1.一种ITO电极三维图案检测光路系统，包括一个数字全息光路和一个待检ITO薄膜(7)，其特征在于，在所述数字全息光路上设置一个激光器(1)，激光器(1)出射激光束面上设有一块分光棱镜(4)，在分光棱镜(4)和激光器(1)之间设置有空间滤波器(2)；在所述分光棱镜(4)半透射方向设置有一块参考光面平面反射镜(5)，在分光棱镜(4)半反射方向设置有一块物光平面反射镜(6)；物光平面反射镜(6)的反射光路上设有待检ITO薄膜(7)，参考光面平面反射镜(5)的反射光束与物光平面反射镜(6)的反射光束汇聚处设有汇聚分光棱镜(8)，光束经汇聚分光棱镜汇聚；并在CCD/CMOS图像传感器(9)表面发生干涉，CCD/CMOS图像传感器(9)与计算机(10)连接，对所述CCD/CMOS图像传感器(9)采集到的干涉图像进行去噪、解包裹相位、三维重建得到ITO薄膜(7)电极图案的三维轮廓信息，对电极图案的缺陷进行定量检测与分析。
2.根据权利要求1所述的一种ITO电极三维图案检测光路系统，其特征在于，所述数字全息光路上空间滤波器(2)包括显微物镜和设在显微物镜上的针孔，空间滤波器(2)的出射光路上设有一个准直镜头(3)。
3.根据权利要求1所述的一种ITO电极三维图案检测光路系统，其特征在于，所述参考光面平面反射镜(5)和物光平面反射镜(6)与出射激光束成倾斜角度设置，倾斜角度为45°。
4.根据权利要求1所述的一种ITO电极三维图案检测光路系统，其特征在于，所述汇聚分光棱镜(8)与参考光面平面反射镜(5)和物光平面反射镜(6)呈倾斜角度设置，光束经汇聚分光棱镜(8)汇聚后以离轴光束在CCD/CMOS图像传感器(9)表面发生干涉，以实现离轴数字全息光路对ITO薄膜电极图案进行检测。
5.根据权利要求1所述的一种ITO电极三维图案检测光路系统，其特征在于，所述汇聚分光棱镜(8)与参考光面平面反射镜(5)和物光平面反射镜(6)平行设置，光束经汇聚分光棱镜(8)汇聚后以同轴光束在CCD/CMOS图像传感器(9)表面发生干涉，以实现同轴数字全息光路对ITO薄膜电极图案进行检测。
6.根据权利要求1所述的一种ITO电极三维图案检测光路系统，其特征在于，所述数字全息光路采用马赫-曾德Mach-Zender式干涉光路。