一种光源检测设备的制作方法

本实用新型涉及一种自动检测设备，尤其是涉及一种光源检测设备。所述设备主要用于检测半导体行业标准光源光照强度的一致性。

背景技术：

光学类芯片量产测试需要使用标准光源，制作好的标准光源在使用前和使用过程都需要定期检测。目前市场上都是以手动检测为主，把光源固定在一定高度，通过手移动光照强度数据采集板对光源的光照强度参数进行采集。

但是，手动测试存在有如下主要缺点：①由于手动，所以测试效率慢，精度差；②由于手动，所以操作环境无法保证为全密封环境，其它光会影响测试结果；③光源与光照强度数据采集板之间的距离不可调，导致无法兼容各种规格的光源产品。

技术实现要素：

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种光源检测设备，具体方案如下：

一种光源检测设备，所述检测设备包括电气柜底座、中部遮光组件、工作区组件和上罩遮光组件；

所述电气柜底座、中部遮光组件和工作区组件自下而上依次层叠设置，所述上罩遮光组件罩设在所述工作区组件上；

所述工作区组件包括有X轴电机丝杆系统、光照强度数据采集板、光源夹紧固定装置、角度仪滑台、手摇Z轴丝杆装置、R轴回转滑台和Y轴电机丝杆系统。

优选的，所述光源夹紧固定装置通过所述R轴回转滑台和角度仪滑台固定设置在手摇Z轴丝杆装置上，所述光源夹紧固定装置用于固定标准光源；所述光照强度数据采集板设置于所述标准光源下方；

所述手摇Z轴丝杆装置能够调节标准光源与光照强度数据采集板之间的距离；所述角度仪滑台和R轴回转滑台能够调节标准光源与光照强度数据采集板之间的平行度；所述X轴电机丝杆系统和Y轴电机丝杆系统能够驱动光照强度数据采集板移动，并对标准光源进行步进式自动采光。

优选的，所述中部遮光组件包括相互扣合的左遮光罩和右遮光罩。

优选的，所述中部遮光组件的侧面设置有操作面板，所述操作面板包括有外接插座、急停开关和两档开关。

优选的，所述外接插座包括外部通讯RS232插座和USB插座。

优选的，所述上罩遮光组件包括有前遮光罩，后遮光罩，弹簧卡扣和把手，所述弹簧卡扣将前遮光罩、后遮光罩和中部遮光组件之间互相拉紧。

优选的，所述左遮光罩和右遮光罩上表面贴有黑色吸光泡棉，上罩遮光组件内部贴有黑色吸光泡棉。

优选的，所述前遮光罩、后遮光罩和中部遮光组件的开口边缘部位均设置有密封条。

优选的，所述光源检测设备还包括有光源压紧固定装置，所述光源压紧固定装置与所述R轴回转滑台可拆卸连接。

本实用新型的上述技术方案的有益效果如下：

(1)、本实用新型的光源检测设备装有光源夹紧装置和光源压紧装置，可兼容不同形状，不同大小的标准光源，扩大了检测对象的范围。

(2)、通过密封条、吸光泡棉和弹簧卡扣的相互配合，使本实用新型光源检测设备密闭性好，测试时无杂光干涉，测试结果更准确。

(3)、本实用新型的光源检测设备标准光源与采光组件之间的平行度可调，测试结果更加精准。

(4)、本申请中光源检测设备自动化操作，测试效率高，电机丝杆系统驱动，精度高。

附图说明

图1为本实用新型光源检测设备的立体图；

图2为本实用新型光源检测设备的爆炸图；

图3为本实用新型实施例一中工作区组件23的正视图；

图4为本实用新型实施例二中工作区组件23的正视图；

图5为本实用新型操作面板26的正视图。

其中，01-前遮光罩；02-后遮光罩；03-弹簧卡扣；04-把手；05-中部遮光组件；06-X轴电机丝杆系统；07-光照强度数据采集板；08-光源夹紧固定装置；09-柱形标准光源；10-角度仪滑台；11-手摇Z轴丝杆装置；12-R轴回转滑台；13-Y轴电机丝杆系统；14-方形标准光源；15-光源压紧固定装置；16-外部通讯RS232插座；17-USB插座；18-急停开关；19-两档开关；21-左遮光罩；22-上罩遮光组件；23-工作区组件；24-右遮光罩；25-电气柜底座；26-操作面板

