检查夹具及具备该检查夹具的检查装置的制作方法

本发明涉及检查夹具及具备该检查夹具的检查装置，尤其涉及用于对电路基板等检查对象进行电检查的检查夹具及具备该检查夹具的检查装置。

背景技术：

以往，在对电路基板等检查对象进行短路、断路等电检查时，在检查装置中常常使用具备多根直线状的探针的检查夹具。

如图4所示，上述检查夹具通常包括：检查侧支承体11x；与所述检查侧支承体11x隔开间隔配置的电极侧支承体13x；将所述检查侧支承体11x与所述电极侧支承体13x连接的连接构件12x；与所述电极侧支承体13x接触并设置在所述电极侧支承体13x的同所述连接构件相反的一侧的电极安装部(未图示)；以及贯穿所述电极侧支承体13x和所述检查侧支承体11x、前端从所述检查侧支承体11x突出而能够与检查对象接触、后端从所述电极侧支承体13x突出而与电极接触的多根探针14x(例如参照专利文献1)。

专利文献1：日本专利特开2005-338065号公报

使用上述检查夹具的检查装置在检查时通常利用夹持机构夹持检查对象，并在此状态下使检查侧支承体(的载放面)载放于检查对象，从而使从检查侧支承体(的载放面)露出的多根探针的前端与检查对象的检查点接触。

实际中，为了提高检查速度，有时需要在一次检查中对多个检查对象进行检查。在这种情况下，可考虑增大一个检查夹具的检查侧支承体的载放于检查对象的载放面的面积。不过，这样一来，检查夹具的检查侧支承体等的尺寸(沿着垂直于检查侧支承体的载放面的方向观察时的外形尺寸)会变得比检查装置中的从电极安装部的与连接构件相反的一侧支承检查夹具的夹具安装部的尺寸大，导致检查侧支承体等的在垂直于载放面的方向上与夹具安装部不重叠的部分成为不受支承的状态。这样的话，检查夹具的载放于检查对象的载放面的平面度会因检查夹具的自重而变差，在检查时，检查对象的检查点与从检查侧支承体的载放面露出的多根探针的前端之间会产生错位，导致无法顺利地进行检查等问题。特别是在对大型柔性电路基板这样的检查对象进行检查时，需要在利用夹持机构对电路基板施加拉伸力的状态下使电路基板与检查夹具的载放面接触，因此，电路基板的张力会对检查夹具施加作用力，导致检查夹具的载放于检查对象的载放面的平面度变得更差，使上述问题变得更为严重。

技术实现要素：

本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供检查夹具及具备该检查夹具的检查装置，即使检查夹具的尺寸大于夹具安装部的尺寸，也有助于避免因检查夹具的自重、从检查对象受到的作用力等而导致检查时检查夹具的与检查对象接触的载放面的平面度变差。

为实现上述目的，本发明的第一方面提供一种检查夹具，安装在用于对检查对象进行检查的检查装置中，包括：夹具头部；以及以能装卸的方式与所述夹具头部连接，并设置在所述夹具头部的同所述检查对象相反的一侧，且安装有电极的电极安装部，其中，所述夹具头部包括：具有检查侧贯通孔的检查侧支承体；与所述检查侧支承体隔开间隔配置，且具有电极侧贯通孔的电极侧支承体；将所述检查侧支承体与所述电极侧支承体连接在一起的连接构件；以及贯穿所述电极侧贯通孔和所述检查侧贯通孔、前端从所述检查侧支承体突出而能够与检查对象接触、后端从所述电极侧支承体突出而与电极接触的多根探针，其中，所述检查侧支承体包括：多个载放板，多个该载放板沿水平方向排列，且分别具有能够与所述检查对象接触的载放面和供所述探针贯穿的贯通孔；以及支承板，该支承板从所述电极侧支承体一侧对多个所述载放板进行支承，且形成有供所述探针贯穿的贯通孔。

