光透导电材料的制作方法

文档序号:11450035阅读:156来源:国知局
光透导电材料的制造方法与工艺
本发明涉及主要用于触控面板的光透导电材料,特别是涉及适合于投影型电容式触控面板的光透电极使用的光透导电材料。
背景技术
:在个人数字助理(pda)、笔记本电脑、办公室自动化设备、医疗设备或汽车导航系统等电子设备中,作为向它们的显示屏输入的输入手段,广泛使用触控面板。在触控面板中,根据位置检测的方法,有光学式、超声波式、表面型电容式、投影型电容式、电阻膜式等。就电阻膜式触控面板而言,作为成为触摸传感器的光透电极,光透导电材料和具有光透导电层的玻璃隔着间隔件相对设置,形成由电流流过光透导电材料测定具有光透导电层的玻璃中的电压的构造。另一方面,就电容式触控面板而言,作为成为触摸传感器的光透电极,以在支承体上具有光透导电层的光透导电材料作为基本构成,因为其特征为没有可动部分,所以具有强耐久性和高光透性,因此适用于各种各样的用途。进一步地,因为投影型电容式触控面板可以多点同时检出,所以广泛用于智能手机和平板电脑等。以前,作为触控面板的光透电极所使用的光透导电材料,使用在支承体上由氧化铟锡(ito)导电膜构成的光透导电层形成的光透导电材料。然而,因为ito导电膜折射率大、光的表面反射大,所以存在光透导电材料的光透性降低的问题。同时,因为ito导电膜可挠性低,所以存在有如下问题:在使光透导电材料折弯时,在ito导电膜上发生龟裂,光透导电材料的电阻值升高。作为替代具有由ito导电膜构成的光透导电层的光透导电材料,已知的光透导电材料有:调整作为在光透支承体上的光透导电层的金属细线图案,例如调整金属细线图案的线宽和间距、进一步调整图案形状等之后形成网格形状的金属细线图案的光透导电材料。通过该技术,可以得到维持高光透性、具有高导电性的光透导电材料。关于网格形状的金属细线图案(以下简称为金属细线图案)所具有的网格形状,已知可以利用各种形状的重复单元,例如以下的重复单元:等边三角形、等腰三角形、直角三角形等三角形;正方形、长方形、菱形、平行四边形、梯形等四边形;(正)六边形、(正)八边形、(正)十二边形、(正)二十边形等(正)n边形;圆;椭圆;星形等;以及它们的两种以上的组合图案。作为上述具有网格形状的金属细线图案的光透导电材料的制造方法,有提议半加成法:在支承体上形成薄的催化剂层,在其上形成抗蚀图案后,通过镀敷法在抗蚀开口部层压金属层,最后除去抗蚀剂层以及由抗蚀剂层保护的基底金属,从而形成金属细线图案。同时,近年来,已有提议将使用银盐扩散转印法的银盐照相感光材料作为导电性材料前体使用的方法。就该方法而言,在支承体上至少依次具有物理显影核层和卤化银乳剂层的银盐照相感光材料(导电性材料前体)上,使可溶性银盐形成剂和还原剂在碱液中发生作用,形成金属(银)图案。根据该方式的图案化可以再现均匀的线宽,加之,因为银在金属中导电性最高,所以与其他方法相比,可以通过较细的线宽得到高导电性。进一步地,与ito导电层相比,由该方法得到的具有金属细线图案的层还具有可挠性高、耐折弯性强的优点。在光透支承体上具有这些金属细线图案的光透导电材料因在液晶显示屏上重叠设置,所以金属细线图案的周期与液晶显示器的元件的周期发生干涉,存在产生莫尔条纹的问题。近年来,在液晶显示屏上使用各种分辨率的元件,这使上述问题更为复杂。对于该问题,提议作为金属细线图案,例如,通过使用非专利文献1等记载的自古以来周知的不规则图形来抑制莫尔条纹产生的方法。就专利文献1和专利文献2而言,介绍了设置多个使用不规则的金属细线图案的单元区域形成的触摸屏用电极材料。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2014-26510号公报专利文献2:日本特开2013-84639号公报非专利文献非专利文献1:なわばりの数理モデルボロノイ図からの数理工学入門(日本共立出版2009年2月)技术实现要素:发明所要解决的技术问题如上所述的使用不规则图形的金属细线图案因不具有由简单的单元图形重复而形成的周期性的图案形状,所以不符合与液晶显示器的元件的周期发生干涉的原理,不产生莫尔条纹。然而,就使用不规则图形的金属细线图案而言,金属细线图案的分布随机出现变粗的部分和变密的部分,存在有被视觉辨认的所谓“砂粒”的问题。