振动装置以及触觉提示装置的制作方法

本发明涉及借助压电膜的驱动使振动板振动的振动装置、以及将该振动装置的振动作为相对于触摸操作的触觉反馈而传递给使用者的触觉提示装置。

背景技术：

借助压电膜的驱动使振动板振动的振动装置在平面型扬声器、触觉装置(触觉提示装置)中利用(例如参照专利文献1。)。

图9(A)是现有结构的振动装置101的侧视图，图9(B)是振动装置101的后视图。振动装置101具备压电膜102、振动板103、以及框架部件104、105。振动板103以及压电膜102分别是从厚度方向观察时在长度方向以及宽度方向上延伸的矩形。压电膜102是从被实施了延伸处理的PLLA(L型聚乳酸)膜以相对于图9(B)中箭头所示的延伸方向呈45°的方向作为长度方向切出而成的膜。由于像这样切出压电膜102，所以随着电压的施加而产生长度方向上的伸长、收缩。框架部件104、105设置于压电膜102的长度方向的两端。振动板103的长度方向的两端附近经由框架部件104、105而与压电膜102连结。而且，振动板103挠曲为长度方向的中央附近远离压电膜102，从而经由框架部件104、105向长度方向的外侧拉动压电膜102。在这样的振动装置101中，若对压电膜102施加交变电场，则压电膜102在长度方向上振动，并且振动板103随之产生挠曲量的变动。

专利文献1：国际公开第2012/157691号小册子

在使用图9所示的振动装置来构成触觉装置(触觉提示装置)的情况下，随着触摸操作而向振动板传递厚度方向上的按压力。这样，有时因按压力而振动板被推压从而该振动板变得平坦。若振动板成为平坦的状态，则振动板与压电膜变得平行，从而即便使压电膜在长度方向上振动，振动板也难以挠曲。因此，难以对使用者赋予触觉反馈。为了防止振动板被推压而变得平坦的情况，考虑加厚振动板来提高振动板的刚性，但在该情况下，会导致振动板的挠曲量变小，仍旧难以对使用者赋予触觉反馈。

技术实现要素：

因此，本发明的目的在于，提供即使从平坦的状态开始也能够使振动板在厚度方向上挠曲并容易增大振动板的挠曲量的振动装置以及触觉提示装置。

本发明的振动装置具备：振动板，其在厚度方向上挠曲；膜，其至少一部分具有逆压电效应，该膜与振动板连结，并从与振动板连结的连结位置起在与振动板交叉的方向上拉伸；以及间隔件，其在远离上述连结位置的位置处，确保振动板与膜之间的缝隙。

在该结构中，由于设有间隔件，所以不论振动板的状态如何，膜都在与振动板交叉的方向上拉伸，从而维持振动板与膜之间的缝隙。因此，即使从振动板为平坦的状态开始，也能够通过驱动膜来可靠地使振动板在厚度方向上挠曲。而且，即便使振动板较薄且刚性较低，振动板与膜之间的缝隙也不会崩塌，因此能够使振动板较薄且刚性较低来增大振动板的挠曲量。

优选为，上述间隔件设于振动板与膜之间，并处于始终接触振动板和膜的每一个的状态。在该结构中，能够利用振动板和膜夹持地保持间隔件。

优选为，上述间隔件具备：基部，其设置于膜侧；以及多个突起部，它们设于振动板侧，并从基部起在厚度方向上突出。在该结构中，能够减少振动板与间隔件的接触面积。由此，当振动板在间隔件的正上方被手指等按压的情况下，能够抑制振动衰减。

优选为，将多个上述间隔件设为在与厚度方向正交的长度方向上排列。振动板产生与间隔件接触的接触位置成为节点那样的高次谐波，对于该高次谐波而言，能够根据间隔件的数量、位置来设定适当的频率。一般地，作为对手指进行的触觉反馈而优良(高灵敏度)的振动的频率是100Hz～300Hz，因此在共振频率比100Hz低的振动装置中，通过调整间隔件的数量、位置，能够使振动板所产生的振动的高次谐波为100Hz～300Hz的频率。

上述振动板也可以在上述膜未产生逆压电效应的状态下为平坦状。由此，能够在广泛的用途中应用该振动装置。

上述膜也可以包括手性高分子膜、聚偏氟乙烯膜。

另外，本发明的触觉提示装置具备：上述振动装置；检测部，其装配于上述振动板，对触摸操作进行检测；以及控制部，其在上述检测部检测到触摸操作时，对上述压电膜施加驱动电压。

