技术总结
本实用新型公开了一种ITO电极三维图案检测光路系统，包括一个数字全息光路和一个待检ITO薄膜，在数字全息光路上设置一个激光器，激光器出射激光束面上设有一块分光棱镜，在分光棱镜和激光器之间设置有空间滤波器；分光棱镜半透射方向和半反射方向各设有一参考光面平面反射镜和一物光平面反射镜；物光平面反射镜的反射光路上设有待检ITO薄膜，参考光面平面反射镜的反射光束与物光平面反射镜的反射光束汇聚处设有汇聚分光棱镜，光束经汇聚分光棱镜汇聚；并在CCD/CMOS图像传感器表面发生干涉，CCD/CMOS图像传感器与计算机连接，对采集到的干涉图像进行去噪、解包裹相位、三维重建得到ITO薄膜电极图案的三维轮廓信息，对电极图案的缺陷进行定量检测与分析。
技术研发人员：姚震;吴易明;朱帆;尹逊龙;樊鹏格
受保护的技术使用者：西安中科光电精密工程有限公司
文档号码：201621309526
技术研发日：2016.11.30
技术公布日：2017.05.31