)的线圈部，支撑臂8以水平转动轴 9为中心可以与磁盘6的表面平行地转动。音圈马达（VCM)由该线圈部（未图示）和覆盖 线圈部的磁铁部10构成。从磁盘6的数据区域的外侧到磁盘6的外侧上设有斜面机构11， 通过在其倾斜表面上搁置设在磁头组件2的最前端的翼片12,使滑块3离开磁盘6并处在 卸载状态。
[0039] -方面，磁盘装置1在工作时（即磁盘处于高速旋转中），滑块3相对磁盘6的表 面以低悬浮量悬浮处于加载状态。另一方面，在不工作时（即磁盘处于静止或者在启动和 停止时的低速旋转中），因磁头组件2的前端部的翼片12位于斜面机构11之上，可使滑块 3处在卸载状态。
[0040] 图2是简要地表示本发明的优选实施方式所涉及的磁头组件2的整体结构的立体 图。以下为了方便说明，将图的Z轴的正方向称为磁头组件2的上表面侧，将该Z轴的负方 向称为磁头组件2的背面侧，或者下表面侧。滑块3在其后端（即其后缘，图2的Y轴的正 方向侧）表面上，具备感应写入磁头元件和由基于巨磁阻效应（GMR)的读出磁头元件或者 基于隧道磁阻效应（TMR)的读出磁头元件等的磁阻效应（MR)读出薄膜磁头构成的磁头元 件7。
[0041] 根据图2,磁头组件2的主要构成元件包括：底板13、负载梁14、挠曲件15、作为第 1驱动装置16a的第1薄膜压电体元件和作为第2驱动装置16b的第2薄膜压电体元件、和 滑块3。而底板13安装在支撑臂8的前端部。
[0042] 根据图2,负载梁14通过多个梁焊接点17a等固定于底板13上。且负载梁14上 形成有板簧18,能够对滑块3产生一定的按压力。并且负载梁14的两侧还设置有弯曲加工 部19,使其成为加强结构。另外，挠曲件15通过梁焊接点17b固定于负载梁14上。在图2 上，滑块3的姿态角的俯仰方向表示为Dp，?倾方向表示为Dr，转动方向表示为Dy。
[0043] 图3是简要地表示本发明的优选实施方式所涉及的磁头组件2的分解立体图。即 表示将磁头组件2分解成负载梁14、挠曲件15、底板13、驱动部件16a及驱动部件16b、和 滑块3时的状态。
[0044] 根据图3,滑块3粘接固定在形成于挠曲件15上的滑块支撑板20上。负载梁14 前端部近旁的中心线上一体地突出形成有支点突起21，该支点突起21由第1外伸支架22a 和第2外伸支架22b支撑，形成了在滑块支撑板20上点接触的枢轴结构。由此，滑块3形 成为对应磁盘面的起伏而悬浮姿态能够圆滑地追随的结构。
[0045] 还有，第1驱动装置16a和第2驱动装置16b是薄膜压电体元件，其粘接在第1压 电体支撑部23a和第2压电体支撑部23b上。并且，第1压电体支撑部23a和第2压电体 支撑部23b仅由形成挠曲件15的绝缘层构成。
[0046] 图4是表示本发明的优选实施方式所涉及的磁头组件所具有的挠曲件15的结构 的分解立体图。挠曲件15-般是用在厚20μπι左右的薄不锈钢钢片上涂敷绝缘层后，再 在其上镀上铜箔的材料制成的布线底板，其可用蚀刻工艺加工成任意形状的精密的布线结 构。在图4中，为了明白易懂，将原来是一体的挠曲件分解成不锈钢制挠曲件基板24和磁 头元件布线25 (布线部）来表示。
[0047] 图5a是本发明的优选实施方式所涉及的磁头组件所具有的第1驱动装置16a的 平面图。而图5b表示图5a中的A-A剖面图。图5c表示图5a中的B-B剖面图。薄膜压电 体26的上表面侧形成有上部电极27a，下表面侧形成有下部电极27b。因为该第1以及第 2驱动装置16a，16b极薄，且极易破损，所以设有作为加强件的基座28。
[0048] 为了保护薄膜压电体26,第1以及第2驱动装置16a，16b的整体用聚酰亚胺制绝 缘罩30覆盖。且在图5a的C部和D部中，除去了部分绝缘罩30。在C部露出下部电极 27b，其与第2电极垫片29b电导通。在D部露出上部电极27a，其与第1电极垫片29a电 导通。且通过由此向第1电极垫片29a(第3电极垫片29c)和第2电极垫片29b(第4电 极垫片29d)施加电压，可使第1驱动装置16a (及第2驱动装置16b)的薄膜压电体26伸 缩。图中用箭头表示薄膜压电体26的分极方向。如果向第2电极垫片29b施加负电压，向 第1电极垫片29a施加正电压，薄膜压电体26就可通过压电常数d31向压电薄膜的面内方 向收缩。
