专利名称：设备控制系统及其工作方法
技术领域：
本发明涉及通讯技术领域，特别涉及设备指令控制系统的架构及其工作方法。
背景技术：
随着半导体设备控制的自动化程度的不断提高，用户通过工作站控制半导体设备，进行各种操作。请参考图1所示的现有的设备控制系统的结构示意图。具体地，半导体设备I为MOCVD设备，其包括多个被控制模块，图中示出了第一被控制模块11、第二被控制模块12、第三被控制模块13，根据实际需要，所述第一被控制模块11可以为温控系统，第二被控制模块12可以为设备的压力控制系统，第三被控制模块可以为反应气炉系统等。工作站2的结构可以与工作站I的结构相同或不同，比如所述工作站2可以包括多个控制模块，第一控制模块21、第二控制模块22、第三控制模块23，所述第一控制模块21用于控制第一被控制模块11，所述第二控制模块22用于控制第二被控制模块12，所述第三控制模块23用于控制第三被控制模块13。在实际中，发现各个控制模块只能在同一工作站上执行，造成系统及各个功能模块的可携带性(portablity)有待提高，随着半导体设备的腔室增多，被控制模块增多，工作站中集成的控制模块也增多，影响整个设备控制系统的处理速度和可靠性。
发明内容
本发明实施例解决的问题是提供了一种设备控制系统，其中的各个功能模块能够在灵活配置在各个工作站上，提高了系统及各个功能模块的可靠性，也提高了设备控制系统的处理速度、可靠性。为了解决上述问题，本发明提供一种设备控制系统，包括至少一个工作站，每一工作站中设置有至少一个控制模块；地址配置单元，用于分配并存储地址，所述地址对应了要激活的控制模块；启动配置服务单元，用于基于所述地址激活各个工作站中相应的控制模块。可选地，所述地址配置单元中存储的地址可通过软件编程的方式更新。可选地，还包括优先级存放单元，用于存放各个控制模块激活的优先级，所述启动配置服务单元依照优先级的次序激活各个控制模块。可选地，所述启动配置服务单元并行激活全部要激活的控制模块。可选地，每一工作站具有通讯单元，用于在所述工作站中的控制模块激活之后将控制模块对应的指针地址发送至所述启动配置服务单元，所述启动配置服务单元还用于存储所述指针地址，所述指针地址用于指向与其对应的控制模块。可选地，所述地址为所述工作站的通讯单元的物理地址。可选地，还包括常用地址指针存放单元，用于标记常用控制模块，在所述常用控制模块激活后，所述常用地址指针存放单元还用于从所述启动配置服务单元获得所述常用控制模块的地址指针。
可选地，所述常用地址指针存放单元设置于启动配置服务单元或通讯单元中。可选地，所述设备控制模块应用于半导体设备的控制。可选地，所述设备控制系统至少有两个工作站，所述半导体设备为MOCVD设备。相应地，本发明还提供一种设备控制系统的工作方法，所述设备控制系统包括地址配置单元、启动配置服务单元和至少一个工作站，所述工作站中具有至少一个控制模块，每一工作站具有对应的通讯单元，包括在所述地址配置单元对要激活的控制模块分配物理地址；所述启动配置服务单元基于所述物理地址激活要激活的控制模块；所述控制模块激活后，通过所述控制模块所在的工作站的通讯单元将所述控制模块的指针地址发送至所述启动配置服务单元。可选地，通过更新所述地址配置单元中的物理地址实现所述控制模块在各个工作站之间切换。可选地，所述控制模块激活后，利用其通讯单元标记常用控制模块，并且记录所述常用控制模块的指针地址。可选地，所述控制模块激活后，利用所述启动配置服务单元标记常用控制模块，并且记录所述常用控制模块的指针地址。与现有技术相比，本发明具有以下优点本发明提供的设备控制系统中设置的地址配置单元能够对控制模块分配地址，所述启动被指服务单元能够基于所述地址激活控制模块，当需要在各工作站新增控制模块或交换控制模块时，只需要在地址配置单中对要激活的控制模块的物理地址进行更新即可，从而各个控制模块能够灵活的设置在各个工作站中，提高了设备控制系统及各个控制模块的可携带性，各个控制模块可以合理分配在各个工作站，从而避免一个工作站处理过多的控制模块，加快了设备控制系统的处理速度、可靠性；进一步优化地，通过所述控制模块的通讯单元标记常用控制模块，在激活所述常用控制模块后，从所述启动配置服务单元获得所述常用控制模块的地址指针，从而进一步加快处理速度。