在这种结构的触觉提示装置中，即使因伴随触摸操作而产生的按压力使振动板变得平坦，也能够使振动板振动以便可靠地在厚度方向上挠曲，从而能够对操作者提示触觉反馈。

根据本发明，在振动装置、触觉提示装置中，即使从振动板为平坦的状态开始也能够使振动板可靠地在厚度方向挠曲。

附图说明

图1是第1实施方式所涉及的触觉提示装置的立体图以及底面侧的俯视图。

图2是第1实施方式所涉及的间隔件的立体图。

图3是示出第1实施方式所涉及的振动装置的振动方式的侧视图。

图4是第2实施方式所涉及的振动装置的侧视图。

图5是第3实施方式所涉及的振动装置的立体图以及侧视图。

图6是第4实施方式所涉及的振动装置的立体图以及侧视图。

图7是示出在第3以及第4实施方式所涉及的振动装置中产生的高次谐波的振动方式的侧视图。

图8是第5实施方式所涉及的振动装置的立体图以及侧视图。

图9是对振动装置的现有构造进行说明的图。

具体实施方式

以下，参照附图排列举几个具体的例子来示出用于实施本发明的多个方式。各实施方式是示例，当然能够进行不同的实施方式中示出的结构的部分置换或者组合。

图1(A)是本发明的第1实施方式所涉及的触觉提示装置10的立体图。图1(B)是从底面侧观察触觉提示装置10的俯视图。这里，触觉提示装置10构成触摸传感器式键盘。该触觉提示装置10具备控制部11、驱动部12、振动装置20、以及触摸面板30。此外，虽然也可以具备膜片开关等片状的开关来代替触摸面板30，但通过使用触摸面板30，能够任意地变更显示的按键的位置、显示。

振动装置20与触摸面板30分别形成为在厚度方向上较薄，并且彼此在厚度方向上层叠。触摸面板30相对于振动装置20配置于厚度方向的顶面侧。触摸面板30具备在触觉提示装置10的顶面露出的多个触摸传感器31。多个触摸传感器31配置于与键盘的按键排列对应的位置。若检测到用户的触摸操作，则各触摸传感器31向控制部11输出检测信号。触摸传感器31相当于权利要求书所记载的触摸检测部。

若控制部11从任意触摸传感器31被输入检测信号，则向驱动部12输出控制信号。若驱动部12从控制部11被输入控制信号，则向振动装置20输出驱动电压。

振动装置20具备振动板21、压电膜22、以及间隔件23。

振动板21由能够进行弹性变形的材料构成，例如由丙烯酸树脂PMMA构成。此外，振动板21也可以使用金属板、PET、聚碳酸酯(PC)、PLLA、玻璃等其他材料。振动板21相对于压电膜22配置于厚度方向的顶面侧。振动板21在从厚度方向观察时呈矩形，其具有在长度方向的短边与在宽度方向的长边。另外，振动板21在从宽度方向观察时弯曲为向厚度方向的顶面侧凸出、并向厚度方向的底面侧凹下。在振动板21的顶面，经由粘合剂等接合有触摸面板30。由于振动板21在从宽度方向观察时呈弯曲的平板状，所以触摸面板30也与振动板21相同地在从宽度方向观察时呈弯曲的形状。

压电膜22具有通过电驱动而在面方向上产生振动的性质，其相当于权利要求书所记载的“膜”。这里，压电膜22通过在由具有压电性的压电材料构成的膜的两个主面各自的整个面上设置未图示的电极来构成。压电膜22的压电材料优选例如是作为手性高分子的L型聚乳酸(PLLA)、聚偏氟乙烯(PVDF)。在由PLLA构成的情况下，通过从在图2(B)中空心箭头所示的主延伸方向上被实施了延伸处理的膜，以相对于主延伸方向大致呈45°的方向作为长度方向来切出压电膜22，从而能够使压电膜22具有在长度方向上伸长、收缩那样的压电性。