对此,目前介绍了使用不规则的金属细线图案设置多个减少砂粒的单元图形以制作感测部和虚设部的方法。前述专利文献1提议,按照角连接的方式设置多个由不规则的金属细线图案形成的四边形或菱形形状的单元区域(单元图形),形成在第一方向上延伸的感测部的触摸屏用电极材料。专利文献2提议如下单元图形的设计方法:在将由不规则图案的金属细线形成的单元区域(单元图形)重复排列的情况下,按照金属细线图案在区域相邻接的边界相连的方式形成不规则图案。然而,就设置多个使用不规则的金属细线图案的单元图形制作感测部和虚设部的方法而言,由于单元图形重复,发生所谓可以周期性地看见轻度砂粒的问题。特别是在周围暗的情况下,在使用反射光观察由金属细线图案构成的光透电极的情况下,上述问题表现显著,需要改善。同时,就电容式触摸屏的光透电极而言,一般通过配线部电连接至端子部,在特定方向上延伸的形状的多个感测部并列,为了在这些多个感测部之间降低感测部的视觉辨认性,设置由金属细线图案构成的虚设部(由与端子部不进行电连接的金属细线图案构成的部分)。根据触摸屏的种类不同,这些感测部的宽度有时被设计为与网格形状的金属细线图案的线间隔几乎没有区别地非常窄。在这种情况下,如果在感测部使用细的线宽的金属细线图案,则在制造光透电极时或者在将光透电极保存在高温高湿下的情况下,有时发生电阻值变化、进而发生断线等可靠性问题。在使用上述不规则的金属细线图案的情况下,该问题表现显著。因此,本发明的课题是提供适合作为使用电容式的触摸屏的光透电极的、即使在液晶显示屏上重叠也不产生莫尔条纹、图案的视觉辨认性(视觉难以辨认性)良好且可靠性高的光透导电材料。解决技术问题的技术手段通过以下光透导电材料,基本解决了上述技术问题。光透导电材料,所述光透导电材料是在光透支承体上具有光透导电层的光透导电材料,所述光透导电层具有与端子部电连接的光透感测部和与端子部不进行电连接的光透虚设部,其特征在于:感测部和虚设部由网格形状的金属细线图案构成,在光透导电层面内,感测部的轮廓形状是在第一方向上延伸的形状,虚设部在与第一方向相垂直的方向第二方向上与感测部交替排列,感测部在第二方向上以周期l设置,感测部内的金属细线图案的至少一部分在第二方向上具有2l/n(条件是n为任意自然数)的周期,虚设部内的金属细线图案在第二方向上具有大于2l/n的周期或者没有周期。在此,感测部和虚设部的金属细线图案优选为沃洛诺伊图。同时,优选n为4以下,虚设部内的金属细线图案优选在第二方向上具有p×l(条件是p为4~20的自然数)的周期。发明效果根据本发明,可以提供适合于作为使用电容式的触摸屏的光透电极的、即使在液晶显示屏上重叠也不产生莫尔条纹、图案的视觉辨认性(视觉难以辨认性)良好且可靠性高的光透导电材料。附图说明图1是显示本发明的光透导电材料的一个实例的示意图。图2是为了说明本发明中的沃洛诺伊边的图。图3是为了说明本发明中的沃洛诺伊图的变形图案的图。图4是显示在感测部内的金属细线图案上制作周期的方法的实例的示意图。图5是显示为了在感测部和虚设部上作成沃洛诺伊图而设置母点的一个实例的示意图。图6是显示为了在本发明的感测部的一部分上作成具有周期的沃洛诺伊图而设置母点的一个实例的示意图。图7是显示为了在本发明的感测部的一部分上作成具有周期的沃洛诺伊图而设置母点的另一实例的示意图。图8是实施例中使用的透过原稿的一部分的放大图。图9是实施例中使用的另一透过原稿的一部分的放大图。具体实施方式以下,在对本发明进行详细说明时,使用附图进行说明,然而,不言而喻,本发明只要不偏离其技术范围,可以进行各种各样的变形和修改,不受以下实施方式限定。图1是显示本发明的光透导电材料的一个实例的示意图。在图1中,光透导电材料1在光透支承体2上的至少一侧具有:由网格形状的金属细线图案构成的感测部11、虚设部12;周边配线部14;端子部15;以及没有图案的非图像部13。此处,感测部11和虚设部12由网格形状的金属细线图案构成,然而,为了方便,将它们的范围以边界线a(实际不存在的线)表示。另外,如后面所述,边界线a也是为了形成多个感测部的、连接设置于网格形状的金属细线图案上的断线部的线。感测部11通过周边配线部14电连接至端子部15,通过该端子部15电连接至外部,从而可以捕捉由感测部11感知的电容的变化。