硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉远红外测温仪支撑工具的制作方法

本实用新型属于多晶硅生产测量技术领域，具体涉及硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉远红外测温仪支撑工具。

背景技术：

多晶硅是单质硅中的一种特殊形态，在过冷的条件下，熔融状态的单质硅发生凝固现象，凝固后的硅原子以金刚石晶格的形态排列成许多晶核，而且这些晶核生长成的晶粒晶面取向不同，当这些晶面取向不同的晶粒结合在一起时就是多晶硅；多晶硅的生产技术主要以三氯氢硅或硅烷为原料，通过化学气相沉积在钟罩式反应器或流化床反应器中进行，在生产的过程中，无论采用改良西门子法、硅烷流化床法还是硅烷热分解法，均需要对反应器进行温度实时检测，以满足生产的工艺需求。

现有的温度检测设备，通常采用三角架作为支撑工具，通过人工布置，分布在钟罩式反应器的圆周，这些温度检测设备，主要通过调节支撑工具来进行调节距离的远近及角度，因此，这些温度检测设备受人为的影响较大，容易造成检测信号的误差，并且这些检测设备，占用了大量的空间，倘若操作人员在生产期间无意碰到，还需要花费大量时间去复原校正，这些都会影响最终的检测结果；为解决上述问题，开发一种不易干扰、易于调节的远红外测温仪支撑工具很有必要。

技术实现要素：

本实用新型的目的是为了克服现有技术的不足，而提供一种不易干扰、易于调节的远红外测温仪支撑工具。

本实用新型的目的是这样实现的：硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉远红外测温仪支撑工具，包括支架，所述支架由管型材加工而成，所述支架包括侧支架和中心支架，所述支架的底部通过焊接的方式固定设置有锁紧片，所述锁紧片呈圆槽形状，所述锁紧片的右侧中心设置有圆孔，所述圆孔的中心位于同一个圆弧上，所述支架的上部由侧支架和中心支架组成一个等边三角形，所述支架的上部通过焊接或螺栓连接的方式固定设置有固定板，所述固定板的中心通过焊接的方式固定设置有阶梯轴，所述阶梯轴的上部圆心处设置有内螺纹孔，所述固定板的前部板面上设置有销轴孔，所述阶梯轴上通过设置的轴承与旋转支架连接，所述阶梯轴的顶部通过设置的大垫圈和连接螺栓将固定板和旋转支架连接在一起，所述旋转支架包括支承盘和L型板，所述支承盘的底部的外圆上设置有棘齿，所述支承盘的内部设置有轴承安装孔，所述支承盘的上部固定设置有L型板，所述L型板的水平面上设置有阶梯轴孔，所述轴承安装孔与阶梯轴孔同心，所述L型板的竖直面上沿竖直方向设置有多个螺纹孔，所述螺纹孔内通过螺母固定设置有远红外测温仪，所述销轴孔内通过销轴设置有棘爪，所述棘爪通过棘爪复位簧与棘齿相配合。

进一步地，所述支架通过圆孔安装在钟罩式反应炉的钟罩大螺栓上。

进一步地，所述支架的上下表面均为平面。

进一步地，所述阶梯轴的上部的轴段长度与L型板的板厚相同。

进一步地，所述阶梯轴的下部的轴段长度、轴承的厚度及支承盘的厚度相同。

进一步地，所述固定板的上表面以阶梯轴为圆心设置有圆周方向的角度刻度，其刻度值以固定板右侧的前后面的对称面与固定板的交叉处为起始端。

进一步地，所述螺纹孔的数量是两个。

进一步地，所述远红外测温仪通过信号输出线与外部测控电路连接。

由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

（1）通过设置的支架，使得本实用新型可安装在钟罩式反应炉的钟罩大螺栓上，由于支架的大小及形状已经确定，因此，远红外测温仪距离钟罩式反应炉的距离一定，不需要人工进行调节，同时，将支架安装在钟罩式反应炉的钟罩大螺栓上，不会受到人为因素的干扰；