此外，对于“膜”而言，除了压电膜之外，只要具有通过电驱动而在面方向上产生振动的性质，就能够采用适当的膜。例如，“膜”能够作为复合膜、电活性膜来构成。电活性膜是通过电驱动而在面方向上产生应力、位移的膜。复合膜是相对于树脂膜等基材附设有压电膜或电活性膜、压电陶瓷等而成的膜。复合膜、电活性膜能够由压电膜、压电陶瓷、电致伸缩膜、驻极体膜、电驱动型弹性体、聚氨酯橡胶、硅酮橡胶、氟橡胶、丁腈橡胶、二烯类橡胶、液晶弹性体等构成。

该压电膜22相对于振动板21配置于厚度方向的底面侧。压电膜22在振动板21的凹状地弯曲的底面侧，与振动板21的长度方向的两端附近连结。压电膜22与振动板21的长度方向的两端成为固定端24。即，压电膜22张设在两个固定端24之间。振动装置20以及触觉提示装置10在两个固定端24附近支承于桌子等的设置面。

压电膜22因固定端24而在与振动板21的底面交叉的方向上拉伸。因此，从压电膜22向振动板21传递张力，由此振动板21弹性变形为在厚度方向上挠曲。由此，振动板21与压电膜22构成当从宽度方向观察时构成为弓状的振动装置20。而且，间隔件23在振动板21与压电膜22的长度方向的中央附近，设置于振动板21与压电膜22之间的缝隙，从而在振动板21与压电膜22之间确保了规定间隔的缝隙。

图2是间隔件23的立体图。

间隔件23例如由金属、PET、聚碳酸酯(PC)等构成。间隔件23优选为具有高刚性，以防止使振动板21、压电膜22的振动衰减，并且间隔件23可以由与振动板21、压电膜22相比弹性模量较高的材料构成。间隔件23虽然被振动板21和压电膜22夹持地保持，但优选经由粘合剂等固定于振动板21和压电膜22中的至少一方。另外，间隔件23具备基部25与多个突起部26。基部25是设置于压电膜22侧的在宽度方向上较长的部位。多个突起部26是设置于振动板21侧的部位，并且设为从基部25的顶面在厚度方向突出。通过在间隔件23的顶面侧设置突起部26，能够减少振动板21与间隔件23的接触面积。由此，即使在振动板21的长度方向的中央附近、即间隔件23的正上方被手指等按压的情况下，也能够防止振动较大地衰减。此外，突起部26更优选为设置于与触摸面板30上的触摸传感器31彼此之间的框架部分对置的位置。

图3(A)是示出未被施加按压力的状态下的振动装置20的振动方式的侧视图。

间隔件23配置于压电膜22与振动板21的长度方向的中央附近，并分别接触振动板21的下表面和压电膜22的上表面。间隔件23的厚度方向上的尺寸被设定为如下尺寸：与未设置间隔件23的情况下的振动板21与压电膜22在长度方向的中央附近处的间隔相比稍大的尺寸。因此，在压电膜22未被驱动时，间隔件23向厚度方向的下侧推压压电膜22，从而压电膜22在与间隔件23接触的接触位置向下侧凸出地弯曲。

若对压电膜22施加交变电场使其驱动，则压电膜22反复生成长度方向的收缩。这样，从压电膜22传递至振动板21的张力T1周期性地增大。由此，张力T1的与固定端24的表面垂直的方向上的分力T2也周期性地增大。这样，如图3(A)中虚线所示，振动板21的挠曲量周期性地增大。即，振动板21的长度方向中央附近周期性地向上方位移。由此，间隔件23周期性地向上方位移以便维持与振动板21接触的状态，从而压电膜22在长度方向中央附近弯曲的角度周期性地减少。

图3(B)是说明被施加了触摸操作等所产生的按压力的状态下的振动装置20的振动方式的侧视图。

在来自执行触摸操作的手指等的按压力T3被施加于振动板21而振动板21被推压直至大致平坦的形状的状态下，借助振动装置20的弹性力对手指等作用相对于按压力T3的反作用力T4。在该状态下，间隔件23与振动板21一起被向下方推压，从而压电膜22与未被施加按压力T3时相比更大地屈曲。即，即使按压力T3被施加于振动板21而振动板21被推压直至大致平坦的形状，间隔件23也防止振动板21与压电膜22之间的缝隙崩塌，从而压电膜22维持在与固定端24的表面交叉的方向上拉伸的状态。因此，即使振动板21是平坦的状态，张力T1的分力T2也在与固定端24的表面垂直的方向上发挥作用。

