触摸屏面板及其制造方法
【专利摘要】本发明的实施例提供一种触摸屏面板及其制造方法，所述触摸屏面板包括：形成在透明基材的显示区域的传感图案；以及形成在位于显示区域的外围的非显示区域并且与传感图案连接的传感线；其中，传感图案包括：按照各个朝向第一方向的线沿着第一方向形成的多个第1传感单元和沿着朝向第一方向的线连接第1传感单元的第一连接线；以及按照各个朝向第二方向的线沿着第二方向形成的第2传感单元和沿着朝向第二方向的线连接第2传感单元的第二连接线；其中，第1传感单元和第2传感单元分别被形成为层叠结构，连接第1传感单元的第一连接线与第1传感单元的上层形成为一体。根据本发明的触摸屏面板可改善图案被可视化的现象，并且减小连接线的电阻。
【专利说明】触摸屏面板及其制造方法
【技术领域】
[0001 ] 本发明的实施例涉及触摸屏面板及其制造方法。
【背景技术】
[0002]触摸屏面板是一种能够利用人的手指或者物体针对显示在图像显示装置等画面的指示内容进行选择，以输入用户指令的输入装置。
[0003]为此，将触摸屏面板设置在图像显示装置的正面(front face)上，从而将直接接触于人体中的手或者物体的接触位置转换成电信号。由此，将接触位置上被选择的指示内容作为输入信号予以接收。
[0004]由于如上所述的触摸屏面板可替代连接在图像显示装置并运行的额外的输入装置，如键盘和鼠标等，因此其适用范围正逐渐地扩大。
[0005]人们所熟悉的实现触摸屏面板的方式有电阻膜方式、光感应方式以及电容方式等。其中，电容方式的触摸屏面板通过感应当有人的手指或者物体接触时形成在导电性传感图案与周围的其他传感图案或者接地电极等之间的电容的变化，将接触位置转换成电信号。
[0006]上述的电容方式的触摸屏面板包括:将所述传感图案沿着第一方向连接而成的第I传感单元(sensing cell);以及将所述传感图案沿着第二方向连接而成的第2传感单元。此时，相邻的第I传感单元通过第一连接线电连接，相邻的第2传感单元通过第二连接线电连接。虽然所述第一连接线和第二连接线互相交叉，但是通过形成在两者之间的绝缘膜彼此绝缘。
[0007]作为广泛地被使用的结构有:将所述第I传感单元和第2传感单元形成在相同的层上、并且将所述第一连接线或第二连接线以桥梁图案(bridge pattern)的方式形成在所述绝缘膜上以连接第I传感单元或第2传感单元。
[0008]此时，与所述传感单元相同地，可以以透明导电物质(例如，ΙΤ0)或者电阻小的金属材料构成形成在所述绝缘膜上的连接线。
[0009]但是，如上所述的结构，S卩，对于具有作为桥梁图案的连接线的传感图案结构，存在所述桥梁图案可能够被用户识别的缺点。
[0010]为了克服上述问题，应尽可能地减小所述桥梁图案的材料、长度、宽度、厚度。但是这种设计会增加所述桥梁图案的电阻，因此会引起感应灵敏度降低以及抗外部ESD的特性减弱等其他问题。
【发明内容】
[0011]本发明的实施例的目的在于，提供一种触摸屏面板及其制造方法，在电容方式的触摸屏面板中通过将构成传感图案的第I传感单元和第2传感单元形成为层叠结构，并且将连接第I传感单元的连接线与所述第I传感单元的上层形成为一体，从而改善图案被可视化的现象，并且减小连接线的电阻。[0012]为了实现上述目的，根据本发明的实施例的触摸屏面板包括:形成在透明基材的显示区域的传感图案；以及形成在位于所述显示区域的外围的非显示区域并且与所述传感图案连接的传感线；其中，所述传感图案包括:按照各个朝向第一方向的线沿着第一方向形成的多个第I传感单元，和沿着朝向所述第一方向的线连接所述第I传感单元的第一连接线；以及按照各个朝向第二方向的线沿着第二方向形成的第2传感单元，和沿着朝向所述第二方向的线连接所述第2传感单元的第二连接线；其中，所述第I传感单元和第2传感单元分别被形成为层叠结构，连接所述第I传感单元的第一连接线与所述第I传感单元的上层形成为一体。
[0013]此时，所述第一连接线和第二连接线互相交叉并重叠，在两者之间的区域形成有岛形状的绝缘膜。