图1是现有的设备控制系统的结构示意图；图2是本发明一个实施例的设备控制系统的结构示意图；图3是本发明一个实施例的用户指令处理系统的结构示意图。
具体实施例方式现有的设备控制系统的各个控制模块只能在同一工作站上执行，造成系统及各个功能模块的可携带性(portablity)有待提高，各个控制模块中的软件部分只能安装并且运行在同一工作站。随着半导体设备越来越复杂，其中的功能模块和软件部分增多，并且对工作站的硬件要求更好，仅将控制模块设置在同一工作站，会使得工作站的处理速度和可靠性降低。由于受到工作站资源的限制，整个设备控制系统的可扩展性也受到了限制。为了解决上述问题，本发明的发明人提出的设备控制系统包括
至少一个工作站，每一工作站中设置有至少一个控制模块；地址配置单元，用于分配并存储地址，所述地址对应了要激活的控制模块；启动配置服务单元，用于基于所述地址激活各个工作站中相应的控制模块。本发明的设备控制系统可用于沉积、刻蚀、光刻、扩散等各种类型的半导体设备。下面结合具体的实施例对本发明的技术方案进行说明。请结合图2所示的本发明一个实施例的设备控制系统的结构示意图。所述设备控制系统应用于MOCVD设备。具体地，所述设备控制系统包括4个工作站，分别是第一工作站10、第二工作站20、第三工作站30和第四工作站40。在其他的实施例中，根据实际的需要，所述工作站的数目也可以为I个、2个、3个或更多个。每一工作站中具有至少一个控制模块。作为一个实施例,所述第一工作站10中具有第一控制模块101、第二控制模块102、第三控制模块103，所述第二工作站20中具有第四控制模块201、第五控制模块202、第六控制模块203，第三工作站30中具有第七控制模块301、第八控制模块302和第九控制模块303，所述第四工作站40中具有第十控制模块401、第十一控制模块402和第十二控制模块403。作为一个实施例，各个控制模块包括软件模块和与软件结合的电气控制模块，比如所述控制模块可以为用于控制气体流量的软件模块以及控制气体流量的工业控制器。作为本发明的又一实施例，所述控制模块也可以为单纯的软件模块。作为一个实施例，本领域技术人员可以将用于控制半导体设备所需全部的软件模块全部安装于每一个工作站中，根据实际情况选择在哪一个工作站中激活所述软件模块，这样可以在工作站中合理配置各个软件模块，避免某一工作站的负担过重，加快工作站的处理速度和可靠性。各个软件模块可以在工作站之间进行灵活的移植，从而提高控制模块的可携带性。在其他的实施例中，各个工作站中的控制模块的数目、具体安装或激活哪个控制模块可以根据需要进行设置。每一工作站具有通讯单元,每一通讯单元具有与之对应的物理地址(即IP地址)。本实施例中，所述第一工作站10具有第一通讯单元104，第二工作站20具有第二通讯单元204，第三工作站30具有第三通讯单元304，第四工作站40具有第四通讯单元404。地址配置单元50用于基于对各个控制模块分配并存储地址。作为本发明的一个实施例，所述地址为要激活的控制模块所在的工作站的通讯单元的物理地址。作为本发明的又一实施例，所述地址为与要激活的控制模块所在的工作站中的通讯单元的物理地址对应的地址代码，每一地址代码与物理地址唯一对应。在实际中，本领域技术人员可以通过软件编程的方式在地址配置单元中写入要激活的控制模块的物理地址，从而对存储物理地址进行更新。启动配置服务单元60用于基于所述地址配置单元50中存储的地址激活各个工作站中相应的控制模块。在将所述启动配置服务单元60启动后，所述启动配置服务单元60从所述地址配置单元50获得要激活的控制模块及其地址，所作为一个实施例，所述地址为要激活的控制模块所在的通讯单元的物理地址，所述启动配置服务单元60基于所述物理地址激活各个工作站中相应的控制模块。