[0049] 图6是从上表面侧（即滑块3 -侧）看本发明的优选实施方式所涉及的磁头组件 2的前端主要部分的平面图。图7是从下表面侧（即从背面侧看图6的磁头组件2)看本发 明的优选实施方式所涉及的磁头组件的前端主要部分的平面图。且图中没有表示出负载梁 14。滑块3粘接在滑块支撑板20上，并设置有与对应于磁头电极端子31的磁头元件布线 25 (即布线部）且通过焊料球进行连接。
[0050] 在图6中，滑块支撑板20在配置于两侧的第1和第2外伸支架22a，22b中的一部 分形成第1弯曲部32a和第2弯曲部32b。并且构成为使左右的第1和第2弯曲部32a，32b 的各自的延长线的交点与支点突起21相一致。而且，滑块支撑板20借助设置于第1和第2 外伸支架22a，22b的中间位置上的第1弯曲部32a和第2弯曲部32b的作用，以支点突起 21为中心转动。
[0051 ] 在滑块支撑板20上，形成有将包含滑块3的转动部分的转动方向的惯性轴设定为 与支点突起21 -致的平衡部33。且在滑块支撑板20上形成有当滑块3从磁盘上卸载时， 为了托起滑块3的T型限制器部34,其与形成在负载梁14上的孔部35卡合。此外，平时工 作时，T型限制器部34与孔部35之间通常因有间隙并不相互接触。
[0052] 磁头元件布线25 (布线部）以围绕滑块3的形态配置，其端部与滑块3的磁头电 极端子31连接。该磁头元件布线25 (布线部）在固定于第1和第2外伸支架22a，22b上 的同时（参见图6的C-C部分），也同样固定于从滑块支撑板20延伸出的第1驱动肋36a 和第2驱动肋36b上（参见图6的F-F部分）。
[0053] 第1及第2驱动装置16&，1613由向第1、第2、第3、第4电极垫片29 &、2%、29(3、29(1 施加电压而被驱动。驱动布线37a配置成向第1驱动装置16a的第1电极垫片29a和第2 驱动装置16b的第4电极垫片29d进行输入，接地布线37b配置成将第1驱动装置16a的 第2电极垫片29b和第2驱动装置16b的第3电极垫片29c接通。由此，如果向驱动布线 37a输入交变驱动信号，可使第1驱动装置16a及第2驱动装置16b朝着相互相反的方向做 伸缩运动。
[0054] 挠曲件15构成为在厚18 μ m的不锈钢材上涂敷聚酰亚胺等绝缘层41，再在其上形 成磁头元件布线25 (布线部）。进一步，为了达到布线的绝缘或者保护布线的目的，使用聚 酰亚胺等布线罩层42覆盖。挠曲件15所必需的机构的功能通过可将不锈钢制挠曲件基板 24用蚀刻工艺加工成任意形状来加以保证。对图6(图7)中示出的挠曲件结构，在图8a至 图8e中分成几个剖面分别进行了描绘。图8a是表示图6中的C-C剖面的剖面图。图8b是 表示图6中的D-D剖面、图8c是图6中的F-F剖面、图8d是图6中的H-H剖面、图8e是图 6中的G-G剖面的剖面图。D-D剖面和G-G剖面是同样的剖面形状，其磁头元件布线25 (布 线部）下部的不锈钢材通过蚀刻被除去。
[0055] 图9是表示本发明的优选实施方式所涉及的磁头组件2中将第1驱动装置16a粘 接在挠曲件15上的部分的剖面（即图6中的E-E剖面）的剖面图。在通过留下一部分挠 曲件基板24以形成加强板43a的第1连杆39a处，第1驱动装置16a在其前端部与加强板 43a重叠的位置，粘接在第1压电体支撑部23a上。同样，在通过留下一部分挠曲件基板24 以形成加强板43b的第2连杆39b处，第2驱动装置16b在其前端部与加强板43b重叠的 位置，粘接在第2压电体支撑部23b上。这是为了将薄膜压电体26的位移切实地传达给第 1连杆39a(和第2连杆39b)。而且，如图9所示，第1和第2连杆的39a由向磁头元件7 传送信号的磁头