[0014]另外，所述第I传感单元包括位于下部的第1-1传感单元和形成在所述第1-1传感单元上部并与所述第1-1传感单元重叠的第1-2传感单元，所述第2传感单元包括位于下部的第2-1传感单元和形成在所述第2-1传感单元上部并与所述第2-1传感单元重叠的第2-2传感单元。
[0015]另外，所述第一连接线与沿着第一方向相邻的所述第1-2传感单元形成为一体，所述第二连接线与沿着第二方向相邻的所述第2-1传感单元形成为一体。
[0016]另外，所述第一连接线和第1-2传感单元的厚度小于所述第1-1传感单元的厚度。
[0017]另外,所述层叠结构的第I传感单元、第2传感单元以及第一连接线、第二连接线均由相同的物质形成，所述相同的物质为多晶ΙΤ0。
[0018]另外，根据本发明的实施例的触摸屏面板的制造方法包括:在透明基材的显示区域上形成多个第1-1传感单元、第2-1传感单元以及第二连接线，其中，所述第1-1传感单元按照各个朝向第一方向的线沿着第一方向而形成，所述第2-1传感单元按照各个朝向第二方向的线沿着第二方向而形成，所述第二连接线沿着所述第二方向的线连接所述第2-1传感单元；在与所述第二连接线重叠的区域上形成岛形状的绝缘膜；在形成有所述第1-ι传感单元、第2-1传感单元、连接所述第2-1传感单元的第二连接线以及岛形状的绝缘膜的透明基材的正面上形成透明导电性物质；图案化所述透明导电性物质，以形成位于与所述第1-1传感单元重叠的区域上的第1-2传感单元，沿着朝向第一方向的线连接所述第1-2传感单元的第一连接线，和位于与所述第2-1传感单元重叠的区域上的第2-2传感单元。
[0019]此时，所述第二连接线与沿着第二方向相邻的所述第2-1传感单元形成为一体，所述第二连接线可以以与所述第1-1传感单元和第2-1传感单元相同的材料、通过相同的工序形成在相同的层(Iayer)上，所述相同的材料可以为多晶ITO。
[0020]另外，所述透明导电性物质可以为与所述第1-1传感单元、第2-1传感单元以及第二连接线相同的材料，所述透明导电性物质的厚度可以小于所述第1-1传感单元、第2-1传感单元以及第二连接线的厚度。
[0021]另外，所述第一连接线与沿着第一方向相邻的所述第1-2传感单元形成为一体，所述第一连接线以与所述第1-2传感单元和第2-2传感单元相同的材料、通过相同的工序形成在相同的层(layer)上。
[0022]根据如上所述的本发明的实施例，通过将构成传感图案的第I传感单元和第2传感单元形成为层叠结构，并且将连接第I传感单元的连接线与所述第I传感单元的上层形成为一体，从而具有能够改善图案被可视化的现象、减小连接线的电阻的优点。
【专利附图】
【附图说明】
[0023]图1是简要图示根据本发明的实施例的触摸屏面板的平面图。
[0024]图2是将图1所示的传感图案的一实例放大图示的主要部分放大图。
[0025]图3a和图3b是表示图2所示的传感图案的截面(I-I'、II-II' )的截面图。
[0026]图4a至图4c是表示根据本发明的实施例的触摸屏面板的制造工序的平面图和截面图。 [0027]附图标记说明
[0028]10:透明基材；220:传感图案；
[0029]220a:第I传感单元；220a’:第1-1传感单元；
[0030]220a":第1-2传感单元； 220al:第一连接线；
[0031]220b:第2传感单元；220b’:第2-1传感单元；
[0032]220b":第2-2传感单元； 220bl:第二连接线；
[0033]230:传感线；240:绝缘膜。
【具体实施方式】
[0034]下面，参考附图，对本发明的实施例进行更加详细的说明。
[0035]图1是简要图示根据本发明的实施例的触摸屏面板的平面图。
[0036]如图1所示，根据本发明的实施例的触摸屏面板包括:透明基材10 ;形成在所述透明基材10的显示区域的传感图案220;以及形成在位于所述显示区域的外围的非显示区域并且通过焊盘部250将所述传感图案220连接至外部驱动电路(未图示)的传感线230。
[0037]虽然，通常将玻璃基板用作所述透明基材10，但是还可以将聚对苯二甲酸乙二酯(PET)、无取向(Non-oriented)聚碳酸酯(PC)、环状聚烯(Cyclic Polyolefin,简称为COP)、聚酰亚胺(PI)、PMMA, TAC、ARTON等物质用作具有柔性特性的透明基材10。
