是否为开启状态,若是,则进入步骤S43 ;若否,则进入步骤S44 ;步骤S43,关闭所述idleoutput功能；步骤S44,关闭所述加热灯,设置所述加热灯的输出功率百分比为初始值；步骤S45，打开所述加热灯，在所述已完成维护的加热灯输出最大输出功率的条件下，采集该加热灯在所述多个输出功率百分比下--对应的输出电流值；步骤S46，查询与每个所述特定输出功率百分比相对应的所述标准电流值，根据与每个所述特定输出功率百分比对应的所述输出电流值和所述标准电流值，计算在该特定输出功率百分比条件下已完成维护的加热灯的最大输出功率相对未维护之前的加热灯的最大输出功率的增减百分比；步骤S47,根据在步骤Sll中保存的idleoutput功能的当前状态来开启或者关闭所述idleoutput功能。
[0017]其中，多个所述输出功率百分比的范围在0%?100%，设置所述加热灯的输出功率百分比的初始值为0%，设置在每个输出功率百分比条件下采集所述加热灯的输出电流值数量的初始值为O ;在所述步骤S45中包括以下步骤:步骤S451，打开所述加热灯；步骤S452，判断所述加热灯的当前输出功率百分比是否等于100%，若否，则进入步骤S453 ;若是，则进入步骤S457 ;步骤S453，所述当前输出功率百分比增加1% ;步骤S454，判断在所述当前输出功率百分比条件下采集的所述加热灯的输出电流值数量是否满足预设数量，若否，则进入步骤S455 ;若是，则进入步骤S456 ;步骤S455，在所述当前输出功率百分比条件下，对所述加热灯的输出电流值采集一次，并使采集的所述加热灯的输出电流值的数量加1，并在间隔预设时间之后，进入步骤S454;步骤S456，在所述当前输出功率百分比条件下，根据采集到的预设数量的输出电流值计算所述加热灯的输出电流值的相关参数，并基于所述相关参数确定在当前输出功率百分比条件下的所述加热灯的输出电流值；步骤S457，关闭加热灯。
[0018]本发明具有下述有益效果:
[0019]本发明提供的加热灯的监控方法，其借助步骤SI，在加热灯输出最大输出功率的条件下，米集加热灯在多个输出功率百分比下对应的输出电流值，并根据该输出电流值设定与之对应的输出功率百分比条件下的标准电流值；步骤S2，在执行工艺配方的工艺过程中，工艺配方包括每个工艺步骤对应的加热灯的预设输出功率百分比，检测加热灯在当前预设输出功率百分比条件下的当前输出电流值，并查询与当前预设输出功率百分比相对应的标准电流值，将当前输出电流值与标准电流值进行比较，若二者存在偏差，则进入步骤S3 ;若二者不存在偏差，则继续执行步骤S2 ;步骤S3，对加热灯进行维护。由上可知，采用自动的方式实现对加热灯进行实时监控，这与现有技术中采用人为方式相比，可以及时地监测加热灯的输出功率是否降低，从而可以及时地对加热灯进行维护以保证加热灯对基片稳定加热，进而可以提闻工艺质量。
【附图说明】
[0020]图1为本发明第一实施例提供的加热灯的监控方法的流程框图；
[0021]图2为图1所示的步骤SI的流程框图；
[0022]图3为图2所示的步骤S15的流程框图；
[0023]图4为图1所示的步骤S2的流程框图；
[0024]图5为本发明第二实施例提供的加热灯的监控方法的流程框图；
[0025]图6为图5所示的步骤S4的流程框图；以及
[0026]图7为图6所示的步骤S45的流程框图。
【具体实施方式】
[0027]为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图对本发明提供的加热灯的监控方法进行详细描述。
[0028]为便于理解，所谓加热灯输出最大输出功率的条件是指在加热灯的输出功率并没有经过长时间的使用(经历多次工艺过程)而降低的情况。
[0029]图1为本发明第一实施例提供的加热灯的监控方法的流程框图。请参阅图1，本发明提供的加热灯的监控方法包括以下步骤:
[0030]步骤SI，在加热灯输出最大输出功率的条件下，采集加热灯在多个输出功率百分比下一一对应的输出电流值，并根据该输出电流值设定与之对应的输出功率百分比条件下的标准电流值；