因此，即使在该状态下对压电膜22施加交变电场使其驱动，从压电膜22传递至振动板21的张力T1及其分力T2也周期性地增大，从而振动板21也欲周期性且较大地挠曲。由此，从振动板21传递至推压振动板21的手指等的反作用力T4产生周期性的变动，从而能够对进行触摸操作的用户提示触觉反馈。因此，如果任意地变更在触摸面板30上显示的按键的位置，并对该按键的位置进行触摸操作，则用户能够获得点击感，从而能够提高作为触摸式键盘的操作性、操作感。

这样，在触觉提示装置1以及振动装置20中，利用间隔件23使得振动板21与压电膜22的缝隙不会崩塌，因此能够将振动板21构成为较薄来抑制振动板21的刚性，从而能够使振动板21所产生的挠曲量比以往大。

此外，在本实施方式中，将振动板21与压电膜22的长度方向的两端分别作为固定端24来连结，因此能够抑制构成振动装置的部件个数。但是，本发明的触觉提示装置以及振动装置也可以是与上述结构不同的结构，例如，也可以使振动板与压电膜仅在长度方向的一端侧直接连结，并使长度方向的另一端侧经由支承部件等连结。

另外，在本实施方式中，构成为将单层的压电膜22张设于振动板21，但也可以通过将压电膜22粘贴于构成树脂膜等基材的膜(励磁膜)，并将励磁膜张设于振动板21，来构成本发明的触觉提示装置以及振动装置。另外，也可以通过将压电陶瓷附设于励磁膜，并将励磁膜张设于振动板21，来构成本发明的触觉提示装置以及振动装置。在该情况下，也可以准备一对励磁膜，将各励磁膜的一端连接于压电陶瓷，并将各励磁膜的另一端连接于振动板21。另外，也可以构成为准备多对励磁膜，将它们连接于一个压电陶瓷。

另外，在本实施方式中，在间隔件23设置有基部25和突起部26，但例如也可以将间隔件23形成为不具有突起部26的形状。但是，通过设置突起部26，能够减少间隔件23与振动板21接触的接触面积。间隔件23与振动板21接触的接触面积较小的话，更能够抑制振动板21的振动被间隔件23约束，从而能够使振动板21更加良好地振动。另外，突起部26并不限定于图2所示的圆柱形状，也可以是半球形状、圆锥形状等其他形状。另外，除此之外，突起部26也可以是在厚度方向上向振动板21侧突出且在面内方向延伸的峰状(刃状)。另外，突起部26也可以具有四棱柱状等的多边形的截面。另外，间隔件23的基部25也可以是与立方体状不同的形状。

另外，在本实施方式中，示出了如下结构例：即使在压电膜22未被驱动时，间隔件23也接触振动板21和压电膜22，并从间隔件23对压电膜22施加张紧力，但本发明并不限定于这一例子。例如，也可以将间隔件23的高度被设定为和压电膜22未被驱动时的振动板21与压电膜22的间隔相同的程度。在该情况下，即使在压电膜22未被驱动时、间隔件23接触压电膜22和压电膜22的状态下，也不会从间隔件23对压电膜22施加张紧力，因此与始终对压电膜22施加来自间隔件23的张紧力的情况相比，能够减轻对压电膜22施加的负荷而使压电膜22难以产生形状劣化、特性劣化。

接下来，对本发明的第2实施方式所涉及的振动装置进行说明。

图4(A)是示出第2实施方式所涉及的振动装置20A的未被施加按压力的状态下的侧视图。该振动装置20A具备振动板21、压电膜22、以及间隔件23A。间隔件23A被设定为和未设置间隔件23A的情况下的振动板21与压电膜22的间隔相比更小的尺寸，并经由粘合剂等固定于压电膜22(或者振动板21)。因此，在未对振动装置20A施加按压力的状态下，间隔件23A不接触振动板21，从而压电膜22为平坦状。

图4(B)是示出第2实施方式所涉及的振动装置20A的未被施加按压力的状态下的侧视图。在从执行触摸操作的手指等对振动板21施加比较大的按压力T3而将振动板21推压直至大致平坦的形状的状态下，间隔件23A接触振动板21和压电膜22的双方，并向下方推压压电膜22。由此，压电膜22在与间隔件23A接触的接触位置向下侧凸出地弯曲。因此，间隔件23防止振动板21与压电膜22之间的缝隙崩塌，从而即使因按压力T3的施加而使振动板21成为平坦状，压电膜22也维持在与固定端24的表面交叉的方向上拉伸的状态。