根据本发明第一方面的检查夹具，在检查侧支承体中，通过采用多个载放板和同时对多个载放板进行支承的支承板这样的结构，能加强多个载放板的抗变形能力，因此，即使检查夹具的尺寸(多个载放板整体的沿着垂直于载放板的载放面的方向观察时的外形尺寸)大于安装该检查夹具的夹具安装部的尺寸，也有助于避免因检查夹具的自重、从检查对象受到的作用力等而导致检查时多个载放板的与检查对象接触的载放面的平面度变差。由此，在检查时，检查对象的检查点与从检查侧支承体的载放面露出的多根探针的前端之间不易产生错位，能顺利地对检查对象进行检查等。

本发明第二方面的检查夹具是在本发明第一方面的检查夹具的基础上，所述检查侧支承体还包括多个中间板，多个该中间板以分别与多个所述载放板对应的方式夹设在所述载放板与所述支承板之间，且分别形成有供所述探针贯穿的贯通孔。

根据本发明第二方面的检查夹具，通过采用多个载放板、多个中间板和同时对多个载放板、多个中间板进行支承的支承板这样的结构，能进一步加强多个载放板的抗变形能力，因此，更有助于避免因检查夹具的自重、从检查对象受到的作用力等而导致检查时多个载放板的与检查对象接触的载放面的平面度变差。

本发明第三方面的检查夹具是在本发明第二方面的检查夹具的基础上，所述支承板的厚度比所述载放板和所述中间板的厚度大。

根据本发明第三方面的检查夹具，通过将支承板的厚度设定成比载放板和中间板的厚度大，更有助于避免因检查夹具的自重、从检查对象受到的作用力等而导致检查时多个载放板的与检查对象接触的载放面的平面度变差。

本发明第四方面的检查夹具是在本发明第一方面的检查夹具的基础上，在所述检查侧支承体与所述电极侧支承体之间设置有支承条，所述支承条以横跨多个所述载放板中的至少两个载放板的方式沿多个所述载放板的排列方向延伸，所述支承条的靠所述检查侧支承体一侧的端面与所述检查侧支承体抵接，所述支承条的靠所述电极侧支承体一侧的端面与所述电极侧支承体抵接。

根据本发明第四方面的检查夹具，通过在检查侧支承体与电极侧支承体之间设置支承条，能进一步加强多个载放板的抗变形能力，因此，更有助于避免因检查夹具的自重、从检查对象受到的作用力等而导致检查时多个载放板的与检查对象接触的载放面的平面度变差。

本发明第五方面的检查夹具是在本发明第四方面的检查夹具的基础上，在水平方向中的与多个所述载放板的排列方向正交的方向上，至少在所述检查侧支承体的中间位置设置有所述支承条。

根据本发明第五方面的检查夹具，与在水平方向中的与多个载放板的排列方向正交的方向上的一侧设置支承条的情况相比，更有助于避免因检查夹具的自重、从检查对象受到的作用力等而导致检查时多个载放板的与检查对象接触的载放面的平面度变差。

本发明第六方面的检查夹具是在本发明第一方面的检查夹具的基础上，所述检查侧支承体和所述电极侧支承体俯视分别呈长方形。

根据本发明第六方面的检查夹具，即使在检查侧支承体和电极侧支承体俯视分别呈长方形时，也能够通过检查夹具的结构，加强多个载放板的抗变形能力。

本发明第七方面的检查夹具是在本发明第一方面的检查夹具的基础上，多个所述载放板的俯视时的轮廓不超出所述支承板的轮廓。

根据本发明第七方面的检查夹具，能利用支承板更好地加强多个载放板的抗变形能力，因此，更有助于避免因检查夹具的自重、从检查对象受到的作用力等而导致检查时多个载放板的与检查对象接触的载放面的平面度变差。

本发明第八方面的检查夹具是在本发明第一方面的检查夹具的基础上，所述支承板由环氧玻璃制成。

根据本发明第八方面的检查夹具，在利用环氧玻璃制造支承板时，与利用铁等制造支承板时相比，能在支承板的强度不降低的情况下减小支承板的重量，因此，更有助于避免因检查夹具的自重、从检查对象受到的作用力等而导致检查时多个载放板的与检查对象接触的载放面的平面度变差。

