元件布线25和部分地加强该磁头元件布线部25的加强板43a构成。
[0056] 第1连杆39a设置成在第1连接点40a和第2连接点40b之间进行连接。第1连 接点40a与第1驱动肋36a连接，且第2连接点40b与作为挠曲件15之一部分的第1固定 部24a连接（参见图7)。同样，第2连杆39b设置成在第3连接点40c和第4连接点40d 之间进行连接。第3连接点40c与第2驱动肋36b连接，且第4连接点40d由作为挠曲件 15之一部分的第2固定部24b支撑（参见图7)。第3和第4连接点40c，40d的结构与第 1和第2连接点40a，40b相同。如图8e中所示，第1连接点40a由通过蚀刻除去挠曲件15 的挠曲件基板24的磁头元件布线25 (布线部）形成。同样，如图8d中所示，第2连接点 40b由通过蚀刻除去挠曲件15的挠曲件基板24的磁头元件布线25 (布线部）形成。因为 第1连接点和第2连接点40a，40b是较于第1连杆39a更加柔软的结构，所以在第1驱动 装置16a伸缩运动时，第1连杆39a会以第2连接点40b为中心进行细微的转动运动。同 样，第2驱动装置16b伸缩运动时，第2连杆39b会以第4连接点40d为中心进行细微的转 动运动。
[0057] 另外，在各相关附图中，磁头组件2的底板13及负载梁14均相对与Y轴方向平行 的中心轴为线对称。且，第1连杆39a和第2连杆39b、第1连接点40a和第2连接点40b、 第3连接点40c和第4连接点40d、以及第1驱动装置16a和第2驱动装置16b等部分的结 构也在各个相关的附图中，均相对与Y轴方向平行的中心轴为线对称。
[0058] 在图6和图7中，设有将第1驱动装置16a和第2连接点40b以及挠曲件基板24 分开的第1分离槽44a，而且，该第1分离槽44a是在与沿着薄膜压电体26的长度方向（X 轴方向）的长度相当的范围内形成的。通过该第1分离槽44a能够将薄膜压电体26的位 移从包括磁头元件布线部25 (布线部）的第2连接点40b和挠曲件基板24的束缚中解放 出来，从而使位移最大化。另外，磁头组件2是相对与Y轴方向平行的中心轴为线对称的形 状，因此根据图6第2分离槽44b也是如此。
[0059] 图10是通过图6中的第1和第2驱动装置16a，16b滑块3以支点突起21为中心 进行转动运动的机构的简化模型图，是从磁头组件2的背面一侧看到的状况。第1驱动装 置16a的一端固定在呈L形状的第1连杆39a上，其另一端固定在挠曲件基板24上。在第 1连杆39a的两个端部上，形成有第1连接点40a和第2连接点40b。
[0060] 该第1连接点40a就是图7中由第1驱动肋36a和第1连杆39a相夹的区域。且 第2连接点40b同样也相当于图7中由第1连杆39a和挠曲件基板24相夹的区域。同样， 第3连接点40c是由第2连杆39b和第2驱动肋36b相夹的区域。且第4连接点40d同样 也相当于由第2连杆39b和挠曲件基板24相夹的区域。该当第1至第4连接点40a~40d 因为用蚀刻除去了挠曲件基板24而能够比较柔软地弯曲。
[0061] 从图10中可以看出，连接第1连接点40a和第2连接点40b的第1线段Ll和连 接第3连接点40c和第4连接点40d的第2线段L2,优选为在负载梁14的支点突起21相 交。那是因为，第1线段Ll以连接点40b为中心转动，而第2线段L2以连接点40d为中心 转动，因为由第1线段L1、第2线段L2和滑块3组成的结构中在滑块转动运动中的瞬间中 心跟支点突起21是一致的。也就是说，如果支点突起21与瞬间中心是一致时，加载于其转 动动作的负载会消失，从而能够获得更大的转动位移。
