化学传感器及其制造方法与流程

文档序号:11108623阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种化学传感器,其具有一感测区,其特征在于,该化学传感器包含:

一基材,该基材具有一基材表面与至少一沟槽,该至少一沟槽位于该基材表面,且该至少一沟槽延伸至该感测区;

至少一电极,位于该至少一沟槽中,该至少一电极的厚度小于或等于该至少一沟槽的深度,且该至少一电极延伸至该感测区;以及

至少一反应层,覆盖位于该感测区的该至少一电极,该至少一反应层包含一反应材料与一磷酸盐缓冲材料,该磷酸盐缓冲材料的磷酸二氢根体积摩尔浓度为0.22M至0.28M,且该磷酸盐缓冲材料的pH值为7.0。

2.根据权利要求1所述的化学传感器,其特征在于,该反应材料覆盖该至少一电极,该磷酸盐缓冲材料覆盖该反应材料。

3.根据权利要求1所述的化学传感器,其特征在于,该磷酸盐缓冲材料覆盖该至少一电极,该反应材料覆盖该磷酸盐缓冲材料。

4.根据权利要求1所述的化学传感器,其特征在于,该反应材料与该磷酸盐缓冲材料彼此混合。

5.根据权利要求1所述的化学传感器,其特征在于,该至少一沟槽延伸并通过该感测区,且该至少一电极延伸并通过该感测区。

6.根据权利要求1所述的化学传感器,其特征在于,更包含一盖板与一绝缘层,该盖板位于该基材表面,该绝缘层位于该盖板与该基材之间。

7.一种化学传感器的制造方法,该化学传感器具有一感测区,其特征在于,该方法包含:

提供一基材;

形成至少一沟槽于该基材的一基材表面,并延伸至该感测区;

形成至少一电极于该至少一沟槽中,其中该至少一电极的厚度小于或等于该至少一沟槽的深度,且该至少一电极延伸至该感测区;以及

形成一反应层于该感测区内并覆盖该至少一电极,该反应层包含一反应材料与一磷酸盐缓冲材料,该磷酸盐缓冲材料的磷酸二氢根体积摩尔浓度为0.22M至0.28M,且该磷酸盐缓冲材料的pH值为7.0。

8.根据权利要求7所述的化学传感器的制造方法,其特征在于,形成该反应层于该感测区内并覆盖该至少一电极的步骤包含:

设置该反应材料于该感测区内并覆盖该至少一电极;以及

设置该磷酸盐缓冲材料于该感测区内并覆盖该反应材料。

9.根据权利要求7所述的化学传感器的制造方法,其特征在于,形成该反应层于该感测区内并覆盖该至少一电极的步骤包含:

设置该磷酸盐缓冲材料于该感测区内并覆盖该至少一电极;以及

设置该反应材料于该感测区内并覆盖该磷酸盐缓冲材料。

10.根据权利要求7所述的化学传感器的制造方法,其特征在于,形成该反应层于该感测区内并覆盖该至少一电极的步骤包含:

混合该反应材料与该磷酸盐缓冲材料以形成一混合物;以及

设置该混合物于该感测区内并覆盖该至少一电极。

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