[0038]如上所述，由于根据本发明实施例的触摸屏面板为电容方式触摸面板，因此当有人的手指或者触摸笔等接触物体接触时，根据接触位置而引起的电容变化经由传感线230和焊盘部250从传感图案220传输至驱动电路(未图示)。此时，通过X和Y输入处理电路(未图示)将电容变化转换成电信号，从而识别出接触位置。
[0039]本发明的实施例的特征在于，通过将构成所述传感图案220的第I传感单元、第2传感单元形成为层叠结构，并且将连接第I传感单元的连接线与所述第I传感单元的上层形成为一体，从而改善图案被可视化的现象，并且减小连接线的电阻。
[0040]下面，参考图2和图3，对根据如上所述的本发明实施例的所述传感图案220的具体构成进行进一步详细的说明。
[0041]图2是将图1所示的传感图案的一实例放大图示的主要部分放大图，图3a和图3b是表示图2所示的传感图案的截面(I-I'、II-II' )的截面图。
[0042]如图2所示，所述传感图案220包括:沿着第一方向(例如，X方向)，按照各行分别连接而成的多个第I传感单元220a ;沿着行方向连接所述第I传感单元220a的第一连接线220al ;沿着第二方向(例如，Y方向)，按照各列分别连接而成的第2传感单元220b ;以及沿着列方向连接所述第2传感单元220b的第二连接线220bl。
[0043]为了便于说明，在图2中仅图示了图1所示的传感图案的一部分；然而，触摸屏面板具有重复设置图2所示的传感图案的结构。
[0044]将如上所述的第I传感单元220a和第2传感单元220b错开设置以使其不会重叠，第一连接线220al和第二连接线220bl则互相交叉。此时，在第一连接线220al和第二连接线220bl之间设置有用于确保安全性的绝缘膜240。
[0045]S卩，在所述第一连接线220al和第二连接线220bl之间的交叉重叠区域，形成有用于防止第一连接线220al和第二连接线220bl之间发生短路的岛(island)形状的绝缘膜240。其中，所述绝缘膜240为以透明材料形成的无机绝缘层。优选地，以氧化硅膜(SiO2)或者氮化娃膜(SiNx)形成所述绝缘膜240。
[0046]以往，连接线作为形成在所述绝缘膜240上的桥梁图案，将其形成为杆形状以连接相邻的传感单元。在这种情况下，所述杆形状的桥梁图案以一定的间隔排列，从而存在图案被可视化的缺点，即上述图案被用户看见的缺点。
[0047]另外，为了克服上述问题，应尽可能减小所述桥梁图案的材料、长度、宽度、厚度；然而，此时所述桥梁图案的电阻会增加，从而产生触摸感应灵敏度降低等问题。
[0048]对此，本发明的实施例的特征在于，通过将构成所述传感图案220的第I传感单元220a和第2传感单元220b分别形成为层叠结构(即第1_1传感单元220a’、第1_2传感单元220a"以及第2-1传感单元220b’、第2_2传感单元220b〃)，并且将连接所述第I传感单元220a的第一连接线220al与作为所述第I传感单元220a的上层的第1_2传感单元220a〃形成为一体，从而改善了图案被可视化的问题，并且减小所述第一连接线220al的电阻。
[0049]S卩，第I传感单元220a包括:位于下部的第1-1传感单元220a’ ；以及与所述第
1-1传感单元220a’重叠地形成在其上部的第1-2传感单元220a〃。同样地，第2传感单元220b包括:位于下部的第2-1传感单元220b’ ；以及与所述第2-1传感单元220b’重叠地形成在其上部的第2-2传感单元220b〃。
[0050]另外，在本发明的实施例中，当用于相互连接所述第I传感单元220a的第一连接线220al沿着第一方向(例如，行方向)连接所述第I传感单元220a时，与作为相邻第I传感单元220a上层的第1-2传感单元220a〃形成为一体。
[0051]当用于相互连接所述第2传感单元220b的第二连接线220bl沿着第二方向(例如，列方向)连接所述第2传感单元220b时，与作为相邻第2传感单元220b下层的第2_1传感单元220b’形成为一体。