作为本发明的优选实时，所述设备控制系统还可以包括优先级存放单元(图中未示出)，所述优先级存放单元用于存放各个控制模块激活的优先级，所述启动配置服务单元60依照优先级的次序激活各个控制模块。作为本发明的一个实施例，所述优先级存放单元设置于所述启动配置服务单元50中；作为本发明的又一实施例，所述优先级存放单元设置于每一工作站的通讯单元中。设置优先级存放单元，所述启动配置服务单元60可以按照优先级顺序激活各个控制模块。当然，作为本发明的其他实施例，所述启动配置服务单元50也可以并行激活要激活的全部控制模块。各个工作站的控制模块激活之后，该控制模块将其对应的地址指针发送至该控制模块所在的通讯单元，通过该通讯单元将地址指针发送至启动配置服务单元50中，将所述地址指针存储于启动配置服务单元中。所述指针地址用于指向与其对应的控制模块。当一个控制模块向另一控制模块发送指令信息时，可以通过所述另一控制模块的地址指针的指向作用找到所述另一控制模块，实现指令信息的传递。作为一个实施例，当第一工作站10中的第一控制模块101需要向第三工作站30中的第七控制模块301发送指令信息时，第一工作站10将指令信息发送至其所在的第一工作站10的第一通讯单元104，所述第一通讯单元104从启动配置服务单元60中获得所述第七控制模块301的地址指针，通过该地址指针的指向作用，所述第一通讯单元104可以迅速地将所述指令信息发送至所述第七控制模块301。为了进一步提高各个控制模块之间信息交互的速度，作为一个实施例，所述设备控制系统中还包括常用地址指针存放单元(未图示)，用于标记常用控制模块，在激活所述常用控制模块后，从所述启动配置服务单元获得所述常用控制模块的地址指针。作为本发明的一个实施例，所述常用地址指针存放单元设置于启动配置服务单元50中；作为本发明的又一实施例，所述常用地址指针存放单元设置于每一工作站的通讯单元中。通过所述控制模块的通讯单元标记常用控制模块，在激活所述常用控制模块后，从所述启动配置服务单元获得所述常用控制模块的地址指针，从而进一步加快处理速度。本发明提供的所述设备控制系统的工作方法，所述设备控制系统包括地址配置单元、启动配置服务单元和至少一个工作站，所述工作站中具有至少一个控制模块，每一工作站具有对应的通讯单元，请结合图3所示的本发明一个实施例的设备控制系统的工作方法的流程示意图，所述工作方法包括步骤SI，在所述地址配置单元对要激活的控制模块分配物理地址；步骤S2，所述启动配置服务单元基于所述物理地址激活要激活的控制模块；步骤S3，所述控制模块激活后，通过所述控制模块所在的工作站的通讯单元将所述控制模块的指针地址发送至所述启动配置服务单元。作为一个实施例，所述设备控制系统具有至少两个工作站，在启动所述设备控制系统之前，可以在各个工作站中安装控制半导体设备(比如MOCVD设备)的全部的软件模块。然后通过地址配置单元对要激活的控制模块分配物理地址，目的是实现在在各个工作站中合理配置各个软件模块。当需要将各个软件模块在各个工作站之间进行切换时，只需要更新所述地址配置单元中的物理地址即可实现。为了进一步提高系统的工作效率，在控制模块激活后，可以利用通讯单元或启动配置服务单元标记常用控制模块，并且记录所述常用控制模块的指针地址，各个控制模块可基于所述地址指针实现与常用控制模块之间的信息交互。
综上，本发明提供的设备控制系统中设置的地址配置单元能够对控制模块分配地址，所述启动被指服务单元能够基于所述地址激活控制模块，当需要在各工作站新增控制模块或交换控制模块时，只需要在地址配置单中对要激活的控制模块的物理地址进行更新即可，从而各个控制模块能够灵活的设置在各个工作站中，提高了设备控制系统及各个控制模块的可携带性，各个控制模块可以合理分配在各个工作站，从而避免一个工作站处理过多的控制模块，加快了设备控制系统的处理速度和可靠性；进一步优化地，通过所述控制模块的通讯单元标记常用控制模块，在激活所述常用控制模块后，从所述启动配置服务单元获得所述常用控制模块的地址指针，从而进一步加快处理速度。虽然本发明已以较佳实施例披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。