[0062] 图11是通过图10中的第1和第2驱动装置16a，16b滑块3以支点突起21为中心 进行转动运动的状态的简化模型图，是从磁头组件2的背面一侧看到的状况。接下来通过 图11对如上述构成的转动机构的动作进行说明。首先，第2驱动装置16b被施加电压后， 即在极化方向上施加了电场，致使第2驱动装置16b收缩。另一方面，第1驱动装置16a也 因为在与第2驱动装置16b正相反的方向上被施加了同样的电压而伸长。另外以虚线来表 示上述驱动部件个体的变形形状。由此，第1连杆39a在以第2连接点40b为中心按顺时 针方向转动的同时，第2连杆39b也以第4连接点40d为中心按相同方向转动。这里，因为 支点突起21、第1连接点40a和第2连接点40b都配置在一条直线上，所以第1连接点40a 以支点突起21为中心转动。同样，因支点突起21、第3连接点40c和第4连接点40d也在 一条直线上，所以第3连接点40c也以支点突起21为中心转动。然而，滑块3却是以支点 突起21为中心呈逆时针转动。
[0063] 实施例
[0064] 下面，根据本实施方式，通过实施例和现有技术例具体说明能够使磁头位移量增 加。图12是对现有结构（现有技术例）的磁头组件2进行了简化的模型图。使用图12表 示磁头位移量X的计算方法。
[0065] 数学式1是现有技术例中的磁头位移量xl〔nm/V〕的计算公式。其中d31是压电 常数，V是施加电压，L是压电体的长度，E是压电体的纵向弹性模量，W是压电体的宽度， K是上部电极27a、下部电极27b、第1和第2弯曲部32a，32b以及各连接点上的机构负载 38, t是压电体的厚度，C3是支点突起21同磁头元件7之间的距离，C4是现有技术中连接 点40e同支点突起21之间的距离。根据数学式1，例如代入薄膜压电元件的有效位移长度 L = 90 μπι,有效位移宽W = 360 μπι时，可计算得出现有技术模型中的磁头元件的位移量 xl 为 9. 15nm〇
[0066] 数学式1
【主权项】
1. 一种磁头组件，其中具有磁头元件的滑块支撑在形成于挠曲件的滑块支撑板上， 该滑块支撑板可在设置于负载梁的前端部上的支点突起的周围进行转动，其特征在于，包 括： 第1连杆，其配置为在与所述滑块支撑板连接的第1连接点和与第1固定部连接的第 2连接点之间进行连接； 第2连杆，其配置为在与所述滑块支撑板连接的第3连接点和与第2固定部连接的第 4连接点之间进行连接； 第1驱动装置，其驱动所述第1连杆；以及 第2驱动装置，其驱动所述第2连杆。
2. 根据权利要求1所述的磁头组件，其特征在于，将连接所述第1连接点和所述第2连 接点的第1线段和连接所述第3连接点和所述第4连接点的第2线段延长后相交的交点与 所述支点突起一致。
3. 根据权利要求1或2所述的磁头组件，其特征在于，所述第1连杆和第2连杆包括向 所述磁头元件传达信号的布线部和部分地加强所述布线部的加强板。
4. 根据权利要求1至3中任一项所述的磁头组件，其特征在于，具有设置于所述第1驱 动装置和所述第2连接点之间的第1分离槽，以及设置于所述第2驱动装置和所述第4连 接点之间的第2分离槽。
5. 根据权利要求1至4中任一项所述的磁头组件，其特征在于，所述第1驱动装置和所 述第2驱动装置的面积的长宽比例L/W为2以上。
【专利摘要】本发明提供一种磁头组件(2)，该磁头组件(2)，包括：第1连杆(39a)，其配置为在与滑块支撑板(20)连接的第1连接点(40a)和与第1固定部(24a)连接的第2连接点(40b)之间进行连接；第2连杆(39b)，其配置为在与滑块支撑板(20)连接的第3连接点(40c)和与第2固定部(24b)连接的第4连接点(40d)之间进行连接；第1驱动装置(16a)，其驱动第1连杆(39a)；以及第2驱动装置(16b)，其驱动所述第2连杆(39b)。根据本发明的磁头组件(2)，为了获得所希望的磁头元件的位移量能够进行有效的驱动而不增加薄膜压电元件体积。
【IPC分类】G11B5-48, G11B5-31
【公开号】CN104835511
【申请号】CN201510075880
【发明人】桑岛秀树, 染谷拓
【申请人】Tdk株式会社
【公开日】2015年8月12日
【申请日】2015年2月12日