为实现上述目的，本发明的第九方面提供一种检查装置，其包括：本发明第一方面至第八方面中任一方面的检查夹具；移动机构，该移动机构用于使所述检查夹具移动，且该移动机构具有夹具安装部，该夹具安装部对所述电极安装部进行支承，并且在俯视时，该夹具安装部的外形小于所述电极安装部的外形；搬运机构，该搬运机构用于搬运所述检查对象；夹持机构，该夹持机构对所述检查对象进行夹持，以使所述检查对象处于能够被检查的状态；控制部，该控制部对所述移动机构、所述搬运机构和所述夹持机构进行控制；以及显示部，该显示部显示对所述检查对象检查的结果。

根据本发明第九方面的检查装置，在检查夹具的检查侧支承体中，通过采用多个载放板和同时对多个载放板进行支承的支承板这样的结构，能加强多个载放板的抗变形能力，因此，即使检查夹具的尺寸(多个载放板整体的沿着垂直于载放板的载放面的方向观察时的外形尺寸)大于安装该检查夹具的夹具安装部的尺寸，也有助于避免因检查夹具的自重、从检查对象受到的作用力等而导致检查时多个载放板的与检查对象接触的载放面的平面度变差。由此，在检查时，检查对象的检查点与从检查侧支承体的载放面露出的多根探针的前端之间不易产生错位，能顺利地对检查对象进行检查等。

本发明第十方面的检查装置是在本发明第九方面的检查装置的基础上，在俯视时，所述夹具安装部的外形小于所述电极侧支承体和所述检查侧支承体。

根据本发明第十方面的检查装置，即使在具有夹具安装部的外形小于电极侧支承体和检查侧支承体这种结构的检查装置中，也能够通过本发明的检查夹具的结构，加强多个载放板的抗变形能力。

发明效果

根据本发明的检查夹具和检查装置，在检查侧支承体中，通过采用多个载放板和同时对多个载放板进行支承的支承板这样的结构，能加强多个载放板的抗变形能力，因此，即使检查夹具的尺寸(多个载放板整体的沿着垂直于载放板的载放面的方向观察时的外形尺寸)大于安装该检查夹具的夹具安装部的尺寸，也有助于避免因检查夹具的自重、从检查对象受到的作用力等而导致检查时多个载放板的与检查对象接触的载放面的平面度变差。由此，在检查时，检查对象的检查点与从检查侧支承体的载放面露出的多根探针的前端之间不易产生错位，能顺利地对检查对象进行检查等。

附图说明

图1是示意表示本发明实施方式1和实施方式2的检查装置的整体结构的图。

图2是示意表示本发明实施方式1的检查装置所包括的检查夹具的图，且表示图1中的上方的检查夹具。

图3是示意表示本发明实施方式2的检查装置所包括的检查夹具的图，且表示与图1中的上方的检查夹具对应的检查夹具。

图4是示意表示现有的检查装置所采用的检查夹具的立体图。

(符号说明)

1检查装置

10、10a检查夹具

11、11a检查侧支承体

111、111a载放板

1111贯通孔

112中间板

1121贯通孔

113支承板

1131贯通孔

12、12a连接构件

13、13a电极侧支承体

14、14a电极安装部

15、15a电极

16、16a探针

17a支承条

20移动机构

21夹具安装部

30夹持机构

40控制部

50显示部

100检查对象

zf载放面

具体实施方式

下面，结合附图对本发明实施方式的检查装置进行说明。

此外，在本申请中，将图1等中的左右方向设为水平方向，将图1等中的上下方向设为上下方向。

<实施方式1>

下面参照图1和图2，对本发明实施方式1的检查装置进行说明。

如图1所示，本实施方式的检查装置1包括：检查夹具10；移动机构20，该移动机构20用于使检查夹具10移动，且该移动机构20具有夹具安装部21，该夹具安装部21用于安装检查夹具10(具体是对检查夹具10的下述电极安装部14进行支承)；搬运机构(未图示)，该搬运机构用于搬运电路基板等检查对象100；夹持机构30，该夹持机构30对检查对象100进行夹持，以使检查对象100处于能够被检查的状态；控制部40，该控制部40对移动机构20、搬运机构和夹持机构30进行控制；以及显示部50，该显示部50显示对检查对象100检查的结果。