因此，在该振动装置20A中，同样即使从由执行触摸操作的手指等施加按压力T3而将振动板21推压直至大致平坦的形状的状态开始，也能够通过驱动压电膜22来使振动板21振动为反复挠曲。因此，即便使用该振动装置20A来构成触觉提示装置，也能够对进行触摸操作的用户提示触觉反馈。

而且，如本实施方式那样，在间隔件通常时不接触振动板的结构中，当执行触摸操作的手指等与振动板、触摸面板接触时，振动板的振动不受间隔件约束，因此振动板的振动从零开始上升至所希望的振幅的时间较短。因此，能够对执行触摸操作的操作者赋予更加可靠的触觉反馈。

接下来，对本发明的第3实施方式所涉及的振动装置进行说明。

图5(A)是第3实施方式所涉及的振动装置20B的立体图，图5(B)是第3实施方式所涉及的振动装置20B的侧视图。

振动装置20B具备振动板21B、压电膜22B、间隔件23B、以及固定部24B。振动板21B与压电膜22B彼此在长度方向的两端附近连结，并且设定振动板21B的初始形状、压电膜22B的张力，以使得在连结的状态下振动板21B不弯曲而维持平坦状。更具体而言，振动板21B的不与压电膜22B连结的状态下的初始形状以预先弯曲为向下侧凸出的形状形成。而且，设定压电膜22B的张力，以使得振动板21B借助从压电膜22B作用的张力和从间隔件23B作用的外力而变形为平坦状。固定部24B设为在振动板21B与压电膜22B连结的两端附近，向振动装置20B的厚度方向下侧突出。固定部24B被支承在桌子等的设置面上，防止振动板21B以及压电膜22B直接接触设置面。

在这种结构的振动装置20B中，同样，间隔件23B配置于压电膜22B与振动板21B的长度方向的中央附近，其分别接触振动板21B的下表面和压电膜22B的上表面，从而在振动板21B与压电膜22B之间确保了规定间隔的缝隙。因此，间隔件23B向厚度方向的下侧推压压电膜22B，从而压电膜22B在与间隔件23B接触的接触位置向下侧凸出地弯曲。

由此，即使振动板21B为平坦状，压电膜22B也成为在与振动板21B的表面交叉的方向上拉伸的状态。因此，振动板21B借助压电膜22B的驱动而周期性地挠曲，从而能够对执行触摸操作的用户提示触觉反馈。这样，在振动装置20B中，通过设置间隔件23B，即使不是弯曲的形状，也能够使振动板21B挠曲。因此，能够增加振动板21B的形状自由度。

接下来，对本发明的第4实施方式所涉及的振动装置进行说明。

图6(A)是第4实施方式所涉及的振动装置20C的立体图，图6(B)是第4实施方式所涉及的振动装置20C的侧视图。

振动装置20C具备振动板21C、压电膜22C、间隔件23C、24C、以及固定部25C。振动板21C与压电膜22C彼此在长度方向的两端附近连结，并且设定振动板21C的初始形状、压电膜22C的张力，以使得在连结的状态下振动板21C不弯曲而维持平坦状。固定部25C构成为在振动板21C与压电膜22C连结的两端附近，向振动装置20C的厚度方向下侧突出。间隔件23C、24C彼此在振动装置20C的长度方向上隔开规定间隔排列，并分别接触振动板21C的下表面和压电膜22C的上表面的每一个，从而在振动板21C与压电膜22C之间确保了规定间隔。因此，压电膜22C被间隔件23C、24C向厚度方向的下侧推压从而弯曲。

在这样的振动装置20C中，同样，振动板21C为平坦状，压电膜22C成为在与振动板21C的表面交叉的方向上拉伸的状态。因此，振动板21C借助压电膜22C的驱动而周期性地挠曲，从而能够对执行触摸操作的用户提示触觉反馈。

