出功率百分比进行调节之后进入步骤SI。
[0071]由于在步骤S3中对加热灯进行了维护，这使得加热灯的最大输出功率可能相比未维护之前的最大输出功率增大或者减小，因此，需要在步骤S4中计算已完成维护的加热灯的最大输出功率相对未维护之前的加热灯的最大输出功率的增减百分比，以便于在步骤S5根据该增减百分比对预设输出功率百分比进行调节。例如，未维护之前的加热灯的最大输出功率在特定输出功率百分比为50%的条件下，标准电流值为50A ;已完成维护的加热灯的最大输出功率在特定输出功率百分比为50%的条件下的输出电流值为45A，计算得到在特定输出功率百分比为50%的条件下已完成维护的加热灯的最大输出功率相对未维护之前的加热灯的最大输出功率的降低10%。
[0072]优选地，在步骤S4中会输出计算得到的增减百分比，以便于在步骤S5中操作人员根据该输出结果来调节预设输出功率百分比。例如，在步骤S4中输出“在特定输出功率百分比为50%的条件下，已完成维护的加热灯的最大输出功率相对未维护之前的加热灯的最大输出功率的降低10%”，因此，在步骤S5中操作人员可以根据该输出结果调节预设输出功率百分比增大，以通过增大预设输出功率百分比弥补已完成维护加热灯的最大输出功率降低带来的不能满足工艺实际所需的输出功率。
[0073]在步骤S4中的特定输出功率百分比可以为工艺步骤对应的预设输出功率百分t匕，也可以为另外设置的其他数值的输出功率百分比。并且，特定输出功率百分比的数量不仅可以为一个，也可以为多个，具体地，当特定输出功率百分比为多个时，分别计算在每个特定输出功率百分比条件下已完成维护的加热灯的最大输出功率相对未维护之前的加热灯的最大输出功率的增减百分比，并对多个增减百分比求平均值作为实际已完成维护的加热灯的最大输出功率相对未维护之前的加热灯的最大输出功率的增减百分比，这可以提高该增减百分比的准确性；当特定输出功率百分比为一个时，在该特定输出功率百分比条件下已完成维护的加热灯的最大输出功率相对未维护之前的加热灯的最大输出功率的增减百分比可以作为增减百分比的估值，这可以提高监控效率。
[0074]在本实施例中，定义idleoutput功能为在工艺腔室内不执行工艺配方时加热灯在一定输出功率百分比下(即，加热灯以一定的输出功率)对工艺腔室进行加热保温的功能；容易理解，为防止最大输出功率不确定的已完成维护的加热灯对工艺过程和与idleoutput功能相关的对工艺腔室保温过程产生影响，因此，步骤S4应该在工艺腔室内不执行工艺配方的工艺过程和idleoutput功能关闭时进行；具体地,如图6所示,在步骤S4中包括以下步骤:
[0075]步骤S41，保存idleoutput功能的当前状态，当前状态包括开启和关闭状态；
[0076]步骤S42,判断idleoutput功能的当前状态是否为开启状态,若是，则进入步骤S43 ;若否，则进入步骤S44 ；
[0077]步骤S43,关闭 idleoutput 功能；
[0078]步骤S44，关闭加热灯，设置加热灯的输出功率百分比为预设初始值；
[0079]步骤S45，打开加热灯，在已完成维护的加热灯输出最大输出功率的条件下，采集该加热灯在多个输出功率百分比下对应的输出电流值；
[0080]步骤S46，查询与每个特定输出功率百分比相对应的标准电流值，根据与每个特定输出功率百分比对应的输出电流值和标准电流值,计算在该特定输出功率百分比条件下已完成维护的加热灯的最大输出功率相对未维护之前的加热灯的最大输出功率的增减百分比；
[0081]步骤S47,根据在步骤Sll中保存的idleoutput功能的当前状态来开启或者关闭idleoutput功能；具体地,根据在步骤Sll中保存的idleoutput功能的当前状态判断是否开启idleoutput功能,若是,贝U开启idleoutput功能,若否,贝U结束。
[0082]在本实施例中，多个输出功率百分比的范围在0%?100%，设置加热灯的输出功率百分比的预设初始值为0%，设置在每个输出功率百分比条件下采集加热灯的输出电流值数量的初始值为O ;如图7所示，在步骤S45中包括以下步骤:
[0083]步骤S451，打开加热灯；
[0084]步骤S452，判断加热灯的当前输出功率百分比是否等于100%，若否，则进入步骤
5453;若是，则进入步骤S457 ；
[0085]步骤S453，当前输出功率百分比增加1% ；
[0086]步骤S454，判断在当前输出功率百分比条件下采集的加热灯的输出电流值数量是否满足预设数量(例如，10个、20个)，若否，则进入步骤S455 ;若是，则进入步骤S456 ；
[0087]步骤S455，在当前输出功率百分比条件下，对加热灯的输出电流值采集一次，并使采集的加热灯的输出电流值的数量加1，并在间隔预设时间(例如，500ms)之后，进入步骤
5454；
[0088]步骤S456，在当前输出功率百分比条件下，根据采集到的预设数量的输出电流值计算加热灯的输出电流值的相关参数(例如，平均值、方差和标准差)，并基于该相关参数确定在当前输出功率百分比条件下的加热灯的输出电流值；例如，将计算得到的平均值确定为在当前输出功率百分比条件下的加热灯的输出电流值，这可以提高输出电流值的准确性，从而可以提高后续调节预设输出功率百分比的准确性；
[0089]步骤S457，关闭加热灯。
[0090]由于步骤S451?步骤S457与上述第一实施例中的步骤S151?步骤S157相类似，在此不再赘述。
[0091]在本实施例中，多个输出功率百分比的范围在0%?100%，在步骤S45中，可以获得0%?100%范围内的任意一个百分之整数的输出功率百分条件下的预设数量的输出电流值，从而确定准确的输出电流值，这使得本发明提供的加热灯的监控方法可以在特定输出功率百分比发生变化时同样适用，从而可以提高本发明提供的加热灯的监控方法的适用性。当实际应用中，设置特定输出功率百分比固定保持不变时，可以在步骤S45中在加热灯输出最大输出功率的条件下，采集加热灯在该固定的特定输出功率百分比下的输出电流值。
[0092]在步骤S5中，具体地，当增减百分比为增加百分比时，根据该增加百分比相应减小预设输出功率百分比；当增减百分比为减小百分比时，根据该减小百分比相应增大预设输出功率百分比。并且，在步骤S5中，可以采用自动或者手动的方式根据该增减百分比对预设输出功率百分比进行调节。由于当需要对预设输出功率百分比进行调节时，即，已完成维护的加热灯的最大输出功率相对未维护之前的加热灯的最大输出功率发生变化，因此，在对预设输出功率百分比进行调节之后，需要进入步骤SI中重新在该已完成维护的加热灯的输出最大输出功率条件下设定每个输出功率百分比对应的标准电流值。
[0093]可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的原理和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。
【主权项】
1.一种加热灯的监控方法，其特征在于，包括以下步骤: 步骤SI，在所述加热灯输出最大输出功率的条件下，采集所述加热灯在多个输出功率百分比下一一对应的输出电流值，并根据该输出电流值设定与之对应的输出功率百分比条件下的标准电流值； 步骤S2，在执行工艺配方的工艺过程中，所述工艺配方包括每个工艺步骤对应的所述加热灯的预设输出功率百分比，检测所述加热灯在当前预设输出功率百分比条件下的当前输出电流值，并查询与当前预设输出功率百分比相对应的所述标准电流值，将所述当前输出电流值与所述标准电流值进行比较，若二者存在偏差，则进入步骤S3;若二者不存在偏差，则继续执行步骤S2; 步骤S3，对所述加热灯进行维护。
2.根据权利要求1所述的加热灯的监控方法，其特征在于，在所述步骤SI中，还包括根据该输出电流值设定每个所述输出功率百分比对应的最大允许所述当前输出电流值偏离所述标准电流值的预设范围； 在所述步骤S2中，还包括若二者存在偏差，判断所述偏差是否位于所述预设范围内，若是，则继续执行步骤S2 ;若否，则进入所述步