另一方面,就本发明而言,与端子部15不进行电连接的金属细线图案全部成为虚设部12。在本发明中,因为周边配线部14和端子部15并非特别需要具有光透性,所以,也可以是实心图案(没有光透性的全部涂满的图案),或者也可以是像感测部11和虚设部12那样的具有光透性的网格形状的金属细线图案。在图1中,就光透导电材料1所具有的感测部11而言,其轮廓形状为在光透导电层面中,在第一方向(图中x方向)上以列状延伸的形状的电极。同时,在感测部11的列状电极之间,通过在金属细线的至少与边界线a的交点附近设置断线部而具有与感测部11不进行电连接的、由网格形状的金属细线图案构成的虚设部12。在光透导电层面内,感测部11和虚设部12交替排列,在与第一方向垂直的第二方向(y方向)上分别设置多列。如图1所示,该感测部11在y方向上以一定周期l多列排列。感测部11的周期l可以在保持作为触摸传感器的分辨能力的范围内设定为任意长度。感测部11的形状也可以具有一定的宽度,如图1所示,可以在x方向上具有图案周期。图1显示在感测部11上以周期m设置缩窄部分的实例(钻石图案的实例)。同时,感测部11的宽度(钻石图案中未缩窄的位置的宽度)也可以在保持作为触摸传感器的分辨能力的范围内任意设定,与之相应,虚设部12的形状和宽度也可以任意设定。在本发明中,感测部11和虚设部12由网格形状的金属细线图案构成。该金属细线图案的网格形状可以使用各种形状的重复图案,然而,从消除莫尔条纹的观点来看,优选使用公知的不规则图案,例如沃洛诺伊图、彭罗斯拼图、狄洛尼图等。其中,特别优选不容易产生莫尔条纹等干涉图案的沃洛诺伊图或其变形图案。同时,可以使规则图案包含于这些图案的一部分中,所述规则图案是将三角形、四边形、五边形、菱形等图形重复得到的。对本发明中优选使用的沃洛诺伊图进行说明。沃洛诺伊图是汇集沃洛诺伊边形成的图形。沃洛诺伊边是应用于信息处理等各领域的公知的图形,为了对其进行说明,使用图2(a)(b)。图2(a)(b)是为了说明本发明中的沃洛诺伊边的图。在图2(a)中,在平面20上设置多个母点211时,在将距离一个任意母点211最近的区域21和距离其他母点最近的区域21以边界线22划分来分割平面20的情况下,将各区域21的边界线22称为沃洛诺伊边。同时,沃洛诺伊边成为连接任意母点与邻近母点的线段的垂直平分线的一部分。对于设置母点的方法,使用图2(b)进行说明。作为设置母点的方法,可以列举在平面20上随机设置任意数目的母点211的方法以及划分平面20并在其划分区域中随机设置任意数目的母点211的方法,在本发明中,优选后一种方法。在本发明中,作为划分平面20的方法,可以列举:通过单一形状或2种以上形状的多个多边形(下文称为原多边形)将平面20进行平面填充,通过该原多边形划分平面20的方法;或者,作成将该原多边形放大或缩小的多边形,由该放大或缩小的多边形划分平面20的方法。就本发明而言,优选使用任何方法。优选在如此操作划分平面20后,在该原多边形或者放大或缩小的多边形中设置随机且任意数目的母点。在图2(b)中,通过作为长方形的原多边形23将平面20进行平面填充,然后,作成将该原多边形以边长成为90%的比例缩小的缩小多边形25,最后在缩小多边形25中随机设置母点211。另外,本发明中,为了预防砂粒现象(在不规则图形中,特异性地出现图案的密度高的部分和密度低的部分的现象),优选如图2(b)那样以单一形状的原多边形23进行平面填充。原多边形的形状优选正方形、长方形、菱形等四边形;三角形;六边形;其中从预防砂粒现象的观点来看,优选四边形。原多边形的一边的长度优选为100~2000μm,较优选为150~800μm。在本发明中,作为作成将原多边形放大或缩小的多边形的方法,优选将进行平面填充的所有原多边形23以相同比例在相同方向上进行放大或缩小。更优选该放大或缩小的多边形的位置为与原多边形的位置相同。另外,在本发明中,所谓放大或缩小的多边形的位置与原多边形的位置相同是指:原多边形的重心位置与放大或缩小的多边形的重心位置相同。图2(b)中,将原多边形23的重心24作为原点,作成将原多边形的按照边长成为90%进行缩小的缩小多边形25。在本发明中,放大或缩小的多边形相对于原多边形放大或缩小的比例(放大或缩小的多边形的边长相对于原多边形的边长放大或缩小的比例)优选在10%~300%的范围内,更优选为60~200%。