技术特征：
1.一种检测装置，其特征在于，用于对待测物上的待测点进行检测，所述检测装置包括：照明模块，用于产生照射至待测物的入射光，所述入射光经所述待测物形成信号光；成像模块，包括沿光路传输方向依次设置的成像组件和图像采集组件，所述成像组件包括光路调制元件，所述光路调制元件用于在高度方向上增大所述信号光的发散角度，所述高度方向垂直于入射所述光路调制元件的信号光的主光线、且平行于所述信号光的主光线与待测物表面法线所在平面，所述图像采集组件用于接收经过所述成像组件的信号光，并根据所述信号光获得所述待测物的成像信息，所述成像信息包括所述待测点在所述图像采集组件中形成的成像点的位置，所述成像点的位置与所述待测点的高度相对应。2.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述光路调制元件包括柱面凹透镜，所述柱面凹透镜在所述高度方向具有光焦度。3.如权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述图像采集组件包括用于接收所述信号光的靶面，所述柱面凹透镜与所述靶面相邻设置。4.如权利要求3所述的检测装置，其特征在于，所述柱面凹透镜与所述靶面的间距为0mm至50mm。5.如权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述柱面凹透镜入光面的曲率半径小于出光面的曲率半径。6.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述成像组件包括沿光路传输方向依次设置的第一镜组、光阑和管镜，其中，所述第一镜组用于收集所述信号光、并将所述信号光入射至所述光阑中，所述管镜用于接收经过所述光阑的信号光、并对所述信号光进行汇聚。7.如权利要求6所述的检测装置，其特征在于，所述光路调制元件位于所述管镜与图像采集组件之间的光路，且所述光路调制元件与所述管镜的间距大于所述管镜与所述图像采集组件的间距的二分之一。8.如权利要求6所述的检测装置，其特征在于，所述成像组件还包括：第一狭缝元件，位于所述第一镜组入射面一侧的光路，所述第一狭缝元件用于减少信号光的杂散光。9.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述图像采集组件的数量为多个；所述成像组件还包括：分束器，所述分束器用于将接收的所述信号光沿不同光路方向进行传输，并将所述信号光投射至图像采集组件中，各图像采集组件分别采集经过所述分束器形成的不同信号光。10.如权利要求9所述的检测装置，其特征在于，所述光路调制元件位于所述分束器入射面一侧的光路，且与所述分束器相邻设置。11.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述入射光的入射角为25度至35度。12.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述照明模块用于在所述待测物表面形成线形的光斑，所述线形的光斑的延伸方向垂直于入射光的入射面，所述入射光的入射面为入射光的主光线与待测物表面法线所在平面。13.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述照明模块包括沿光路传输方向依次设置的光源组件、第二狭缝元件和第二镜组，所述光源组件用于产生光束，所述第二狭缝元件用于使所述光束透过产生入射光，所述第二镜组对第二狭缝元件进行成像以在待测物表面形成第二狭缝元件的缩小的像。
14.如权利要求13所述的检测装置，其特征在于，所述光源组件包括：光源和整形元件，所述整形元件用于对所述光源发出的光进行整形，产生线形的光束。15.如权利要求14所述的检测装置，其特征在于，所述整形元件包括：光纤束，所述光纤束的入射端口形状与所述光源发出的光的光斑形状相匹配，所述光纤束的出射端口的光线呈一字型排列。16.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括：处理模块，用于接收所述成像信息，并对所述成像信息进行处理，获取所述待测点的高度信息。
技术总结
一种检测装置，包括：照明模块，用于产生照射至待测物的入射光，入射光经待测物形成信号光；成像模块，包括沿光路传输方向依次设置的成像组件和图像采集组件，成像组件包括光路调制元件，光路调制元件用于在高度方向上增大信号光的发散角度，高度方向垂直于入射光路调制元件的信号光的主光线、且平行于信号光的主光线与待测物表面法线所在平面，图像采集组件用于接收经过成像组件的信号光，并根据信号光获得待测物的成像信息，成像信息包括待测点在图像采集组件中形成的成像点的位置，成像点的位置与待测点的高度相对应。本实用新型有利于获得高精度的检测结果。得高精度的检测结果。得高精度的检测结果。
技术研发人员：刘健鹏 顾玥 张鹏斌 陈鲁
受保护的技术使用者：深圳中科飞测科技股份有限公司
技术研发日：2022.06.01
技术公布日：2022/12/16