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例的附图，对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本实用新型的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例一

一种光源检测设备，包括电气柜底座25、中部遮光组件05、工作区组件23和上罩遮光组件22。

所述电气柜底座25包括控制电路、电源插座、散热口和检修门。所述控制电路设置于所述电气柜底座25内部；所述电源插座、散热口和检修门均设置于电器柜底座25侧面，所述电源插座与外接电源线相连接给光源检测设备供电，所述散热口用于给所述电气柜底座25散热，所述检修门方便对所述电气柜底座25进行检修。所述电气柜底座25底部设置有带锁定装置的万向轮。

所述电气柜底座25上部设置有中部遮光组件05，所述中部遮光组件05包括相互扣合的左遮光罩21和右遮光罩24。所述中部遮光组件05的侧面设置有操作面板26，所述操作面板26包括有外接插座、急停开关18和两档开关19。所述外接插座外接控制电脑，通过控制电脑的上位机软件对所述光源检测设备进行步进控制和采光操作；所述两档开关19用于所述光源检测设备的开关机。

所述急停开关18用于整个检测设备的紧急停机，在测量过程中，如果工作人员在遮光板外部听到检测设备内部有异常声音，判断检测设备可能存在工作异常的情况，可以摁下急停开关18实现检测设备的紧急停机，避免损坏标准光源和检测设备。

所述中部遮光组件05的主要作用为：遮挡电气柜底座25中电子元器件发出的微弱亮光，为工作区组件23提供一个完全遮光的环境，提高测量的精度。

优选的，所述外接插座包括外部通讯RS232插座16和USB插座17。

所述工作区组件23设置于所述中部遮光组件05上部，所述工作区组件23包括：X轴电机丝杆系统06、光照强度数据采集板07、光源夹紧固定装置08、柱形标准光源09、角度仪滑台10、手摇Z轴丝杆装置11、R轴回转滑台12和Y轴电机丝杆系统13。所述柱形标准光源09置于光源夹紧固定装置08上，所述光源夹紧固定装置08通过所述R轴回转滑台12和角度仪滑台10固定设置在手摇Z轴丝杆装置11上，所述光照强度数据采集板07通过X轴电机丝杆系统06和Y轴电机丝杆系统13设置于所述柱形标准光源09下方。通过所述手摇Z轴丝杆装置11能够调节柱形标准光源09与光照强度数据采集板07之间的距离。通过角度仪滑台10和R轴回转滑台12，可调节柱形标准光源09与光照强度数据采集板07之间的平行度。光照强度数据采集板07能够被X轴电机丝杆系统06和Y轴电机丝杆系统13驱动，并对柱形标准光源09进行步进式自动采光。

X轴电机丝杆系统06和Y轴电机丝杆系统13在光源检测设备中形成一个X-Y坐标系，并在该X-Y坐标系中指定一个测量原点；光照强度数据采集板07在X-Y坐标系中形成一个坐标点。

所述上罩遮光组件22罩设在所述工作区组件23上，所述上罩遮光组件22包括有前遮光罩01，后遮光罩02，弹簧卡扣03和把手04。所述弹簧卡扣03将前遮光罩01、后遮光罩02和中部遮光组件05之间互相拉紧，保证所述上罩遮光组件22在闭合状态时，避免三者之间的缝隙漏光。

优选的，所述控制电路作为所述光源检测设备的中央控制元件，其通过导线分别连接至电源插座、X轴电机丝杆系统06、光照强度数据采集板07、柱形标准光源09/方形标准光源14、角度仪滑台10、R轴回转滑台12、Y轴电机丝杆系统13、操作面板26。