权利要求
1.一种设备控制系统，其特征在于，包括: 至少一个工作站，每一工作站中设置有至少一个控制模块； 地址配置单元，用于分配并存储地址，所述地址对应了要激活的控制模块； 启动配置服务单元，用于基于所述地址激活各个工作站中相应的控制模块。
2.如权利要求1所述的设备控制系统，其特征在于，所述地址配置单元中存储的地址可通过软件编程的方式更新。
3.如权利要求1所述的设备控制系统，其特征在于，还包括:优先级存放单元，用于存放各个控制模块激活的优先级，所述启动配置服务单元依照优先级的次序激活各个控制模块。
4.如权利要求1所述的设备控制系统，其特征在于，所述启动配置服务单元并行激活全部要激活的控制模块。
5.如权利要求1所述的设备控制系统，其特征在于，每一工作站具有通讯单元，用于在所述工作站中的控制模块激活之后将控制模块对应的指针地址发送至所述启动配置服务单元，所述启动配置服务单元还用于存储所述指针地址，所述指针地址用于指向与其对应的控制模块。
6.如权利要求5所述的设备控制系统，其特征在于，所述地址为所述工作站的通讯单元的物理地址。
7.如权利要求5所述的设备控制系统，其特征在于，还包括:常用地址指针存放单元，用于标记常用控制模块，在所述常用控制模块激活后，所述常用地址指针存放单元还用于从所述启动配置服务单元获得所述常用控制模块的地址指针。
8.如权利要求7所述的设备控制系统，其特征在于，所述常用地址指针存放单元设置于启动配置服务单元或通讯单元中。
9.如权利要求1所述的设备控制系统，其特征在于，所述设备控制模块应用于半导体设备的控制。
10.如权利要求9所述的设备控制系统，其特征在于，所述设备控制系统至少有两个工作站，所述半导体设备为MOCVD设备。
11.一种设备控制系统的工作方法，所述设备控制系统包括地址配置单元、启动配置服务单元和至少一个工作站，所述工作站中具有至少一个控制模块， 每一工作站具有对应的通讯单元，其特征在于，包括: 在所述地址配置单元对要激活的控制模块分配物理地址； 所述启动配置服务单元基于所述物理地址激活要激活的控制模块； 所述控制模块激活后，通过所述控制模块所在的工作站的通讯单元将所述控制模块的指针地址发送至所述启动配置服务单元。
12.如权利要求11所述的设备控制系统的工作方法，其特征在于，通过更新所述地址配置单元中的物理地址实现所述控制模块在各个工作站之间切换。
13.如权利要求11所述的设备控制系统的工作方法，其特征在于，所述控制模块激活后，利用其通讯单元标记常用控制模块，并且记录所述常用控制模块的指针地址。
14.如权利要求11所述的设备控制系统的工作方法，其特征在于，所述控制模块激活后，利用所述启动配置服务单元标记常用控制模块，并且记录所述常用控制模块的指针地址。
全文摘要
本发明提供设备控制系统及其工作方法，所述设备控制系统包括至少一个工作站，每一工作站中设置有至少一个控制模块；地址配置单元，用于分配并存储地址，所述地址对应了要激活的控制模块；启动配置服务单元，用于基于所述地址激活各个工作站中相应的控制模块。本发明使得各个控制模块能够灵活的设置在各个工作站中，提高了设备控制系统及各个控制模块的可携带性，各个控制模块可以合理分配在各个工作站，从而避免一个工作站处理过多的控制模块，加快了设备控制系统的处理速度和可靠性。
文档编号G05B19/418GK103076773SQ201210560600
公开日2013年5月1日 申请日期2012年12月20日 优先权日2012年12月20日
发明者宁海涛, 张锐, 季振勇, 任杰, 黄颖泉 申请人:光达光电设备科技(嘉兴)有限公司