同时,在图中,x方向与y方向放大或缩小时的比例可以相同,也可以不同。在本发明中,优选母点211在放大或缩小的多边形中设置1~3个,更优选为1个。另外,在本发明中,最优选沃洛诺伊边为直线,然而,也可以使用曲线、波浪线、锯齿线等。在本发明中,将通过上述方法得到的沃洛诺伊图在任意方向上放大或缩小所得到的图案是本发明中优选的沃洛诺伊图的变形图案。对将该沃洛诺伊图在任意方向上放大或缩小的方法进行说明。图3(a)(b)是为了对本发明中的沃洛诺伊图的变形图案进行说明的图。图3(a)是对放大或缩小前的沃洛诺伊图进行图示的图。对该图3(a)中具有沃洛诺伊边26的图案在x方向上放大4倍、在y方向上不进行变化时的变形图案进行图示的图为图3(b)。图3(a)中的沃洛诺伊边26相当于图3(b)的放大的小边31,图3(a)中的母点211相当于图3(b)中的母点311。因为图3(b)的图形没有保持上述母点与沃洛诺伊边的关系,所以不是沃洛诺伊图。另外,就包括图3(a)(b)在内的各图而言,为了方便而记载母点,然而,就实际的感测部和/或虚设部的金属图案而言,母点是不存在的。接着,使用图4,作为在感测部内的金属细线图案上制作周期的方法的实例,如上述所说明的,使用由在放大或缩小的多边形中设置的母点作成的沃洛诺伊图进行说明。图4是显示在感测部内的金属细线图案上制作周期的方法的实例的示意图。图4中属于画斜线的区域i的原多边形内设置的母点具有周期(即,在平面20中以一定周期重复出现),在属于区域iii的原多边形中设置的母点不具有周期(即,在平面20中,没有以一定周期重复出现)。为了使由在属于区域i和区域iii的原多边形中设置的母点制作的沃洛诺伊图不被线断开而连接,在属于画横线的区域ii的原多边形中设置的母点与在属于区域i的原多边形内设置的母点具有同样的周期。在图4中,平面20是将作为相同正方形(边长为h)的原多边形23在x方向上排列14列、在y方向上排列6列进行平面填充。在该原多边形23中分别随机设置一个母点211。在图4中,画斜线的区域i内的母点在x方向上以6h的长度的周期l排列。另一方面,在区域iii内设置的母点不存在周期。同时,画横线的区域ii内的母点也与区域i内的母点同样在x方向上以6h的长度的周期l排列。如果由这样设置的母点211作成沃洛诺伊边,由在属于区域i的原多边形中设置的母点211作成的沃洛诺伊边26(为了说明以粗线进行图示)在x方向上以l的周期进行排列。由在属于区域iii的原多边形中设置的母点作成的沃洛诺伊边26不具有周期。在由属于区域ii的原多边形中设置的母点作成的沃洛诺伊边26中,既有具有周期的,也有不具有周期的。如果从区域的功能进行说明,区域i是所谓沃洛诺伊图本来的不规则图形且在图中x方向上具有周期l的区域,区域iii是沃洛诺伊图且不具有周期的区域,区域ii是沃洛诺伊图,是有周期、也可没有周期的区域,另外,区域ii成为使有周期的区域i和没有周期的区域iii不被沃洛诺伊边断开而连接的区域。区域ii设置在区域i和区域iii之间。区域ii的宽度,即区域i和区域iii之间存在的原多边形的个数为:相对于放大或缩小的多边形的原多边形放大或缩小的比例(放大或缩小的多边形的原多边形的边长相对于原多边形的边长的放大或缩小的比例,放大/缩小率)除以100%,将小数点以下舍去的个数。在图4中,放大/缩小率为100%(原多边形与放大或缩小多边形为同样的大小),因此,100%÷100%=1,在区域i与区域iii之间存在1个大小的原多边形的区域ii。图5~图7是为了在感测部和虚设部上作成沃洛诺伊图的设置母点的一个实例。在图5中,通过原多边形23将感测部11和虚设部12组合的平面进行填充,在原多边形23内分别随机设置一个母点211。感测部11和虚设部12由边界线a(存在断线部的位置:图1中的钻石形态)划分。感测部11和虚设部12的轮廓形状为在图中x方向(第一方向)上延伸的形状,以周期l在y方向(第二方向)上排列。在图5中,画斜线的区域i和画横线的区域ii中存在的母点211在y方向上以周期l排列,区域iii内的母点211不具有周期。按照前述的说明,在对图5中存在的母点制作沃洛诺伊边的情况下,在区域i(即,包含全部感测部11的区域)内,在y方向上形成具有周期l的沃洛诺伊边,在剩下的虚设部12内的区域iii形成的沃洛诺伊边不具有周期。