硅棒测试装置的制作方法

本实用新型涉及检测装置
技术领域：
，特别涉及一种硅棒测试装置。
背景技术：
：在硅棒的生产加工中，需要对硅棒进行光致发光(Photoluminescence，缩写PL)测试，主要为了了解硅棒表面相关情况，判断硅棒的品质。现主流PL测试的硅棒高度为156-160mm，宽度约156mm。现有的硅棒测试装置，一般包括支撑台、设置在支撑台上的测试台、设置在支撑台上方的检测组件，测试台通过滑移装置与支撑台连接，现有的测试台由四个直角组成，硅棒的四个角分别放置在四个测试台上，测试的硅棒放入该测试台后，硅棒和测试台边缘有约1mm的间距。但是，上述硅棒测试装置中的测试台，测试时，测试面朝上，装有滑移装置的支撑台带动测试台进入检测组件的检测区域，测试时间0-1min不等，测试完后测试台回到原位，在人工将硅棒放置在该测试台时，由于测试台前后两直角之间的间距太小，手指容易被轻微夹压住，不利于操作；且测试台的硬度较高，硅棒较重，硅棒放入时有一定的冲击力，容易造成硅棒磕碰磨损；同时，在测试过程中，难免有硅粉甚至小硅块碎落至测试台中，容易对硅块表面造成损伤。技术实现要素：本实用新型的目的是提供一种硅棒测试装置，以解决在将硅棒放置在测试台上容易压手的问题。一种硅棒测试装置，包括支撑台、与所述支撑台滑动连接的测试架、设于所述支撑台一侧的检测组件，所述测试架包括与所述支撑台连接的底板、设于所述底板中部柔性垫，以及设于所述底板边缘的至少四个挡板，四个所述挡板分别设于所述底板的一个边角，所述底板中部设有安装区域，所述柔性垫设置于所述安装区域内。相较于现有技术，上述硅棒测试装置，检测时，将硅棒放置在底板上端的柔性垫上，然后推送到检测组件的下端进行光致发光测试，其中，因为设置有柔性垫，使硅棒的底端的四周悬置于底板上端，进而使放置好的硅棒的底端与底板之间存在一个间隙，在作业人员在拿放硅棒的过程中，手指位于硅棒与底板之间的间隙之间，避免了压手的问题，同时，通过设置四个挡板，固定硅棒的前后两端，起到固定硅棒的作用。进一步地，每一所述挡板的内侧均设有一个缓冲垫。进一步地，所述检测组件包括与所述支撑台连接的安装架和设于所述安装架上的激光光源、光谱仪、成像器，所述安装架包括与所述支撑台连接的连接板和与所述连接板连接的安装板，所述安装板一端与所述连接板连接，另一端朝向支撑台的中部延伸，且所述安装板与所述支撑台平行，所述激光光源、所述光谱仪以及所述成像器均设于所述安装板上。进一步地，所述测试架通过一个滑移组件与所述支撑台连接，所述滑移组件包括设于所述底板底端的滚珠丝杠和设于所述支撑台上的直线导轨。进一步地，所述柔性垫的上端均匀设有多个柔性凸块。进一步地，所述底板的每一边均设有一个起物缺口。进一步地，所述支撑台的一侧设有一个到位挡板，所述到位挡板的内侧设有一个橡胶垫。进一步地，所述到位挡板的高度小于所述底板的高度。进一步地，所述到位挡板与所述底板对应的一侧设有一个吸盘。进一步地，所述支撑台与所述安装板对应的位置设有至少一个摩擦垫。附图说明图1为本实用新型第一实施例中的硅棒测试装置的立体结构示意图；图2为图1中的安装架的结构示意图；图3为本实用新型第一实施例中的硅棒测试装置的立体结构示意图；图4为图3中的柔性垫的主视图。主要元件符号说明：支撑台10挡板23激光光源32测试架20缓冲垫231光谱仪33底板21检测组件30成像器35起物缺口211安装架31直线导轨40柔性垫22连接板311到位挡板50柔性凸块221安装板312摩擦垫60如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本实用新型。具体实施方式为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的若干个实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容更加透彻全面。需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的
技术领域：