图7是对在第3实施方式所涉及的振动装置20B与第4实施方式所涉及的振动装置20C中产生的振动进行说明的图。

振动装置20B与振动装置20C具有根据振动板21B、21C的长度方向上的尺寸而定的共振频率。因此，对于振动装置20B与振动装置20C而言，由于被施加与上述共振频率一致的频率的驱动信号，从而产生长度方向的中央附近成为振动的波腹且长度方向的两端附近成为固定端的振动。而且，振动板21B、21C的与间隔件23B、23C、24C接触的接触位置成为振动的波节(节点)那样的高次谐波被叠加于这样的振动板21B、21C的振动。

如图7(A)所示，在振动装置20B中，间隔件23B与振动板21B的长度方向的中央附近接触，从而产生该接触位置成为振动的波节那样的高次谐波的振动。即，以振动板21B的长度方向上的尺寸作为1个波长的2次谐波的振动被叠加于振动装置20B的振动。

另一方面，如图7(B)所示，在振动装置20C中，间隔件23C、24C在振动板21C的长度方向上隔开适当的间隔排列，从而产生与它们接触的接触位置分别成为振动的波节(节点)那样的高次谐波的振动。即，在振动装置20C的振动中，叠加使振动板21C的长度方向上的尺寸为1.5个波长那样的3次谐波的振动。

因此，在第3实施方式所涉及的振动装置20B与第4实施方式所涉及的振动装置20C中，即使在振动板21B、21C的长度方向上的尺寸相等的情况下，振动板21B、21C所产生的高次谐波的频率也不同。一般地，作为对手指进行的触觉反馈而优良(高灵敏度)的振动的频率是100Hz～300Hz，因此在振动板21B、21C的共振频率是比100Hz低的频率的情况下，通过适当地调整间隔件的数量、位置，能够将振动板21B、21C所产生的振动的高次谐波设定为100Hz～300Hz的频率。因此，即使在振动板21B、21C的共振频率是比100Hz低的频率的情况下，也能够得到对手指等进行的良好的触觉反馈。

接下来，对本发明的第5实施方式所涉及的振动装置进行说明。

图8(A)是第5实施方式所涉及的振动装置20D的立体图，图8(B)是第4实施方式所涉及的振动装置20D的后视图。

振动装置20D具备振动板21D、多个压电膜22D、以及间隔件23D。多个压电膜22D是宽度方向上的尺寸较短而长度方向上的尺寸较长的长条状，它们在宽度方向排列为彼此并行。多个压电膜22D的长度方向上的尺寸是与振动板21D相同程度的尺寸，与振动板21D连结的固定端24D设置于长度方向的两端附近。间隔件23D接触振动板21D的下表面和多个压电膜22D的上表面，并在宽度方向延伸为横跨多个压电膜22D，从而在振动板21D与多个压电膜22D之间确保了规定间隔。因此，多个压电膜22D被间隔件23D向厚度方向的下侧推压从而弯曲。

在该振动装置20D中，各压电膜22D的形状是在长度方向上较长的长条状，因此借助各压电膜22D的驱动而在长度方向上最大程度地产生伸长、收缩。因此，通过使用多个这样的压电膜22D来使振动板21D振动，能够有效果地使振动板21D振动。另外，在该振动装置20D中，由于与上述各实施方式相同地设有间隔件23D，所以即使从振动板21D被推压的状态开始，也能够使振动板21D振动。因此，即便使用该振动装置20D来构成触觉提示装置，也能够对执行触摸操作的用户提示触觉反馈。

此外，在如本实施方式那样设置多个压电膜的情况下，除了像上述那样配置一个间隔件以横跨多个压电膜之外，还可以相对于各压电膜分别独立地配置多个较短的间隔件。若相对于多个压电膜分别独立地配置多个间隔件，则能够调整施加于各压电膜的张紧力，也能够更加有效果地使振动板振动。

另外，在本实施方式的结构中，也可以与图6所示的结构相同地在各压电膜的长度方向上排列地配置多个间隔件。

本发明能够如以上说明那样实施，但只要是属于权利要求书所记载的结构，通过除上述以外的结构也能够实施本发明。例如，本发明的振动装置也可以应用于除触觉提示装置之外的其他装置，例如应用于平面型扬声器等。

附图标记的说明：

10…触觉提示装置；11…控制部；12…驱动部；20、20B、20C…振动装置；21、21B、21C…振动板；22、22B、22C…压电膜；23、23A、23B、23C、24C…间隔件；24…固定端；24B、25C…固定部；25…基部；26…突起部；30…触摸面板；31…触摸传感器。