就本发明而言,感测部在第二方向上以周期l进行设置,感测部内的金属细线图案的至少一部分,优选为至少全部感测面积的5%以上、较优选为10%以上,在第二方向上具有2l/n(条件是n为任意自然数)的周期。特别是,作为感测部内的金属细线图案具有2l/n(条件是n为任意自然数)周期的位置优选为:在x方向上具有周期m且在感测部的轮廓形状上设置有缩窄部分的情况下(图1中的钻石形态),可以列举,例如,如图6、图7所示,该感测部宽度缩得最窄的位置(图7的区域i)。如图6、图7所示,相对于与感测部11延伸的x方向(第一方向)相垂直的y方向(第二方向),感测部变窄的位置对传感器的性能(电阻值和可靠性等)施加的影响最大,因此,即使相对于感测整体的面积仅为小的比例,优选在这种位置,金属细线图案在第二方向上(y方向)上具有2l/n(条件是n为任意自然数)的周期,较优选在该位置的80%以上的面积上,金属细线图案在第二方向(y方向)上具有2l/n(条件是n为任意自然数)的周期。另一方面,虚设部12的金属细线图案需要在第二方向上具有大于2l/n的周期、或者不具有周期,如图5~7所示,有周期、也可没有周期的区域ii连着虚设部,因此,并非在虚设部的所有部分中都需要满足上述要件,优选所有虚设部的20%以下的面积、较优选所有虚设部的10%以下的面积在第二方向上存在有具有2l/n以下的周期的部分即可。如前所述,在本发明中,感测部内的金属细线图案的至少一部分在感测部排列的第二方向上具有2l/n(条件是n为任意自然数)的周期。在图5~图7中,感测部的全部或其一部分在y方向上具有周期l。如果是这样,因为l=2l/2,所以,前述的本发明的感测部的金属细线图案所具有的周期2l/n中的n,在图5~图7中为2,这成为本发明中最优选的n值。如果n太大,2l/n比原多边形在第二方向上排列的周期小,则相对于感测部的第二方向制作周期变得困难,因此,在本发明中不优选大的n,优选的n的范围为4以下。虚设部的金属细线图案的第二方向的周期比2l/n大、或者没有周期也可,为了得到感测部的电容的均匀性,优选具有一定程度大小的周期。如果虚设部的金属细线图案的第二方向的周期为p×l(条件是p为任意自然数),则优选的p值为4~20。投影型电容式触摸面板通常将两张图案化的光透导电材料贴合使用。对于如图1所示的感测部的轮廓形状在x方向上具有延伸的形状和图案周期m且在y方向上以周期l排列的光透导电材料,是与感测部的轮廓形状在y方向上具有延伸的形状且在x方向上以周期q排列的光透导电材料成对使用。在此情况下,在图1中的感测部的x方向的周期m和q的关系一般为m=q,在本发明中也是优选的实施方式。在本发明中,感测部内的金属细线图案的至少一部分在感测部延伸的第一方向上具有2m/r(条件是r为任意自然数)的周期,同时,虚设部在感测部延伸的第一方向上具有比2m/r(条件是r为任意自然数)的周期大的周期、或者不具有周期,这也是本发明的优选的实施方式。在本发明中,感测部11和虚设部12由网格形状的金属细线图案形成。作为该金属,优选由金、银、铜、镍、铝和它们的复合材料构成。同时,周边配线部14和端子部15也是与感测部11和虚设部12相同成分的金属形成的金属细线图案,这从生产效率的观点来看是优选的。作为形成这些金属细线图案的方法,可以使用下述公知的方法:使用银盐感光材料的方法;在使用该方法进一步得到的银图像上实施非电解镀敷或电解镀敷的方法;使用丝网印刷法将银浆、铜浆等导电性墨进行印刷的方法;将银墨或铜墨等导电性墨通过喷墨法进行印刷的方法;或者经蒸镀或溅镀等形成导电性层,在其上形成抗蚀膜,经曝光、显影、蚀刻、除去抗蚀层而得到金属细线图案的方法;贴上铜箔等金属箔,进一步在其上形成抗蚀膜,经曝光、显影、蚀刻、除去抗蚀层而得到金属细线图案的方法等。其中,所制造的金属细线图案的厚度可以是薄的,更优选也可以容易地形成极细微的金属细线图案的银盐扩散转印法(一种使用银盐感光材料的方法)。有关该银盐扩散转印法记载于例如日本特开2003-077350号公报、日本特开2008-251274号公报等。通过上述方法制作的金属细线图案的厚度如果过厚,则有时出现后续工序(例如与其他构件的贴合等)变困难的情况;同时,如果过薄,则难以确保作为触控面板所必需的导电性。