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。请参阅图1和图2，本实用新型第一实施例提供的一种硅棒测试装置，包括支撑台10、与所述支撑台10滑动连接的测试架20、设于所述支撑台一侧的检测组件30。具体的，所述测试架20包括与所述支撑台10连接的底板21、设于所述底板21中部柔性垫22，以及设于所述底板21边缘的至少四个挡板23，四个所述挡板23分别设于所述底板21的一个边角，所述底板中部设有安装区域，所述柔性垫22设置于所述安装区域内。其中安装区域不与底板21的任何一条边接触，柔性垫22可以由PA6材料制作而成，PA6又名尼龙6，是半透明或不透明乳白色粒子，具有热塑性、轻质、韧性好、耐化学品和耐久性好等特性。其中，底板21可以由PA66(聚己二酰己二胺)材料直至而成，PA66，俗称尼龙-66，是一种热塑性树脂，白色固体，密度1.14，熔点253℃，不溶于一般溶剂，仅溶于间苯甲酚等，机械强度和硬度很高，刚性很大。上述硅棒测试装置，检测时，将硅棒放置在底板21上端的柔性垫22上，然后推送到检测组件30的下端进行光致发光测试，其中，因为设置有柔性垫22，使硅棒的底端的四周悬置于底板21上端，进而使放置好的硅棒的底端与底板21之间存在一个间隙，在作业人员在拿放硅棒的过程中，手指位于硅棒与底板21之间的间隙之间，避免了压手的问题，同时，通过设置四个挡板23，固定硅棒的前后两端，起到固定硅棒的作用。具体的，在本实施例中，所述检测组件30包括与所述支撑台10连接的安装架31和设于所述安装架31上的激光光源32、光谱仪33、成像器34，所述安装架31包括与所述支撑台10连接的连接板311和与所述连接板311连接的安装板312，所述安装板312一端与所述连接板311连接，另一端朝向支撑台10的中部延伸，且所述安装板312与所述支撑台10平行，所述激光光源32、所述光谱仪33以及所述成像器34均设于所述安装板312上。其中，通过激光光源32对硅棒进行光致发光，通过光谱仪33采集硅棒光致发光后的光线并转换成光谱，通过成像器34采集硅棒光致发光后的图像进行分析，实现硅棒的光致发光测试。具体的，在本实施例中，所述测试架20通过一个滑移组件与所述支撑台10连接，所述滑移组件包括设于所述底板底端的滚珠丝杠和设于所述支撑台10上的直线导轨40，可以理解的，直线导轨40和滚珠丝杆组合成一个线性模组，以实现滑移功能。请参阅图3和图4，本实用新型第二实施例提供的硅棒测试装置，所述第二实施例与所述第一实施例的区别在于，所述第二实施例中，四个所述挡板23的内侧均设有一个缓冲垫231，以避免硅棒直接与挡板23接触，造成硅棒的磨损，具体的，所述缓冲垫231可以油PA6材料制作而成，还可以由橡胶、乳胶、硅胶等柔性材料制作而成，以避免硅棒与挡板23之间刚性碰撞。具体的，在检测过程中，难免有硅粉甚至小硅块碎落至柔性垫22中，容易对硅棒的表面造成损伤，因此，在所述柔性垫22的上端均匀设有多个柔性凸块221，柔性凸块221呈半球形，以使硅粉或者小硅块落在两个柔性凸块221之间，当硅棒放置在柔性垫22上时，支撑在柔性凸块221上，不会接触到硅粉或者小硅块，避免对硅棒的表面造成损伤。具体的，所述柔性凸块221可以由橡胶、乳胶、硅胶等柔性材料制作而成。具体的，在本实施例中，所述底板21的每一边均设有一个起物缺口211，以便更加方便的拿放硅棒。具体的，在本实施例中，为了便于测试架20位移到检测组件30的检测区域，所述支撑台10的一侧设有一个到位挡板50，所述到位挡板50的内侧设有一个橡胶垫，起到缓冲的作用，通过上述结构设计，当底板21抵靠到到位挡板50时，即可停止移动，使测试架20快速、准确的移动到检测区域。可以理解的，所述到位挡板50的高度小于所述底板21的高度，避免到位挡板50对底板21上的硅棒产生干涉。在本实用新型的一个实施方式中，所述到位挡板50与所述底板21对应的一侧设有一个吸盘，使底板21与到位挡板50固定，避免检测时硅棒移动。具体的，在本实施例中，为了避免测试架10在接近到位挡板50处时过快的减速导致硅棒的位置发生偏移，在本实施例中，所述支撑台10与所述安装板312对应的位置设有来两个摩擦垫60，当底板21滑移到摩擦垫上时，摩擦力增大，移动速度逐渐减慢，达到避免测试架10在接近到位挡板50处时过快减速的目的。在本实施例中，所述摩擦垫60设有两块，在本实用新型的其他实施例中，只需设置至少一块即可。具体的，在本实施例中，所述摩擦片60可以由毛毯制作而成，以起到增大摩擦力的效果。以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。当前第1页1 2 3