（2）通过设置的棘齿棘爪配合及多个螺纹孔，使得远红外测温仪即可以在圆周方向调节，也可以在高度方向进行调节，相比于之前的移动三角架，更易于调节，节省了人力。

附图说明

图1是本实用新型的立体图。

图2是本实用新型的主视图。

图3是图2的局部放大图。

图4是本实用新型的俯视图。

图5是本实用新型的左视图。

图6是部件2的立体图。

图7是部件3的立体图。

图中：1、支架 11、侧支架 12、中心支架 2、固定板 21、阶梯轴 3、旋转支架 31、支承盘 32、L型板 4、远红外测温仪 5、棘爪 101、锁紧片 102、圆孔 201、内螺纹孔 202、销轴孔 301、轴承安装孔 302、阶梯轴孔 303、螺纹孔 3101、棘齿 。

具体实施方式

下面通过实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案做进一步具体的说明。

如图1~图7所示，硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉远红外测温仪支撑工具，包括支架1，所述支架1由管型材加工而成，所述支架1包括侧支架11和中心支架12，所述侧支架11的数量是2个，所述支架1的上下表面均为平面，所述支架1的底部通过焊接的方式固定设置有锁紧片101，所述锁紧片101呈圆槽形状，所述锁紧片101的右侧中心设置有圆孔102，所述圆孔102的中心位于同一个圆弧上，所述支架1通过圆孔102安装在钟罩式反应炉的钟罩大螺栓上，所述支架1的上部由侧支架11和中心支架12组成一个等边三角形，使支架1的结构变得稳定可靠，所述支架1的上部通过焊接或螺栓连接的方式固定设置有固定板2，所述固定板2的中心通过焊接的方式固定设置有阶梯轴21，所述阶梯轴21的上部圆心处设置有内螺纹孔201，所述固定板2的前部板面上设置有销轴孔202，所述阶梯轴21上通过设置的轴承与旋转支架3连接，所述阶梯轴21的顶部通过设置的大垫圈和连接螺栓将固定板2和旋转支架3连接在一起，使得旋转支架3可绕阶梯轴21的圆心转动，实现圆周方向的角度调节。

如图1~图7所示，所述旋转支架3包括支承盘31和L型板32，所述支承盘31的底部的外圆上设置有棘齿3101，所述支承盘31的内部设置有轴承安装孔301，所述支承盘31的上部固定设置有L型板32，所述L型板32的水平面上设置有阶梯轴孔302，所述轴承安装孔301与阶梯轴孔302同心，所述阶梯轴21的上部的轴段长度与L型板32的板厚相同，使得阶梯轴21可通过大垫圈进行高度方向限位，同时，通过连接螺栓进行锁紧，所述阶梯轴21的下部的轴段长度、轴承的厚度及支承盘31的厚度相同，保护轴承不会受到外部环境的干扰，延长轴承的使用寿命，所述L型板32的竖直面上沿竖直方向设置有多个螺纹孔303，所述螺纹孔303的数量是两个，所述螺纹孔303内通过螺母固定设置有远红外测温仪4，使用时，可根据需要，将远红外测温仪4放置在上部的螺纹孔303或是下部的螺纹孔303内，所述销轴孔202内通过销轴设置有棘爪5，所述棘爪5通过棘爪复位簧与棘齿3101相配合，防止旋转支架3由于意外触碰而造成转动，进而造成的测量数据不准确的现象发生。

所述固定板2的上表面以阶梯轴21为圆心设置有圆周方向的角度刻度，其刻度值以固定板2右侧的前后面的对称面与固定板2的交叉处为起始端，便于远红外测温仪的精确定位。

所述远红外测温仪4通过信号输出线与外部测控电路连接。

本实用新型在使用时，首先，将支架1按照工艺的要求固定在钟罩式反应炉的钟罩大螺栓上；然后，根据实际的检测需求，调节远红外测温仪4的安装的螺纹孔303，确定钟罩式反应炉的圆周方向的本实用新型位于同一个高度平面内；最后，根据要测量的位置的不同，通过棘齿3101与棘爪5的配合来确定；本实用新型在使用时，易于调节，并且不会受到外部操作人员的干扰，不会由于操作人员的误碰而造成测量数据的失真，进而影响整个生产过程。

以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非对其限制，尽管参照上述实施例对本实用新型进行了详细的说明，所属领域的普通技术人员应当理解，依然可以对本实用新型的具体实施方式进行修改或者等同替换，而未脱离本实用新型精神和范围的任何修改或者等同替换，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。