因此,其厚度优选为0.01~5μm,较优选为0.05~1μm。另外,从导电性和光透性兼顾的观点来看,感测部11和虚设部12所具有的金属细线图案的线宽优选为1~20μm,较优选为2~7μm。在本发明的光透导电材料中,为了在感测部和虚设部的边界或者在虚设部内防止传感器之间的短路,需要具有任意宽度的非图像部,该非图像部可以通过在金属细线图案上设置断线部而得到。例如金属细线图案是沃洛诺伊图的情况下,断线部的位置可配合感测部的形状而设置在感测部和虚设部的边界线上、或于虚设部内设置在:从与感测部的边界连接特定位置的边与沃洛诺伊边的交点、沃洛诺伊边的中点或交点、沃洛诺伊边的特定位置、连接为了制作沃洛诺伊边的母点的狄洛尼线与沃洛诺伊边的交点、或者随机的位置。优选断线部的断线长度为1~50μm,较优选为3~15μm。同时,优选断线部分相对于沃洛诺伊边垂直设置。在本发明的光透导电材料中,虚设部11和感测部12的总透光率优选为80%以上,较优选为85%以上。同时,优选感测部11与虚设部12的总透光率之差在0.5%以内,较优选在0.1%以内,更优选为相同。感测部11和虚设部12的雾度值优选在2以下。进一步地,感测部11和虚设部12的色相为:在cielab中的b*值优选为2以下,较优选为1以下。作为本发明的光透导电材料所具有的光透支承体,优选使用下述公知的具有光透性的支承体:玻璃;聚对苯二甲酸乙二醇酯(pet)和聚萘二甲酸乙二醇酯(pen)等聚酯树脂;丙烯酸树脂;环氧树脂;氟树脂;硅酮树脂;聚碳酸酯树脂;二乙酸酯树脂;三乙酸酯树脂;聚芳酯树脂;聚氯乙烯;聚砜树脂;聚醚砜树脂;聚酰亚胺树脂;聚酰胺树脂;聚烯烃树脂;环状聚烯烃树脂等。此处,所谓光透性是指总透光率在60%以上,优选总透光率在80%以上。光透支承体的厚度优选为50μm~5mm。同时,在光透支承体上可以设置指纹防污层、硬涂层、防反射层、防眩层等公知的层。本发明的光透导电材料可以在任意位置设置硬涂层、防反射层、粘着层、防眩层等公知的层。而且,在光透支承体与具有感测部11和虚设部12等的光透导电层之间,可以设置物理显影核层、易粘接层、粘接剂层等公知的层。实施例以下使用与本发明有关的实施例进行详细说明,然而,只要不超出该主旨,本发明不受以下实施例限定。光透导电材料1作为光透支承体,使用厚度100μm的聚对苯二甲酸乙二醇酯膜。另外,该光透支承体的总透光率为91%。然后,按照下述配方制作物理显影核层涂液,涂覆在上述光透支承体上,干燥,设置物理显影核层。硫化钯溶胶的配制将a液和b液边搅拌边混合,30分钟后通过由离子交换树脂填充的柱,得到硫化钯溶胶。物理显影核层涂液的配制:每平方米银盐感光材料的量接着,从距离光透支承体近的一侧开始,在上述物理显影核层上依次涂覆具有下述组成的中间层、卤化银乳剂层和保护层,干燥,得到银盐感光材料。卤化银乳剂通过照相用卤化银乳剂的普通双注混合法制造。该卤化银乳剂使用氯化银95摩尔%和溴化银5摩尔%配制,使平均粒径成为0.15μm。将如上操作得到的卤化银乳剂按照标准方法使用硫代硫酸钠和氯金酸实施硫加金增感。如上操作得到的卤化银乳剂每克银含有0.5g明胶。中间层的组成:每平方米银盐感光材料的量明胶0.5g表面活性剂(s-1)5mg染料150mg[化1]s-1[化2]染料1卤化银乳剂层的组成:每平方米银盐感光材料的量保护层的组成:每平方米银盐感光材料的量明胶1g无定形二氧化硅消光剂(平均粒径3.5μm)10mg表面活性剂(s-1)10mg在如上操作得到的银盐感光材料上,分别将具有图1图案的图像的透过原稿贴紧,使用以汞灯为光源的接触式打印机隔着滤除400nm以下的光的树脂滤光片进行曝光。另外,透过原稿中的感测部11的周期l和感测部11的钻石形态的缩窄部分的周期m皆为2.7mm。图8是实施例所使用的透过原稿的一部分的放大图,是将图1中的感测部11和虚设部12进行放大的图。在图1和图8的具有图案的图像的透明原稿中,感测部11和虚设部12所具有的细线图案是由图5所示的母点生成的沃洛诺伊图重复排列而构成。图5所示的图案为,将x方向的边长为0.27mm、y方向的边长为0.27mm的正方形作为原多边形,将该原多边形在x方向、y方向上排列进行平面填充,在可以连接从该原多边形的形状的重心至各顶点的距离的100%的位置而成的多边形(此处,与原多边形相等:放大/缩小率为100%)中,随机设置母点各1个,通过将与一个母点最近的区域以及与另一母点最近的区域以边界线进行划分,制作沃洛诺伊图。