定于固定轴中部的滚珠轴承、固定于滚珠轴承外圈上的尼龙或聚氨酯轮体组成，所述滚轮Ⅰ305的固定轴两端利用螺母固定在活动支架上，所述滚轮Ⅱ203的固定轴两端利用螺母固定在三角形支架202上。所述活动支架的横棱304和三角形支架202对应固定轴的位置分别设有半开放安装孔304a、202a，以方便安装维护。所述照明装置4由蛇形万向杆401、灯罩402、灯泡、开关、电线、插头组成，所述蛇形万向杆401固定在侧壁滚动支撑体2和底部滚动支撑体3之间的底座1边沿，蛇形万向杆401的长度需能覆盖坩埚底部和侧壁。

底座1、固定支架、活动支架和三角形支架202分别由至少30mm宽的钢制或铁制的角型或方管型板材焊接组成。底座1为具有稳定支撑功能的楔形框架结构，整体在平地上不晃动。其中下固定棱边103焊接成矩形框状，长800mm，宽600mm；短高度棱101长800mm-1200mm长高度棱102比短高度棱101长30mm-50mm；上固定棱边104焊接成矩形框状，保证所在平面与水平面呈一定角度。对于不同直径的坩埚，需要准备不同的活动支架，其立棱303的长度使滚轮Ⅰ305能恰好位于坩埚底部中心。

实施例1

以检测18英寸和20英寸坩埚为例，采用30mm宽的角钢作为支撑和结构部件。

底座1的下固定棱边103焊接成长800mm、宽600mm的矩形框；短高度棱101长900mm；长高度棱103长950mm；固定支架的等腰三角形支架301的底边棱距底座低端的上固定棱边104的距离为200mm；底座1上表面沿其长度方向设有的相邻的两组安装孔104a的间距为50mm，共开设八组。支撑横梁201两端的三角形支架202的安装孔的间距为570mm，三角形支架202的高度为100mm，支撑横梁201两端的两个滚轮Ⅱ203的轴心线相距400mm。固定支架的高度为300mm，活动支架的横棱304长50mm，末端开设有对应滚轮Ⅰ305的宽度为10mm的凹槽，用于固定滚轮Ⅰ305。滚轮Ⅰ、Ⅱ305、203的直径分别为30mm、厚度为15mm。对于直径18英寸的坩埚，活动支架高250mm；对于直径20英寸的坩埚，活动支架高300mm，使滚轮Ⅰ能恰好位于坩埚底部中心。照明装置4采用500mm长的蛇形万向杆，使用220V交流电。在本实用新型的使用过程中，18寸坩埚平均检查时间节省了2分钟，20寸坩埚节省了3分钟。

实施例2

以检测22英寸和24英寸坩埚为例，采用40mm宽的角钢作为支撑和结构部件。

底座1的下固定棱边103焊接成长800mm、宽600mm的矩形框；短高度棱101长1100mm；长高度棱102长1130mm；固定支架的等腰三角形支架301的底边棱距底座低端的上固定棱边104的距离为200mm；底座1上表面沿其长度方向设有的相邻的两组安装孔104a的间距为50mm，共开设八组。支撑横梁201两端的三角形支架202的安装孔的间距为560mm，三角形支架202的高度为50mm，支撑横梁201两端的两个滚轮Ⅱ202的轴心线相距400mm。固定支架的高度为350mm，活动支架的横棱304长80mm，末端开设有对应滚轮Ⅰ305的宽度为10mm的凹槽，用于固定滚轮Ⅰ305。滚轮Ⅰ、Ⅱ305、203的直径分别为60mm、厚度为20mm。对于直径22英寸的坩埚，活动支架高280mm；对于直径24英寸的坩埚，活动支架高306mm，使滚轮Ⅰ能恰好位于坩埚底部中心。照明装置4采用600mm长的蛇形万向杆401，使用220V交流电。在本实用新型的使用过程中，22寸和24寸坩埚的平均检查时间均节省了3分钟。