探针台固定组件的制作方法

本实用新型涉及半导体技术领域，尤其是涉及一种探针台固定组件。

背景技术：

晶圆是指硅半导体芯片的基本材料，可以将晶圆理解成芯片的集中体。在进行晶圆测试的过程中，需要利用细长的探针与芯片上的接点接触，测试芯片的电气特性，不合格的芯片会被标上记好，在后续的晶圆切割过程，就带有不合格标记的芯片淘汰，尽可能降低制造成本。其中探针固定在探针卡上，在晶圆测试过程中，需要固定好探针卡，并与晶圆准确对位，保证测试的准确性。

目前，市面上的探针测试台具有夹持探针卡的固定组件，在探针台上设有开孔，开孔的两侧均设有侧板，两侧的侧板之间设有用于安装探针卡的中空部，侧板靠近中空部的一侧设置有移动固定件，通过旋转螺丝带动固定件移动，两侧的固定件的移动将中空部的宽度变窄，从而起到固定探针卡的效果。以上的探针卡固定方式固定效果显著，但是每一次固定探针卡都需要进行螺丝的手动旋转，操作过程麻烦并且缓慢，影响工作效率。

技术实现要素：

本实用新型的主要目的是提供一种实现固定探针卡作用并可提高工作效率的探针台固定组件。

为实现上述的主要目的，本实用新型提供的探针台固定组件包括固定架，固定架内设有中空部；

固定板，固定板呈“L”形，固定板设置在固定架上，固定板的第一端设置在固定架上，固定板的第二端贯穿中空部；

固定件，固定件设置在固定架上，固定件包括底座，底座上铰接第一连接杆的第一端，第一连接杆的第二端连接固定杆，固定杆的自由端设置有固定头，固定头朝向并邻接固定板的第一端；第一连接杆连接操作杆；

弹簧，弹簧的第一端连接固定板，弹簧的第二端连接操作杆。

由此可见，探针卡固定在中空部内，并且固定板对探针卡进行施压，使得探针卡在测试过程中无法移动。固定杆的固定头邻接固定板，加大固定板的施压力度；当驱动操作杆转动时，操作杆带动第一连接杆转动，第一连接杆转动带动固定杆的转动，同时由于操作杆与固定板同时与弹簧连接，在操作杆转动时，也可带动固定板转动，从而释放探针卡，进行探针卡的更换，该种探针卡固定方法代替利用螺丝旋紧的固定方法，能快速进行探针卡的固定及更换，有效提高工作效率。

进一步的方案是，固定板上设置有开孔，开孔内设有旋紧件。

可见，利用旋紧件固定固定板从而压紧探针卡，进一步保证探针卡的稳固。

进一步的方案是，第一连接杆朝向操作杆的一侧设有连接件，连接件上设有第一开孔，操作杆上设置第二开孔，第一开孔与第二开孔连通，第一开孔与第二开孔内均贯穿有第二连接杆。

由此可见，连接件与第二连接杆完成操作杆与连接杆之间的连接，使得操作杆可带动连接杆转动。

进一步的方案是，固定架上设有两块限位块，两块限位块分别与固定板的两侧邻接。

可见，限位块对固定板的两侧进行限位，可使固定板在限位块之间准确对探针卡进行固定。

进一步的方案是，固定架包括顶盖，顶盖上设有凹槽，凹槽内设有底板，底板上设有中空部。

由此可见，一体化固定架有利于减少探针卡固定处与探针台之间的间隙，便于进行探针卡的固定工作，也便于固定架的拆卸清洁工作。

进一步的方案是，底板靠近中空部的一侧设置有放置板。

可见，放置板用于放置支撑待测试的探针卡。

附图说明

图1是本实用新型探针台固定组件实施例的结构图。

图2是本实用新型探针台固定组件实施例的固定件与固定板的结构图。

以下结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明。

具体实施方式

本实用新型的探针台固定组件应用探针台，用于固定安装有探针的探针卡，利用本实用新型的固定组件进行探针卡的固定，在保证探针卡固定的稳固性的同时能够快速进行探针卡固定，有效提高工作效率。

参见图1，本实用新型的探针台固定组件包括固定架1，固定架1包括顶盖10，顶盖10上设有凹槽11，凹槽11内设有底板12，底板12上设有中空部13，一体化的固定架1减少固定架1与探针台之间的间隙，便于进行探针卡的固定工作，也便于固定架1的拆卸清洗工作。底板12靠近中空部13的一侧设置有放置板14，放置板14用于放置及支撑带探针的探针卡。

固定架1上设有呈“L”形的固定板2，固定板2的第一端设置在固定架1上，固定板2的第二端贯穿中空部13，“L”固定板用于压紧探针卡。固定架1上设有限位块4，在本实施例中，限位块4的个数为两个，两个限位块4分别邻接固定板2的两侧，限位块4对固定板2进行限位，使固定板2在两块限位块4之间准确对探针卡进行压紧固定。

参见图2，固定架1上设置有固定件3，固定件3包括底座30，第一连接杆31的第一端铰接于底座30，第一连接杆31的第二端连接固定杆32，固定杆32的自由端设置固定头320，固定头320朝向并邻接于固定板2的第一端，其中固定杆32可垂直于固定板2的第一端；固定头320的形状呈圆台形，圆台形的固定头320可增大固定头320与固定板2的第一端的接触面积。第一连接杆31连接操作杆33，操作杆可连接在第一连接杆31的第一端与第一连接杆31的第二端之间，以保证驱动操作杆33转动时带动第一连接杆31的转动。固定板2连接弹簧34的第一端，弹簧34的第二端连接操作杆33。第一连接杆31朝向操作杆33的一侧设有连接件35，连接件35上设有第一开孔，操作杆33上设置第二开孔，第一开孔与第二开孔连通，第一开孔与第二开孔内同时贯穿有第二连接杆36，连接件35与第二连接杆36进一步完成操作杆33与第一连接杆31之间的连接，保证操作杆33转动时可带动第一连接杆31转动，从而带动固定杆32转动。

固定板2上设置有开孔，开孔内设有旋紧件20，利用旋紧件20固定固定板2从而固定板2紧压探针卡，进一步保证探针卡的稳固。

探针卡固定在中空部13内，固定板2对探针卡进行施压，使得探针卡在测试过程中无法移动。固定杆32的固定头320邻接固定板，可加大固定板2的施压力度；当驱动操作杆33转动时，操作杆33带动第一连接杆31转动，第一连接杆31转动带动固定杆32的转动，由于操作杆33与固定板2同时与弹簧34连接，在操作杆33转动时，也可带动固定板2转动，从而释放探针卡，进行探针卡的更换，该种探针卡固定方法代替利用螺丝旋紧的固定方法，能快速进行探针卡的固定及更换，有效提高工作效率。

最后需要强调的是，本实用新型不限于上述实施方式，如固定头的形状的改变等变化也应该包括在本实用新型权利要求的保护范围内。