该沃洛诺伊图的线宽为4μm。在图8中,在边界线a与沃洛诺伊边的交点部位以5μm的断线长度设置断线部。进一步地,在连接位于边界线a上的各个原多边形(未进行图示)的虚设部12一侧相邻的原多边形中设置的母点(未进行图示)之间的线狄洛尼线和沃洛诺伊边的交点处,以5μm的断线长度设置断线部,并且,在连接从位于边界线a上的各个原多边形(未进行图示)开始在虚设部一侧的第2个且不与感测部11的区域重叠的位置上的原多边形中设置的母点(未进行图示)之间的狄洛尼线和沃洛诺伊边的交点处,以5μm的断线长度设置断线部。感测部11内的细线图案具有在x方向上2.7mm、在y方向上2.7mm的周期,虚设部12内的细线图案具有在x方向上21.6mm、在y方向上21.6mm的周期。此后,在具有下述组成的扩散转印显影液中在20℃浸渍60秒后,接着,使用40℃的温水将卤化银乳剂层、中间层和保护层水洗除去,进行干燥处理。将此处理重复100次,作为光透导电层,得到100张具有图1的形状的具有金属银图像的光透导电材料1。得到的光透导电材料所具有的光透导电层的金属银图像与具有图1和图8的图案的透过原稿的图像具有相同形状、相同线宽。同时,使用共聚焦显微镜检查金属银图像的膜厚,为0.2μm。感测部与虚设部的总透光率皆为89.6%。扩散转印显影液的组成用水调节总量为1000ml,调节至ph=12.2。光透导电材料2使用具有图1图案的透过原稿,然而,感测部11内的细线图案具有在x方向上2.7mm、在y方向上2.7mm的周期,虚设部12内的细线图案在x方向、y方向上都没有周期,除此以外,使用在制作光透导电材料1时使用的透过原稿,与光透导电材料1同样操作,得到100张光透导电材料2。光透导电材料3使用具有图1图案的透过原稿,然而,感测部11内的细线图案具有在x方向上2.7mm、在y方向上2.7mm的周期,虚设部12内的细线图案具有在x方向上2.7mm、在y方向上2.7mm的周期,除此以外,使用在制作光透导电材料1时使用的透过原稿,与光透导电材料1同样操作,得到100张光透导电材料3。光透导电材料4使用具有图1图案的透过原稿,然而,感测部11内的细线图案具有在x方向上21.6mm、在y方向上21.6mm的周期,虚设部12内的细线图案具有在x方向上21.6mm、在y方向上21.6mm的周期,除此以外,使用在制作光透导电材料1时使用的透过原稿,与光透导电材料1同样操作,得到100张光透导电材料4。光透导电材料5使用具有图1图案的透过原稿,然而,感测部11内的细线图案具有在x方向上2.7mm、在y方向上2.7mm的周期,虚设部12内的细线图案具有在x方向上4.05mm、在y方向上4.05mm的周期,除此以外,使用在制作光透导电材料1时使用的透过原稿,与光透导电材料1同样操作,得到100张光透导电材料5。光透导电材料6使用具有图1图案的透过原稿,然而,感测部11内的细线图案、虚设部12内的细线图案都没有周期,除此以外,使用在制作光透导电材料1时使用的透过原稿,与光透导电材料1同样操作,得到100张光透导电材料6。光透导电材料7使用具有图1图案的透过原稿,然而,感测部11内的细线图案具有在x方向上1.8mm、在y方向上1.8mm的周期,虚设部12内的细线图案具有在x方向上21.6mm、在y方向上21.6mm的周期,除此以外,使用在制作光透导电材料1时使用的透过原稿,与光透导电材料1同样操作,得到100张光透导电材料7。光透导电材料8使用具有图1图案的透过原稿,然而,感测部11内的细线图案具有在x方向上1.08mm、在y方向上1.08mm的周期,虚设部12内的细线图案具有在x方向上21.6mm、在y方向上21.6mm的周期,除此以外,使用在制作光透导电材料1时使用的透过原稿,与光透导电材料8同样操作,得到100张光透导电材料5。光透导电材料9使用具有图1图案的透过原稿,然而,除了由具有图6的类型的周期结构的母点作成的沃洛诺伊边构成以外(细线宽度、原多边形的周期、放大或缩小的多边形的放大/缩小率等),与光透导电材料1所使用的透明原稿具有相同的细线图案,除此以外使用在制作光透导电材料1时使用的透过原稿,与光透导电材料1同样操作,得到100张光透导电材料9。