技术总结
钨化学沉积内腔等离子清洁终点控制器增益自动调节装置，包括单片机核心控制模块、数字可调电阻和A/D转换。所述的单片机核心控制模块与数字可调电阻相连，另一端与A/D转换相连，通过A/D转换接收输出端的反馈信号。所述的数字可调电阻连接在终点控制器放大器两端，且与单片机核心控制模块相连。单片机核心控制模块根据输出端反馈信号，判断输出信号是否超出内部预设范围，从而调用不通过指令调节数字可调电阻阻值，最后使得输出值满足预设范围。
技术研发人员：张德培;睢智峰
受保护的技术使用者：上海陛通半导体能源科技股份有限公司
文档号码：201621380986
技术研发日：2016.12.13
技术公布日：2017.09.08