[0031]步骤S2，在执行工艺配方的工艺过程中，工艺配方包括每个工艺步骤对应的加热灯的预设输出功率百分比，检测加热灯在当前预设输出功率百分比条件下的当前输出电流值，并查询与当前预设输出功率百分比相对应的标准电流值，将当前输出电流值与标准电流值进行比较，若二者存在偏差，则进入步骤S3 ;若二者不存在偏差，则继续执行步骤S2 ；
[0032]步骤S3，对加热灯进行维护(例如，对加热灯进行维修或者更换等)。
[0033]优选地，当当前输出电流值与标准电流值存在偏差较小时，加热灯的输出功率的变化也较小，因此，可以不需要对加热灯进行维护。因此，在本实施例的步骤Si中，还包括根据该输出电流值设定每个输出功率百分比对应的最大允许当前输出电流值偏离标准电流值的预设范围；在这种情况下，在步骤S2中，还包括若二者存在偏差，判断偏差是否位于预设范围内，若是，则继续执行步骤S2 ;若否，则进入步骤S3。借助设定预设范围，可以在偏差较小时不需要对加热灯进行维护，仅对偏差超出预设范围时对加热灯进行维护，因而在保证对基片稳定加热的前提下可以在一定程度上减小对加热灯维护耗费的时间，从而可以提高本发明提供的加热灯的监控方法的实用性。
[0034]由于在执行工艺配方的工艺过程中包含多个工艺步骤，且每个工艺步骤在工艺配方内设置有相对应的预设输出功率百分比，为此，在步骤Si中的多个输出功率百分比条件下应该至少包括与每个工艺步骤相对应的预设输出功率百分比。在实际应用中，每个工艺步骤对应设置的预设输出功率百分比通常为百分之整数，因此通常设置多个输出功率百分比的范围在0%?100%，且在步骤SI中获得0%?100%范围内的任意一个百分之整数的输出功率百分比对应的标准电流值和预设范围，这使得本发明提供的加热灯的监控方法可以适用于多个预设输出功率百分比为多种不同的情况，从而可以提高本发明提供的加热灯的监控方法的适用性。
[0035]并且，在本实施例中，在步骤SI之后且在步骤S2之前，还可以包括步骤S6和步骤7，
[0036]步骤S6，判断是否需要执行工艺配方的工艺过程，若是，则进入步骤S7 ;若否，则继续执行步骤S6 ；
[0037]步骤S7，开始执行工艺配方的工艺过程，并进入步骤S2。
[0038]具体地,在本实施例中，定义idleoutput功能为在工艺腔室内不执行工艺配方时加热灯在一定输出功率百分比下(即，加热灯以一定的输出功率)对工艺腔室进行加热保温的功能；容易理解，步骤SI应该在工艺腔室内不执行工艺配方的工艺过程时进行，且由于在步骤SI中需要设定不同输出功率百分比下的标准电流值和预设范围，idleoutput功能开启是以一定输出功率百分比下对工艺腔室进行加热保温，因此，在步骤SI中需要关闭idleoutput功能；如图2所示,步骤SI包括以下步骤:
[0039]步骤SI I，保存idleoutput功能的当前状态，当前状态包括开启和关闭状态；
[0040]步骤S12,判断idleoutput功能的当前状态是否为开启状态,若是，则进入步骤S13，若否，则进入步骤S14 ；
[0041]步骤S13,关闭 idleoutput 功能；
[0042]步骤S14，关闭加热灯，设置加热灯的输出功率百分比为初始值，并清除加热灯的每个输出功率百分比条件下的标准电流值；
[0043]步骤S15，打开加热灯，在加热灯输出最大输出功率的条件下，采集加热灯在多个输出功率百分比下对应的输出电流值，并根据每个输出功率百分比对应的输出电流值设定该输出功率百分比条件下的标准电流值和预设范围；
[0044]步骤S16,根据在步骤Sll中保存的idleoutput功能的当前状态来开启或者关闭idleoutput功能；具体地,根据在步骤Sll中保存的idleoutput功能的当前状态判断是否开启idleoutput功能,若是,贝U开启idleoutput功能,若否,贝U结束。
[0045]在本实施例中，多个输出功率百分比的范围在0%?100%，设置加热灯的输出功率百分比的