此处，在俯视时，夹具安装部21的外形小于下述电极安装部14的外形。更具体而言，夹具安装部21的外形小于下述检查侧支承体11和电极侧支承体13的外形。

在本实施方式中，如图1所示，检查装置包括上下两个检查夹具10，由于这两个检查夹具10上下对称，因此下面以图1中的上方的检查夹具10为例对检查夹具10的结构进行说明。

如图2所示，检查夹具10安装在用于对检查对象100进行检查的检查装置1中，包括：夹具头部；以及以能装卸的方式与夹具头部连接，并设置在夹具头部的同检查对象100相反的一侧，且安装有电极15的电极安装部14，其中，夹具头部包括：具有检查侧贯通孔的检查侧支承体11；与检查侧支承体11隔开间隔配置，且具有电极侧贯通孔的电极侧支承体13；将检查侧支承体11与电极侧支承体13连接在一起的连接构件12；以及贯穿电极侧贯通孔和检查侧贯通孔、前端(图2中的下端)从检查侧支承体11突出而能够与检查对象100接触、后端(图2中的上端)从电极侧支承体13突出而与电极15接触的多根探针16。

此外，如图2所示，检查侧支承体11包括：多个(在图示的例子中是两个，但并不局限于此)载放板111，多个该载放板111沿水平方向(图2中的左右方向)排列，且分别具有能够与检查对象100接触的载放面zf和供探针16贯穿的贯通孔1111；以及支承板113，该支承板113从电极侧支承体13一侧对多个载放板111进行支承，且形成有供探针16贯穿的贯通孔1131。

在本实施方式中，如图2所示，检查侧支承体11还包括多个中间板112，多个该中间板112以分别与多个载放板111对应的方式夹设在载放板111与支承板113之间，且分别形成有供探针16贯穿的贯通孔1121。

此处，载放板111、中间板112和支承板113通过螺钉固定在一起。并且，支承板113的厚度与载放板111的厚度相同，且与中间板112的厚度也相同。

此外，虽未图示，但检查侧支承体11和电极侧支承体13俯视分别呈长方形。并且，多个载放板111的俯视时的轮廓不超出支承板113的轮廓。

此外，支承板113由环氧玻璃制成。

根据本实施方式，在检查侧支承体11中，通过采用多个载放板111和同时对多个载放板111进行支承的支承板113这样的结构，能加强多个载放板111的抗变形能力，因此，即使检查夹具10的尺寸(多个载放板111整体的沿着垂直于载放板111的载放面zf的方向观察时的外形尺寸)大于安装该检查夹具10的夹具安装部21的尺寸，也有助于避免因检查夹具10的自重、从检查对象100受到的作用力等而导致检查时多个载放板11的与检查对象100接触的载放面zf的平面度变差。由此，在检查时，检查对象100的检查点与从检查侧支承体11的载放面zf露出的多根探针16的前端之间不易产生错位，能顺利地对检查对象100进行检查等。

此外，根据本实施方式，通过采用多个载放板111、多个中间板112和同时对多个载放板111、多个中间板112进行支承的支承板113这样的结构，能进一步加强多个载放板111的抗变形能力，因此，更有助于避免因检查夹具10的自重、从检查对象100受到的作用力等而导致检查时多个载放板11的与检查对象100接触的载放面zf的平面度变差。由此，能更顺利地对检查对象100进行检查等。