[0052]此时，如图所示，在所述第一连接线220al和第二连接线220bl交叉的区域形成有岛(island)形状的绝缘膜240。
[0053]另外，均以透明导电性物质形成具有所述层叠结构的传感单元、即第I传感单元220a和第2传感单元220b。优选地，以氧化铟锡(ITO)材料形成具有所述层叠结构的传感单元、即第I传感单元220a和第2传感单元220b。
[0054]S卩，可以以相同的物质形成构成所述第I传感单元220a的第1_1传感单元220a’和第1-2传感单元220a〃、与所述第1-2传感单元220a〃形成为一体的第一连接线220al、构成所述第2传感单元220b的第2-1传感单元220b’和第2_2传感单元220b"、与所述第
2-1传感单元220b’形成为一体的第二连接线220bl。例如，可以以多晶ITO(poly-1TO)形成所述传感单元(即第I传感单元220a和第2传感单元220b)以及连接线(即第一连接线220al和第二连接线220bl)。
[0055]如上所述，在现有技术中，将作为桥梁图案的连接线形成为杆形状。此时，当以与传感单元相同的物质形成所述桥梁图案时，如果实施对其进行图案化的蚀刻工序，则位于桥梁图案下部的传感单元也会被蚀刻掉。
[0056]例如，当以多晶ITO形成所述传感单元时，如果在多晶ITO状态下对所述桥梁图案实施蚀刻，则以与桥梁图案相同的物质形成的传感单元也会一并被蚀刻。因此，以往只能在非晶氧化铟锡(a-1TO)状态下对桥梁图案实施选择性蚀刻,然后实施退火(annealing)处理。
[0057]对此，相对于上述的现有的桥梁图案，在本发明的实施例中，将形成在绝缘膜240上的第一连接线220al与下部的传感单元形成为一体，其中传感单元为与第1-1传感单元220a’完全重叠而成的第1-2传感单元220a〃。因此，当对所述第一连接线220al和第1_2传感单元220a"实施图案化时，不需要实施额外的选择性蚀刻。
[0058]由此，如上所述，在本发明的实施例中，即使以多晶ITO (poly-1TO)形成所述传感单元(即、第I传感单元220a和第2传感单元220b)以及连接线(即、第一连接线220al和第二连接线220bl)，在图案化工序中也不会发生任何问题。
[0059]即，根据本发明的实施例，当实施传感单元(即、第I传感单元220a和第2传感单元220b)以及连接线(B卩、第一连接线220al和第二连接线220bl)的图案化工序时，可以使用相同的蚀刻剂(etchant)。因此，相对于现有结构而言，减少了蚀刻剂的种类，并且可以减少给生产线带来的混乱。
[0060]另外,如图3a和图3b所示,通过将所述第一连接线220al与所述第1_2传感单元220a 〃形成为一体，从而相比现有的杆形状的桥梁图案电阻值显著减小。
[0061]由此，即使减小所述第一连接线220al和第1_2传感单元220a〃的厚度，与现有结构相比，也能够形成相同的线电阻。
[0062]对此，在本发明的实施例中，所述第一连接线220al和第1_2传感单元220a〃的厚度dl小于第1-1传感单元220a’的厚度d2。
[0063]图4a至图4c是表示根据本发明实施例的触摸屏面板的制造工序的平面图和截面图。
[0064]在此，以图2和图3a所示的传感图案的平面图和截面图为例，在图4a至图4c中予以了说明。
[0065]首先，如图4a所示，在透明基材10的显示区域上形成有:沿着第一方向(例如，X方向)，按照各行分别排列的多个第1-1传感单元220a’ ；沿着第二方向(例如，Y方向)，按照各列分别排列的多个第2-1传感单元220b’ ；以及沿着列方向将所述第2-1传感单元220b’予以连接的第二连接线220bl。
[0066]此时，如图所示，所述第1-1传感单元220a’和第2_1传感单元220b’错开设置，以使其不会互相重叠。所述第二连接线220bl与所述第2-1传感单元220b’形成为一体，沿着第二方向相邻的第2-1传感单元220b’通过所述第二连接线220bl均互相连接。
