专利名称：电子束照射法制造器件的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种通过电子束照射绘制器件布线图案影像的方法。
首先，说明一下本说明书中使用的一些术语。
零件的最小尺寸这里使用此术语指的是最小零件的大小或各零件之间定期产生、在器件上测出的间隙，其近似的同义语有“线条最小宽度”和“线条间的最小间隙”。这里使用“零件的最小尺寸”这一术语旨在包括“线条最小宽度”和“线条间的最小间隙”之类的术语。“线条最小宽度”是指最窄线条的宽度。“线条间的最小间距”是指线条间最窄间隙的宽度。
掩模一种制造用具，受到电子射线的照射时使这些射线绘制布线图案，最后根据较低和较高的电子强度在影像平面(通常是加工中器件的表面)上产生影像。
过去大家在加速电子的应用方面是下了很大的功夫的。这些努力继续发展，迅速发展到用电子束直接书写的技术。这种技术的特点是生产率较低，预料满足不了试生产先进器件的愿望。缓和这个问题的一个办法是用两块分别开有矩形切口的板调节电子束的偏转过程，从而在一次照射的过程中改变待照射的矩形部位。但这种方法并不能满足生产布线图案细致且/或复杂的器件时良好生产率的愿望，原因在于，随着所加工的器件布线图案的细致和复杂化，从器件布线图案划分出来的矩形照射方式的数目大增。
另一种制造方法依靠电子束对透明衬底上绘制成布线图案的重复式掩模的照射。这种重复式掩模的布线图案供照射一套重复式的附属布线图案，例如器件中心部分相同组件阵列的一部分。这样做可以减少被照射部位所需的照射次数。1999年12月18日专利权授予中岛等人的美国专利US-A 6,007,949就公开了这类掩模的制造方法。该专利用电子束直接书写法暴露非重复式的一组附属布线图案，例如器件周边的一组组件。
为限制在透明衬底上可绘制成布线图案的掩模的数目，限制了透明衬底的大小。因此，通常的作法是求出器件供优先制取掩模数量有限的重复式各布线图案组的数据。
图3示出了器件布线图案的一部分。此器件布线图案包括多个重复式附属布线图案和一个非重复式附属布线图案，重复式附属布线图案各自的四周围是一个矩形方框P2，非重复式附属布线图案的四周围是一个矩形方框P1。可以看到矩形方框P1内最小零件的大小小于矩形方框P2内的。按照一般作法，矩形方框P2内布线图案的数据用来制造掩模，矩形方框P1内的布线图案用电子束直接书写法使其外露。若矩形方框P1中较细的布线图案用电子束直接书写法使其外露，则要避免各线条之间短路和各线条断线是非常困难的。
因此，本发明的目的是提供一种用电子束照射形成器件布线图案影像的方法，从而可以高度精确地暴露器件布线图案的非重复式细致的附属布线图案组。
本发明提供的通过电子束照射形成器件布线图案影像的方法包括下列步骤制取器件布线图案具有多个成行成列配置的方框的方框图，各方框界定器件布线图案的附属布线图案和各方框的附属布线图案，两者一起界定整个器件的布线图案；确定方框图中各方框附属布线图案的最小零件尺寸；根据各方框附属布线图案的最小零件尺寸确定各方框的优先次序；根据优先次序求出其中之一方框的附属布线图案；在掩模上形成求得的附属布线图案；和通过求出的设在掩模上的附属布线图案进行电子束照射，形成所求出的附属布线图案的影像。
参看附图从下面的说明可以进一步理解本发明。附图中
图1是制造中器件的器件布线图案连同例举的一部分方框图的顶视图；图2示出了图1的方框图，其中给出了各方框的优先次序；图3是与图1类似的视图，但举例说明的是一般电子束照射系统的基本原理。
参看图1和图2。图1是制造中的器件一部分器件布线图案的顶视图。
器件布线图案数据的矩形方框图由一个计算机产生。方框图的许多方框B成行成列排列，各方框由线条L界定。各方框界定器件布线图案的附属布线图案，所有方框的附属布线图案一起界定整个器件布线图案。在此实例中，各矩形方框的大小相当于一次电子束照射过程中受照射部位的大小。
计算机确定方框中各方框附属布线图案最小零件的尺寸。在此实例中，计算机通过沿x和y的方向跟踪各方框的整个附属布线图案确定各方框附属布线图案的最小宽度，从而提供最窄线条的宽度。计算机比较各方框的最小线条宽度，并根据图2所示的比较结果考虑到最小线条宽度给各方框B提供优先次序。图2中，数字1至5表示优先次序。换句话说，数字1表示最小的最小线条宽度，数字5表示最大的最小线条宽度。
计算机根据优先次序求出各方框的其中一个附属布线图案(即图2中方框B1内的附属布线图案)，并用一般掩模制造方法在一个掩模上形成求出的附属布线图案。电子束照射系统通过所求出的设在掩模上的附属布线图案进行照射，形成所求出附属布线图案的影像。
按照这种制造方法，器件布线图案的所述部分设在掩模上固定，从而可以最大限度地减少尺寸上的误差。
在制造对象为各线条间的间隙窄的存储单元的情况下，确定优先次序时应用各线条间的最小间隙取代最小线条宽度。经如此修正之后，可以制造出清晰度优异的最小间隙狭窄的器件布线图案。
若器件布线图案的一个零件最小线条宽度最狭窄且在多个方框上延伸开，则计算机可能求出此零件的数据作为附属布线图案。
上面已结合一个最佳实施例详细说明本发明，但本技术领域的行家们都知道，根据上述说明是可以就上述实施例提出许多方案并进行种种修改和更改的。因此，由于这些方案、修改和更改均属于本发明的实际范围和精神实质，因而所附的权利要求书包括这些方案、修改和更改。
权利要求
1．一种通过电子束照射形成器件布线图案影像的方法，包括下列步骤产生器件布线图案的方框图，方框图具有许多成行成列排列的方框，各方框界定器件布线图案的附属布线图案和各方框的附属布线图案，两者在一起界定整个器件的布线图案；确定方框图中各方框附属布线图案的最小零件尺寸；根据各方框附属布线图案的最小零件尺寸给各方框提供优先次序；根据优先次序求出其中一个方框的附属布线图案；在掩模上形成所求出的附属布线图案；和通过掩模上形成的所求出的附属布线图案进行电子束照射，形成所求出的附属布线图案的影像。
2．如权利要求1所述的方法，其特征在于，最小零件尺寸是最小的零件的大小。
3．如权利要求1所述的方法，其特征在于，最小零件尺为各零件之间最小间隙的大小。
4．如权利要求1所述的方法，其特征在于，最小零件尺寸为最小线条宽度。
5．如权利要求1所述的方法，其特征在于，最小零件尺寸为各线条之间的最小间隙。
全文摘要
一种通过电子束照射形成器件布线图案影像的方法,首先产生器件布线图案的矩形方框图,其中有许多排列的方框,各方框界定器件布线图案的附属布线图案和各方框的附属布线图案,两者一起界定整个器件的布线图案。接着,确定各方框附属布线图案最小零件的尺寸,再据此提供优先次序,并求出其中一个方框的附属布线图案,在掩模上形成求得的附属布线图案,通过掩模上形成的求得的附属布线图案进行电子束照射,从而形成所得出的附属布线图案的影像。
文档编号H01L21/027GK1287380SQ0012636
公开日2001年3月14日 申请日期2000年9月7日 优先权日1999年9月7日
发明者小日向秀夫 申请人:日本电气株式会社