1.一种测试腔,其特征在于,包括:载片平台、通气孔、气体分配装置和至少一个连接端;其中,
所述气体分配装置设置于所述连接端与所述通气孔之间,所述载片平台设置于所述气体分配装置与所述通气孔之间,所述载片平台用于承托晶圆的周缘;
所述晶圆包括多个芯片单元。
2.根据权利要求1所述的测试腔,其特征在于,所述测试腔除所述通气孔和所述连接端外均为密封结构。
3.根据权利要求1所述的测试腔,其特征在于,所述气体分配装置包括分流板;
所述分流板包括多个通孔。
4.根据权利要求3所述的测试腔,其特征在于,所述多个通孔均匀分布在所述分流板表面。
5.根据权利要求3所述的测试腔,其特征在于,所述多个通孔的总面积与所述分流板的面积的比值的取值范围为1/3~1/2。
6.根据权利要求3所述的测试腔,其特征在于,所述通孔的直径的取值范围为1mm~10mm。
7.根据权利要求1所述的测试腔,其特征在于,所述载片平台包括至少一个载片单元,每个所述载片单元包括至少一个圆环形的载片结构。
8.根据权利要求7所述的测试腔,其特征在于,所述载片单元包括多个不同尺寸的载片结构;多个所述载片结构按照直径从小到大,自下而上设置。
9.根据权利要求7所述的测试腔,其特征在于,所述载片平台包括多个阵列排布的载片单元。
10.根据权利要求7所述的气压测试装置,其特征在于,所述载片结构的宽度的取值范围为3~5mm;
所述载片结构的外圆直径大于所述晶圆的直径。
11.根据权利要求1所述的测试腔,其特征在于,还包括:
相对设置的第一盖和第二盖,所述第一盖和第二盖相对贴合时构成容纳空腔;
所述第一盖内部包括所述气体分配装置;
所述第二盖背离所述第一盖一侧表面具有所述通气孔,所述第二盖内部包括所述载片平台。
12.根据权利要求11所述的测试腔,其特征在于,所述第一盖还包括:设置于所述第一盖的第一方向侧壁上的第一把手;
所述第二盖还包括:设置于所述第二盖的所述第一方向侧壁上的第二把手。
13.根据权利要求11所述的测试腔,其特征在于,还包括:
设置于所述第一盖和所述第二盖的第二方向侧壁上的合页。
14.根据权利要求11所述的测试腔,其特征在于,所述测试腔还包括:密封圈,所述密封圈设置于所述第一盖与所述第二盖的接触面。
15.根据权利要求11所述的测试腔,其特征在于,所述测试腔还包括卡扣;
所述卡扣设置于所述第一盖或第二盖的外部表面,所述卡扣用于在处于扣紧状态时箍紧所述第一盖和第二盖,在处于打开状态时释放所述第一盖和所述第二盖。
16.根据权利要求1所述的测试腔,其特征在于,所述芯片单元为硅麦克风芯片。
17.一种气压测试装置,其特征在于,包括:气体供给装置和测试腔;其中,
所述气体供给装置包括至少一个出气口,所述测试腔包括载片平台、通气孔、气体分配装置和与所述出气口一一对应的连接端,所述通气孔设置于背离所述连接端一侧;
所述气体分配装置设置于所述连接端与所述通气孔之间,所述载片平台设置于所述气体分配装置与所述通气孔之间,所述载片平台用于承托晶圆的周缘;
所述气体供给装置通过所述至少一个出气口向所述测试腔提供预设压力的气体,以使所述预设压力的气体经过所述气体分配装置的气体分流后,在位于所述载片平台上的晶圆表面形成预设压力;
所述晶圆包括多个芯片单元。
18.根据权利要求17所述的气压测试装置,其特征在于,所述测试腔除所述通气孔和所述连接端外均为密封结构。
19.根据权利要求17所述的气压测试装置,其特征在于,所述气体分配装置包括分流板;
所述分流板包括多个通孔。
20.根据权利要求19所述的气压测试装置,其特征在于,所述多个通孔均匀分布在所述分流板表面。
21.根据权利要求19所述的气压测试装置,其特征在于,所述多个通孔的总面积与所述分流板的面积的比值的取值范围为1/3~1/2。
22.根据权利要求19所述的气压测试装置,其特征在于,所述通孔的直径的取值范围为1mm~10mm。
23.根据权利要求17所述的气压测试装置,其特征在于,所述载片平台包括至少一个载片单元,每个所述载片单元包括至少一个圆环形的载片结构。
24.根据权利要求23所述的气压测试装置,其特征在于,所述载片单元包括多个不同尺寸的载片结构;多个所述载片结构按照直径从小到大,自下而上设置。
25.根据权利要求23所述的气压测试装置,其特征在于,所述载片平台包括多个阵列排布的载片单元。
26.根据权利要求23所述的气压测试装置,其特征在于,所述载片结构的宽度的取值范围为3~5mm;
所述载片结构的外圆直径大于所述晶圆的直径。
27.根据权利要求17所述的气压测试装置,其特征在于,所述气体供给装置包括:
用于提供气体的气瓶;
与所述气瓶连接的气体管路;
设置于所述气体管路中的气路开关和减压阀,所述气路开关的开闭状态控制所述气体管路的通断状态,所述减压阀的开启大小控制所述气体管路中流经的气体压力,以使所述气体供给装置向所述测试腔提供预设压力的气体。
28.根据权利要求17所述的气压测试装置,其特征在于,所述测试腔包括:
相对设置的第一盖和第二盖,所述第一盖和第二盖相对贴合时构成容纳空腔;
所述第一盖内部包括所述气体分配装置;
所述第二盖背离所述第一盖一侧表面具有所述通气孔,所述第二盖内部包括所述载片平台。
29.根据权利要求28所述的气压测试装置,其特征在于,所述第一盖还包括:设置于所述第一盖的第一方向侧壁上的第一把手;
所述第二盖还包括:设置于所述第二盖的所述第一方向侧壁上的第二把手。
30.根据权利要求28所述的气压测试装置,其特征在于,所述第二盖还包括:
设置于所述第一盖和所述第二盖的第二方向侧壁上的合页。
31.根据权利要求28所述的气压测试装置,其特征在于,所述测试腔还包括:密封圈,所述密封圈设置于所述第一盖与所述第二盖的接触面。
32.根据权利要求28所述的气压测试装置,其特征在于,所述测试腔还包括卡扣;
所述卡扣设置于所述第一盖或第二盖的外部表面,所述卡扣用于在处于扣紧状态时箍紧所述第一盖和第二盖,在处于打开状态时释放所述第一盖和所述第二盖。
33.根据权利要求17所述的气压测试装置,其特征在于,所述芯片单元为硅麦克风芯片。