另外,由属于感测部11内的区域i的母点作成的细线图案具有在x方向上2.7mm、在y方向上2.7mm的周期,除此以外的细线图案具有在x方向上21.6mm、在y方向上21.6mm的周期。光透导电材料10使用具有图1图案的透过原稿,然而,除了由具有图7的类型的周期结构的母点作成的沃洛诺伊边构成以外(细线宽度、原多边形的周期、放大或缩小的多边形的放大/缩小率等),与光透导电材料1所使用的透明原稿具有相同的细线图案,除此以外使用在制作光透导电材料1时使用的透过原稿,与光透导电材料1同样操作,得到100张光透导电材料10。另外,由属于感测部11内的区域i的母点作成的细线图案具有在x方向上2.7mm、在y方向上2.7mm的周期,除此以外的细线图案具有在x方向上21.6mm、在y方向上21.6mm的周期。光透导电材料11使用具有图1图案的透过原稿,然而,作为感测部11和虚设部12的图案,使用可以连接与图5相同位置的母点的狄洛尼线的图9的图案,除此以外使用在制作光透导电材料1时使用的透过原稿,与光透导电材料1同样操作,得到100张光透导电材料11。感测部11内的细线图案具有在x方向上2.7mm、在y方向上2.7mm的周期,虚设部12内的细线图案具有在x方向上21.6mm、在y方向上21.6mm的周期。光透导电材料12使用具有图1图案的透过原稿,然而,作为感测部11和虚设部12的图案,使用通过连接在光透导电材料3中制作沃洛诺伊边时使用的母点而形成的狄洛尼线的图案,除此以外使用在制作光透导电材料1时使用的透过原稿,与光透导电材料1同样操作,得到100张光透导电材料12。感测部11内的细线图案具有在x方向上2.7mm、在y方向上2.7mm的周期,虚设部12的细线图案具有在x方向上2.7mm、在y方向上2.7mm的周期。对于所得到的光透导电材料1~12,作为可靠性的指标对电路的导通性评价,作为莫尔条纹和视觉辨认性的指标对外观(透过、反射)进行评价。可靠性就图1的图案而言,存在10套从端子部15开始按照周边配线部14、感测部11、周边配线部14、端子部15的顺序连接的电路。分别在如上操作得到的各100张光透导电性材料1~12中,对所有在设计上电连接的10套电路使用万用表确认导通。同时,确认该10套电路之间的所有电路互相之间是否发生短路。然后,求出所得到的对100张光透导电材料可以确认10套电路中全部导通、且该电路之间的所有电路互相之间不发生短路的光透导电材料的比例,表示于表1。外观:透明对于视觉辨认性,将所得到的光透导电材料1~12装载于表示全白图像的23型宽屏液晶显示器(lgelectronics公司制flatron23en43v-b2)上,将明显出现莫尔条纹或砂粒的记作×;仔细看的话,可以识别莫尔条纹或砂粒的记作△;完全不能识别莫尔条纹或砂粒的记作○。外观:反射在由遮光帘围成的房间中,将如上操作得到的光透导电材料1~12放置于黑色板上,将三波长荧光灯光源从上部照射,从侧面观察光透导电材料。将可以明确地视觉辨认感测部11、虚设部12的几何学模样的光透导电材料评价为×;将稍微可以视觉辨认的评价为△;将完全无法视觉辨认评价为○。其结果表示于表1。表1可靠性外观(透明)外观(反射)备注光透导电材料1100%○○本发明光透导电材料2100%○△本发明光透导电材料3100%○×比较例光透导电材料450%△△比较例光透导电材料5100%○△本发明光透导电材料640%△△比较例光透导电材料7100%○○本发明光透导电材料8100%○△本发明光透导电材料9100%○○本发明光透导电材料10100%○○本发明光透导电材料1190%△○本发明光透导电材料1290%△×比较例从表1的结果可知,根据本发明,得到了不产生莫尔条纹、视觉辨认性良好且可靠性高的光透导电材料。符号说明1光透导电材料2光透支承体11感测部12虚设部13非图像部14周边配线部15端子部20平面21区域22边界线23原多边形24重心25缩小多边形26沃洛诺伊边31放大的小边211母点a边界线l、m周期i、ii、iii区域当前第1页12
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