[0067]S卩，以与所述第1-1传感单元220a’以及第2_1传感单元220b’相同的透明导电性物质、通过相同的工序在相同的层(layer)上形成所述第二连接线220bl。[0068]另外，以透明导电性物质形成所述第1-1传感单元220a’、第2_1传感单元220b’以及第二连接线220bl。优选地，以多晶氧化铟锡(poly-1TO)形成所述第1_1传感单元220a’、第2-1传感单元220b’以及第二连接线220bl。
[0069]然后，如图4a所示，在与所述第二连接线220bl重叠的区域上形成岛(island)形状的绝缘膜240。所述绝缘膜240为以透明材料形成的无机绝缘层。优选地，以氧化硅膜(SiO2)或者氮化硅膜(SiNx)形成绝缘膜240。
[0070]然后，如图4b所示，在形成有所述第1-1传感单元220a’、第2_1传感单元220b’、将其连接的第二连接线220bl以及岛形状的绝缘膜240的透明基材10的正面上，形成透明导电性物质300。
[0071]此时，与所述第1-1传感单元220a’、第2-1传感单元220b’以及第二连接线220bl相同地，以多晶氧化铟锡(poly-1TO)形成所述透明导电性物质。
[0072]其中，虽然所述透明导电物质最初沉积在正面时为非晶ITO (a-1TO)，但是通过实施退火工序成为多晶ITO (poly-1TO)。
[0073]另外，在本发明的实施例中，所述透明导电性物质300的厚度小于所述第1-1传感单元220a’、第2-1传感单元220b’以及将其连接的第二连接线220bl的厚度。
[0074]然后，如图4c所示，对所述透明导电性物质300实施图案化，从而实现了在与所述第1-1传感单元220a’重叠的区域上形成的第1-2传感单元220a〃，沿着行方向将所述第
1-2传感单元220a〃予以连接的第一连接线220al，以及在与所述第2_1传感单元220b’重叠的区域上形成的第2-2传感单元220b〃。
[0075]此时，如图所示，所述第1-2传感单元220a〃和第2_2传感单元220b〃错开设置，以使其不会互相重叠。所述第一连接线220al与所述第1-2传感单元220a〃形成为一体。由此，沿着第一方向相邻的第1-2传感单元220a〃通过所述第一连接线220al均互相连接。
[0076]S卩，以与所述第1-2传感单元220a〃和第2_2传感单元220b〃相同的透明导电性物质、通过相同的工序在相同的层(layer )上形成所述第一连接线220al。
[0077]另外，互相交叉并重叠的第一连接线220al和第二连接线220bl，通过形成在两者之间的区域的岛(island)形状的绝缘膜240而彼此绝缘。
[0078]在本发明的实施例中，将形成在所述绝缘膜240上的第一连接线220al与位于下部的传感单元形成为一体，其中所述传感单元为与第1-1传感单元220a’完全重叠而成的第1-2传感单元220a〃。从而当对所述第一连接线220al和第1_2传感单元220a〃实施图案化时，位于下部的第1-1传感单元220a’完全地被覆盖，因此不需要额外地实施选择性蚀刻。
[0079]由此，如上所述，在本发明的实施例中，即使以多晶ITO (poly-1TO)形成所述传感单元(即、第I传感单元220a和第2传感单元220b)以及连接线(即、第一连接线220al和第二连接线220bl)，也不会在实施图案化工序时产生任何问题。
[0080]即，根据本发明的实施例，当实施传感单元(即、第I传感单元220a和第2传感单元220b)以及连接线(B卩、第一连接线220al和第二连接线220bl)的图案化工序时，可以使用相同的蚀刻剂(etchant)。因此，相对于现有结构而言，减少了蚀刻剂的种类，并且可以减少给生产线带来的混乱。
[0081]另外，根据本发明的实施例的特征在于，通过将构成所述传感图案220的第I传感单元220a和第2传感单元220b分别形成为层叠结构(即第1_1传感单元220a’、第1_2传感单元220a〃以及第2-1传感单元220b’、第2_2传感单元220b〃)，并且将连接所述第I传感单元220a的第一连接线220al与作为所述第I传感单元220a的上层的第1_2传感单元220a〃形成为一体，从而改善了图案被可视化的问题，并且减小了连接线的电阻。
