用于快速存储器质量检测的开放式存储器晶圆烘烤设备的制作方法

本实用新型涉及储器晶圆(英文为DIE)烘烤设备技术领域，尤其涉及用于快速存储器质量检测的开放式存储器晶圆烘烤设备。

背景技术：

目前的存储器的内部会采用半导体存储器，半导体存储器简称闪存，闪存的存储单元为三端器件，与场效应管有相同的名称：源极、漏极和栅极。栅极与硅衬底之间有二氧化硅绝缘层，用来保护浮置栅极中的电荷不会泄漏。采用此种结构，使得存储单元具有了电荷保持能力；闪存与场效应管均为电压控制型器件，NAND型闪存的擦和写均是基于隧道效应，电流穿过浮置栅极与硅基层之间的绝缘层，对浮置栅极进行充电(写数据)或放电(擦除数据)，而NOR型闪存擦除数据仍是基于隧道效应(电流从浮置栅极到硅基层)，但在写入数据时则是采用热电子注入方式(电流从浮置栅极到源极)；

随着电子加工生产与技术进步，闪存制程从以前的90nm进步到14nm甚至更高，数据密度越来越高，结缘层的厚度越来越薄，部分存储器晶圆的绝缘层在实际生产过程中厚度过薄，会导致电流出现异常，最终导致数据出现错误，此部分不合格的元器件能够通过普通的检测设备进行检测，但是仍然有部分存储器晶圆在使用一段时间之后才会出现此现象，而目前的检测设备并不能对此部分存储器晶圆进行有效的检测，针对目前的存储器晶圆检测过程中所暴露的问题，有必要对存储器晶圆检测设备进行结构上的改进与优化。

技术实现要素：

本实用新型旨在至少在一定程度上解决上述现有技术存在的问题之一，为此本实用新型的目的在于提供用于快速存储器质量检测的开放式存储器晶圆烘烤设备。

根据本实用新型实施例提供的用于快速存储器质量检测的开放式存储器晶圆烘烤设备，所述烘烤设备包括：

烘烤设备本体，所述烘烤设备本体的侧表面设有电源开关，所述电源开关的一侧设有调节组件；

传热管，所述传热管用于将烘烤设备本体内部的热量传递给加热面板；

加热面板，所述加热面板上表面放置有存储器晶圆，所述加热面板用于对存储器晶圆进行加热。

根据本实用新型提供的一个实施例，所述烘烤设备本体的上表通过连接杆连接有加热面板，连接杆设在烘烤设备本体的上表面外缘处，所述加热面板的下表面中心处设有传热管，传热管的底端贯穿烘烤设备本体的上表面到达烘烤设备本体的内部。

根据本实用新型提供的一个实施例，调节组件包括加数按钮、减数按钮，所述加数按钮设在烘烤设备本体的外侧表面，加数按钮的一端贯穿烘烤设备本体的外侧表面到达烘烤设备本体的内部，减数按钮设在加数按钮的一侧，减数按钮的一端贯穿烘烤设备本体的外侧表面。

根据本实用新型提供的一个实施例，调节组件还包括功能按钮，功能按钮的一端嵌合在烘烤设备本体的内部。

根据本实用新型提供的一个实施例，功能按钮与减数按钮之间设有移位按钮，且移位按钮放置在功能按钮与减数按钮的中部，移位按钮的一端贯穿烘烤设备本体的外侧表面。

根据本实用新型提供的一个实施例，所述功能按钮的上方位于烘烤设备本体的侧表面设有提示组件，提示组件包括加热指示灯与报警指示灯，报警指示灯设在加热指示灯的一侧，所述加热指示灯与报警指示灯的一端设在烘烤设备本体的外侧，加热指示灯与报警指示灯的另一端贯穿烘烤设备本体的侧壁到达烘烤设备本体的内部。

根据本实用新型提供的一个实施例，所述加热指示灯的上方设有实际温度显示屏，所述实际温度显示屏的一侧设有设定温度显示屏，所述实际温度显示屏与设定温度显示屏均嵌合在烘烤设备本体的外侧表面。

根据本实用新型提供的一个实施例，所述烘烤设备本体的两端均设有散热组件，散热组件包括散热孔，所述散热孔为圆形构件，且散热孔均匀的排布在烘烤设备本体的两侧表面。

根据本实用新型提供的一个实施例，所述加热指示灯与报警指示灯均设在烘烤设备本体的同一侧表面，且加热指示灯与报警指示灯保持在同一高度。

根据本实用新型提供的一个实施例，所述加数按钮、减数按钮、移位按钮与功能按钮均设在烘烤设备本体的同一侧表面，且加数按钮、减数按钮、移位按钮与功能按钮保持在同一高度。

本实用新型的有益效果是：根据本实用新型实施例提供的用于快速存储器质量检测的开放式存储器晶圆烘烤设备，烘烤设备本体的上方增设有加热面板，加热面板与烘烤设备本体通过传热管连接，烘烤设备本体在发热过程中传热管能够将热量导向到加热面板，加热面板在受热情况下对其上表面的存储器晶圆进行加热烘烤，利用半导体在高温情况下导电性能变强，来加速存储器晶圆的老化过程，达到在常温放止几个月甚至半年一年的效果，便于设备对存储器晶圆进行质量检测。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的结构示意图；

图2是本实用新型实施例提供的正视结构示意图；

其中，1、散热孔；2、加热指示灯；3、实际温度显示屏；4、加热面板；5、传热管；6、设定温度显示屏；7、报警指示灯；8、电源开关；9、加数按钮；10、减数按钮；11、移位按钮；12、功能按钮；13、烘烤设备本体。

