技术总结
本实用新型属于半导体制造领域，涉及一种晶体自动检验设备，包括晶体长度检测装置、晶体直径检测装置、晶体电阻率检测装置、晶体少子寿命检测装置、晶体托架、搬运机械手，晶体长度检测装置、晶体直径检测装置、晶体电阻率检测装置、晶体少子寿命检测装置依次设置在测试平台上，搬运机械手放置在晶体托架和测试平台之间。本实用新型的有益效果：自动化测量晶体长度、直径、电阻率和少子寿命的测试设备可以实现不同规格晶体质量各影响因素的测试，有效地避免了测试位置不固定、出错率高、采集不确定性等弊端,避免了人为测试带来的测试误差，提高测试准确度，节约工作时间，解决人工成本。
技术研发人员：刘效斐
受保护的技术使用者：内蒙古中环领先半导体材料有限公司
技术研发日：2018.11.14
技术公布日：2019.10.18