[0082]根据上述的优选实施例具体说明了本发明的技术思想，但是应理解为，上述实施例仅用于说明本发明，并不用于对本发明加以限制。并且，本发明所属领域的技术人员能够明白，在本发明的技术思想的范围内能够有多种变形例。
【权利要求】
1.一种触摸屏面板，其特征在于，包括: 传感图案，形成在透明基材的显示区域；以及 传感线，形成在位于所述显示区域的外围的非显示区域，并且与所述传感图案连接； 其中，所述传感图案包括: 按照各个朝向第一方向的线沿着所述第一方向形成的多个第I传感单元，和沿着朝向所述第一方向的线连接所述第I传感单元的第一连接线；以及 按照各个朝向第二方向的线沿着所述第二方向形成的多个第2传感单元，和沿着朝向所述第二方向的线连接所述第2传感单元的第二连接线； 其中，所述第I传感单元和第2传感单元分别被形成为层叠结构，连接所述第I传感单元的第一连接线与所述第I传感单元的上层形成为一体。
2.根据权利要求1所述的触摸屏面板，其特征在于， 所述第一连接线和第二连接线互相交叉并重叠，在两者之间的区域形成有岛形状的绝缘膜。
3.根据权利要求1所述的触摸屏面板，其特征在于， 所述第I传感单元包括位于下部的第1-1传感单元和形成在所述第1-1传感单元上部并与所述第1-1传感单元重叠的第1-2传感单元； 所述第2传感单元包括位于下部的第2-1传感单元和形成在所述第2-1传感单元上部并与所述第2-1传感单元重叠的第2-2传感单元。
4.根据权利要求3所述的触摸屏面板，其特征在于， 所述第一连接线与沿着所述第一方向相邻的所述第1-2传感单元形成为一体， 所述第二连接线与沿着所述第二方向相邻的所述第2-1传感单元形成为一体。
5.根据权利要求4所述的触摸屏面板，其特征在于， 所述第一连接线和第1-2传感单元的厚度小于所述第1-1传感单元的厚度。
6.根据权利要求1所述的触摸屏面板，其特征在于， 所述层叠结构的第I传感单元和第2传感单元、以及第一连接线、第二连接线均由相同的物质形成。
7.根据权利要求6所述的触摸屏面板，其特征在于， 所述相同的物质为多晶ITO。
8.一种触摸屏面板的制造方法，其特征在于，包括: 在透明基材的显示区域上形成多个第1-1传感单元、第2-1传感单元以及第二连接线，其中，所述第1-ι传感单元按照各个朝向第一方向的线沿着所述第一方向而形成，所述第2-1传感单元按照各个朝向第二方向的线沿着所述第二方向而形成，所述第二连接线沿着所述第二方向的线连接所述第2-1传感单元； 在与所述第二连接线重叠的区域上形成岛形状的绝缘膜； 在形成有所述第1-1传感单元、第2-1传感单元、连接所述第2-1传感单元的第二连接线以及岛形状的绝缘膜的透明基材的正面上形成透明导电性物质；以及 图案化所述透明导电性物质，以形成位于与所述第1-ι传感单元重叠的区域上的第1-2传感单元、沿着朝向所述第一方向的线连接所述第1-2传感单元的第一连接线、和位于与所述第2-1传感单元重叠的区域上的第2-2传感单元。
9.根据权利要求8所述的触摸屏面板的制造方法，其特征在于， 所述第二连接线与沿着所述第二方向相邻的所述第2-1传感单元形成为一体， 所述第二连接线以与所述第1-1传感单元和第2-1传感单元相同的材料、通过相同的工序形成在相同的层上。
10.根据权利要求9所述的触摸屏面板的制造方法，其特征在于， 所述相同的材料为多晶ITO。
11.根据权利要求8所述的触摸屏面板的制造方法，其特征在于， 所述透明导电性物质为与所述第1-1 传感单元、第2-1传感单元以及第二连接线相同的材料。
12.根据权利要求8所述的触摸屏面板的制造方法，其特征在于， 所述透明导电性物质的厚度小于所述第1-1传感单元、第2-1传感单元以及第二连接线的厚度。
13.根据权利要求8所述的触摸屏面板的制造方法，其特征在于， 所述第一连接线与沿着所述第一方向相邻的所述第1-2传感单元形成为一体， 所述第一连接线以与所述第1-2传感单元和第2-2传感单元相同的材料、通过相同的工序形成在相同的层上。
【文档编号】G06F3/041GK103576972SQ201210479219
【公开日】2014年2月12日 申请日期:2012年11月22日 优先权日:2012年7月24日
【发明者】金昌汎, 朴正睦 申请人:三星显示有限公司