此外，根据本实施方式，多个载放板111的俯视时的轮廓不超出支承板113的轮廓，因此，能利用支承板113更好地加强多个载放板111的抗变形能力，更有助于避免因检查夹具10的自重、从检查对象100受到的作用力等而导致检查时多个载放板11的与检查对象100接触的载放面zf的平面度变差。由此，能更顺利地对检查对象100进行检查等。

此外，根据本实施方式，支承板113由环氧玻璃制成，因此，与利用铁等制造支承板时相比，能在支承板的强度不降低的情况下减小支承板的重量，因此，更有助于避免因检查夹具10的自重、从检查对象100受到的作用力等而导致检查时多个载放板11的与检查对象100接触的载放面zf的平面度变差。由此，能更顺利地对检查对象100进行检查等。

<实施方式2>

本发明实施方式2的检查装置与上述实施方式1的检查装置基本相同，不同之处仅在于检查夹具，因此，下面参照图3，对本发明实施方式2的检查装置所包括的检查夹具10a进行说明，其中，图3是示意表示本发明实施方式2的检查装置所包括的检查夹具10a的图，且表示与图1中的上方的检查夹具10对应的检查夹具。

如图3所示，与上述实施方式1相同，本实施方式的检查夹具10a安装在用于对检查对象100进行检查的检查装置1中，包括：夹具头部；以及以能装卸的方式与夹具头部连接，并设置在夹具头部的同检查对象100相反的一侧，且安装有电极15a的电极安装部14a，其中，夹具头部包括：具有检查侧贯通孔的检查侧支承体11a；与检查侧支承体11a隔开间隔配置，且具有电极侧贯通孔的电极侧支承体13a；将检查侧支承体11a与电极侧支承体13a连接在一起的连接构件12a；以及贯穿电极侧贯通孔和检查侧贯通孔、前端(图3中的下端)从检查侧支承体11a突出而能够与检查对象100接触、后端(图3中的上端)从电极侧支承体13a突出而与电极15a接触的多根探针16a。

不过，与上述实施方式1不同，在本实施方式的检查夹具10a中，在检查侧支承体11a与所述电极侧支承体13a之间设置有支承条17a，支承条17a以横跨多个载放板111a的方式沿多个载放板111a的排列方向延伸，支承条17a的靠检查侧支承体11a一侧的端面与检查侧支承体11a抵接，支承条17a的靠电极侧支承体13a一侧的端面与电极侧支承体13a抵接。

根据本实施方式，能起到与上述实施方式1基本相同的效果。

此外，根据本实施方式，通过在检查侧支承体11a与电极侧支承体13a之间设置支承条17a，能进一步加强多个载放板111a的抗变形能力，因此，更有助于避免因检查夹具10a的自重、从检查对象受到的作用力等而导致检查时多个载放板111a的与检查对象接触的载放面的平面度变差。

上面结合附图对本发明进行了示例性描述，显然本发明的具体实现并不受上述实施方式的限制。

例如，在上述实施方式中，检查装置包括上下两个检查夹具，但并不局限于此，检查装置也可仅包括一个检查装置。

此外，在上述实施方式中，支承板的厚度与载放板的厚度相同，且与中间板的厚度相同，但并不局限于此，例如，也可将支承板的厚度设定成比载放板和中间板的厚度大。在这种情况下，更有助于避免因检查夹具的自重、从检查对象受到的作用力等而导致检查时多个载放板的与检查对象接触的载放面的平面度变差。

此外，在上述实施方式中，支承板由环氧玻璃制成，但并不局限于此，支承板也可由铁、铝等其他材料制成。

此外，在上述实施方式2中，在水平方向中的与多个载放板111a的排列方向正交的方向上，优选至少在检查侧支承体11a的中间位置设置有支承条17a。在这种情况下，与在水平方向中的与多个载放板的排列方向正交的方向上的一侧设置支承条的情况相比，更有助于避免因检查夹具的自重、从检查对象受到的作用力等而导致检查时多个载放板的与检查对象接触的载放面的平面度变差。