具体实施方式

为了使本实用新型所解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征；“多个”指的是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连接”、“相连”应作广义理解，其具体的设置方式、连接方式可根据具体情况来设定，不受特定限制，“连接”可以是直接连接，也可以是间接连接，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解其在本实用新型中的具体含义。

请参阅图1-2，本实用新型提供以下技术方案：用于快速存储器质量检测的开放式存储器晶圆烘烤设备，烘烤设备包括：烘烤设备本体13，烘烤设备本体13的侧表面设有电源开关8，电源开关8对烘烤设备本体13内部的电路进行通断，便于工作人员控制设备的运行，电源开关8的一侧设有调节组件，调节组件能够调节烘烤设备本体13的烘烤温度；传热管5，传热管5用于将烘烤设备本体13内部的热量传递给加热面板4；加热面板4，加热面板4上表面放置有存储器晶圆，加热面板4用于对存储器晶圆进行加热，本实施方案中利用半导体在高温情况下导电性能变强，来加速存储器晶圆的老化过程，达到在常温放止几个月甚至半年一年的效果，使得存储器晶圆的绝缘层问题暴露出来，从而去掉不合格的产品，提升产品的质量。

请参阅图1与图2，具体的，烘烤设备本体13的上表通过连接杆连接有加热面板4，连接杆设在烘烤设备本体13的上表面外缘处，加热面板4的下表面中心处设有传热管5，传热管5的底端贯穿烘烤设备本体13的上表面到达烘烤设备本体13的内部，本实施例中传热管5采用金属质导热管，能够将烘烤设备本体13内部的热量导到加热面板4处。

请参阅图1与图2，具体的，调节组件包括加数按钮9、减数按钮10，加数按钮9设在烘烤设备本体13的外侧表面，加数按钮9能够提升烘烤设备本体13的加热温度，加数按钮9的一端贯穿烘烤设备本体13的外侧表面到达烘烤设备本体13的内部，减数按钮10设在加数按钮9的一侧，减数按钮10能够降低烘烤设备本体13的加热温度，减数按钮10的一端贯穿烘烤设备本体13的外侧表面，本实施例中加数按钮9与减数按钮10便于工作人员对烘烤设备本体13的加热温度进行调控。

请参阅图1与图2，具体的，调节组件还包括功能按钮12，功能按钮12的一端嵌合在烘烤设备本体13的内部，本实施例中功能按钮12能够使得烘烤设备本体13将加热数据保存，便于工作人员在下一次加热存储器晶圆时调用数据，便于工作人员进行操作。

请参阅图1与图2，具体的，功能按钮12与减数按钮10之间设有移位按钮11，且移位按钮11放置在功能按钮12与减数按钮10的中部，移位按钮11的一端贯穿烘烤设备本体13的外侧表面。

请参阅图1与图2，具体的，功能按钮12的上方位于烘烤设备本体13的侧表面设有提示组件，提示组件包括加热指示灯2与报警指示灯7，报警指示灯7设在加热指示灯2的一侧，加热指示灯2与报警指示灯7的一端设在烘烤设备本体13的外侧，加热指示灯2与报警指示灯7的另一端贯穿烘烤设备本体13的侧壁到达烘烤设备本体13的内部，本实施例中提示组件便于工作人员快速的了解到目前设备的运作情况。

请参阅图1与图2，具体的，加热指示灯2的上方设有实际温度显示屏3，实际温度显示屏3的一侧设有设定温度显示屏6，实际温度显示屏3与设定温度显示屏6均嵌合在烘烤设备本体13的外侧表面，本实施例中实际温度显示屏3与设定温度显示屏6便于工作人员查看目前的温度情况。

请参阅图1与图2，具体的，烘烤设备本体13的两端均设有散热组件，散热组件包括散热孔1，散热孔1为圆形构件，且散热孔1均匀的排布在烘烤设备本体13的两侧表面，本实施例中烘烤设备本体13内部的热空气能够通过散热孔1排至外界环境中，从而降低烘烤设备本体13内部热空气的温度，有效的避免了烘烤设备本体13自身温度过高。

请参阅图1与图2，具体的，加热指示灯2与报警指示灯7均设在烘烤设备本体13的同一侧表面，且加热指示灯2与报警指示灯7保持在同一高度，本实施例中，便于工作人员的查看。

请参阅图1与图2，具体的，加数按钮9、减数按钮10、移位按钮11与功能按钮12均设在烘烤设备本体13的同一侧表面，且加数按钮9、减数按钮10、移位按钮11与功能按钮12保持在同一高度，本实施例中多个按钮保持在同一高度便于工作人员手动调整。

本实用新型的工作原理及使用流程：本实用新型中该设备在使用过程中工作人员将存储器晶圆均匀的放置在加热面板4的上表面，拨动电源开关8启动设备，设备在使用时工作人员可以按下加数按钮9与减数按钮10来调整烘烤设备本体13的发热量，烘烤设备本体13在发热过程中将热量通过传热管5导至加热面板4，加热面板4在接受到热量之后自身发热，并对其上表面的存储器晶圆进行烘烤；在设备使用过程中实际温度显示屏3显示实际温度，设定温度显示屏6显示设定温度；烘烤设备本体13运行过程中烘烤设备本体13内部多余的热量通过散热孔1排到外界环境中，避免烘烤设备本体13自身过热损毁，提升烘烤设备本体13的使用寿命。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“一端”、“中间”、“圆周”、“顶端”、“底端”、“左端”、“右端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“另一”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”、“若干”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接或彼此可通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一个示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域的普通技术人员在本实用新型的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。