硅基缝隙耦合式T型结的间接式毫米波信号检测器的制作方法

文档序号:12658203阅读:来源:国知局
技术总结
本发明的硅基缝隙耦合式T型结的间接式毫米波信号检测器是由共面波导传输线、缝隙耦合结构、移相器、单刀双掷开关、T型结功分器、T型结功合器以及间接式热电式功率传感器所构成,基于高阻Si衬底制作,其上有四个缝隙耦合结构,上方的两个缝隙耦合结构实现信号的频率测量,下方的两个缝隙耦合结构实现信号的相位测量,在前后缝隙之间有一个移相器;T型结功分器和T型结功合器是由共面波导传输线、扇形缺陷结构和空气桥所组成;间接式热电式功率传感器由共面波导传输线、终端电阻以及热电堆所构成,热电堆是由两种不同的半导体臂级联组成。这些结构能够将频率、相位和功率检测集成在一起,大大提高了信号检测器的效率。

技术研发人员:廖小平;褚晨蕾
受保护的技术使用者:东南大学
文档号码:201710052669
技术研发日:2017.01.24
技术公布日:2017.06.13

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