一种基于质谱仪真空腔内气压变化的控制方法与流程

文档序号:11518826阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
一种基于质谱仪真空腔内气压变化的控制方法,属于质谱仪分析控制技术领域。该方法通过气压传感器将真空腔内的气压值实时采集到质谱仪中心控制器中,参与质谱仪信号的时序控制,中心控制器依据气压状态实时调整各种离子操控信号的发生与时序,在预设气压范围内,进行相应的离子操作。当真空腔内气压状态无法完成质谱分析等一系列操作时,通过程序控制开关前级泵、分子泵的抽气速率及可控气路,保证质谱分析操作在合适的气压条件下进行,从而得到正确的样品分析结果,同时节省了大量的人工调试仪器、修正控制信号时序关系的工作,有效提高了质谱仪分析效率。

技术研发人员:欧阳证;刘新玮
受保护的技术使用者:清华大学
技术研发日:2017.03.28
技术公布日:2017.08.18
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