优选的，所述电源插座作为所述光源检测设备的供能元件，其通过导线分别连接至控制电路、X轴电机丝杆系统06、光照强度数据采集板07、方形标准光源14/柱形标准光源09、角度仪滑台10、R轴回转滑台12、Y轴电机丝杆系统13、操作面板26。

优选的，所述左遮光罩21和右遮光罩24上表面贴有黑色吸光泡棉，上罩遮光组件22内部也同样贴有黑色吸光泡棉，保证上罩遮光组件22在闭合状态时，工作区组件23处于完全遮光的环境。

优选的，所述前遮光罩01、后遮光罩02和中部遮光组件05的边缘部位均设置有密封条，提高三者之间缝隙的密封度，避免漏光。

优选的，所述把手04为内嵌把手，使上罩遮光组件22方便取放、安装，且外观完整，容易搬运和收纳。

优选的，所述手摇Z轴丝杆装置11上设置有刻度。因为不同类型的标准光源测试高度不同，首次测量某种类型标准光源时，通过手摇Z轴丝杆装置11调节测试得到该种类型标准光源的测试高度，并记录该高度的刻度值，之后再次测量该种类型标准光源时，根据记录的刻度值直接调整该标准光源至其合理的测试高度即可，不需要再次标定其测试高度。

优选的，所述光源夹紧固定装置08包括两个夹紧爪，所述两个夹紧爪之间的距离可调，以适应不同直径的柱形标准光源09。

优选的，各罩遮光组件搭配吸光棉和密封条，实现采光时内部光源关闭的情况下，光照强度＜0.001lux。

优选的，通过角度仪滑台10和R轴回转滑台12，可调节柱形标准光源09与光照强度数据采集板07之间的平行度，平行度可达+/-0.1mm。

优选的，所述手摇Z轴丝杆装置11采用丝杆与光轴装置相互配合，分辨率为1mm；所述X轴电机丝杆系统06和Y轴电机丝杆系统13采用步进电机和丝杆系统相互配合，重复定位精度可达+/-0.02mm。

优选的，所述电气柜底座25、中部遮光组件05和工作区组件23自下至上通过螺钉相互连接。

实施例二

在上述实施例的基础上，为了保证所述光源检测设备可兼容检测不同形状，不同大小标准光源的测试。

所述光源检测设备还包括有光源压紧固定装置15。所述光源压紧固定装置15与所述R轴回转滑台12可拆卸连接。

需要测试方形标准光源14时，将光源压紧固定装置15安装于R轴回转滑台12上，再将所述方形标准光源14放置于所述光源夹紧固定装置08的两个夹紧爪上，使所述两个夹紧爪分别支撑所述方形标准光源14相对的两个侧边，再将所述光源压紧固定装置15从方形标准光源14上侧压紧所述方形标准光源14。

优选的，所述光源压紧固定装置15包括支撑杆和压紧块，所述压紧块通过螺纹结构在支撑杆上实现上下移动。

在上述实施例的基础上，所述光源检测设备的检测方法具体如下。

(1)操作员根据标准光源的具体类型选择合适的光源固定装置，并固定安装好标准光源；

(2)根据标准光源的测量高度，通过所述手摇Z轴丝杆装置11将标准光源调节至相应刻度；若该标准光源的测量高度未知，则需对标准光源的测量高度进行标定，并记录测量高度的刻度；

(3)闭合上罩遮光组件22，用弹簧卡扣03将前遮光罩01、后遮光罩02和中部遮光组件05之间互相拉紧；

(4)外接插座连接上位机控制电脑，电源插座接通电源，打开两档开关19，对检测设备进行通电开机；

(5)在上位机软件进行操作，光照强度数据采集板在X轴电机丝杆系统06和Y轴电机丝杆系统13的驱动下对采光区域捕捉，确定光源的光照范围；

(6)采光区域捕捉完毕，所述光照强度数据采集板回到测量原点，并开始按设定的步距值进行逐步采光，直至把整个光照范围采完；

(7)整个光照范围采光完毕，由上位机软件对上述采光数据进行分析，判断标准光源的各参数是否准确；

(8)检测完毕，关机，取出标准光源，收纳设备。

以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。