发光器件的制作方法

专利名称：发光器件的制作方法
技术领域：
本发明涉及制备发光器件的方法，所装备的发光元件具有有机化合物组成的层(以下称其为有机化合物层)，特别涉及多色彩显示功能。
背景技术：
在自发光型显示器件中采用的发光元件的有机化合物层是介于一对电极之间，由于它具有宽范围的视角和良好的可视性，作为下一代显示器件是具有吸引力的。
发光元件的发光机制是这样一种现象，空穴从一对电极中的阳极注入，而电子从一对电极中另一个电极也就是阴极注入，在一个荧光有机化合物层(发光层)中重组并形成电子空穴对，这种电子空穴对在电子空穴对恢复原状时会发光。这种发光现象被称为电致发光。电致发光包括荧光和磷光，也就是在受激状态下由单一态发光(荧光)以及由三态发光(磷光)。由于发光产生的亮度范围从数千到数万cd/cm2，理论上能够被用做显示器件。
在这种发光元件中，通常是用小于1μm的薄膜形成一个有机薄膜。另外，由于发光元件是由有机薄膜本身发光的一种自发光型元件，不需要提供常规液晶显示器所使用的背景光。因此而具有的极大优点是很容易将发光元件制作成极其轻薄。
另外，在高分辨率影像显示器中采用了一种没有任何交扰的被称为有源矩阵驱动的方法，为每一个象素点阵上提供一个薄膜晶体管(TFT)，并且能控制发光元件独立发光。
作为彩色显示方法，已知有这样一种方法，发光层的材料或是添加剂有所不同，并且排列成各个象素按不同的红、绿、蓝色发光，还有一种方法是采用发白色光的发光元件，并且与彩色滤光器一起使用。
然而，如果在各个象素中有发光元件，若要单独形成彩色滤光器和象素矩阵，就需要高精度对准并且精确装配，如果对准精度低，就会出现实际孔径效率降低的问题。
当然还要考虑到在TFT衬底的制作步骤中要按照相同的对准精度制作彩色滤光器的彩色层。然而，由于耐热温度大约是200℃，无法承受TFT中大约450℃的处理温度。
另外，在形成彩色滤光器的彩色层时使用的彩色材料是一种极其昂贵的材料，TFT步骤和彩色滤光器步骤中的处理总地来说都会影响到制造成本的增加，因而不可取。

发明内容
本发明能够解决这一问题，本发明的目的是提供一种发光器件，它能够实现高分辨率并降低制造成本。
为了解决上述问题，本发明的配置是一种发光器件，它具有衬底上的TFT，彩色滤光器的彩色层和一个发光元件，在一对电极之间形成具有萤光性质的一个有机化合物层，彩色滤光器的彩色层被形成在由TFT上的无机或有机材料构成的一个绝缘薄膜的平面上，并且通过相应的彩色层使发光元件发出光线。
按照本发明，要形成由覆盖在衬底上形成的TFT的无机或有机材料构成的一个平坦绝缘薄膜，在绝缘薄膜的平面上提供彩色滤光器的彩色层，在彩色层上提供一个发光元件，其中在一对电极之间形成具有发光性质的有机化合物层。通过有关的彩色层照射发光元件的射线。
按照本发明，由覆盖在衬底上形成的TFT的无机或有机材料构成一个平坦绝缘薄膜，在绝缘薄膜的平面上提供彩色滤光器的彩色层，在彩色层上提供一个发光元件，其中在一对电极之间形成具有发光性质的有机化合物层，通过穿透绝缘薄膜和彩色层的导线用电路连接TFT和发光元件，并且通过相应的彩色层使发光元件发出光线。
按照本发明的一个象素部是这样形成的，将发光元件和TFT排列成矩阵形状，发光元件中具有发光性质的有机化合物层处在一对电极之间，使得对应着各个象素形成的彩色滤光器的彩色层接触到发光元件和TFT之间的无机或有机材料构成的平坦绝缘薄膜的平面，相邻彩色层的边界区与栅极信号线或用来向TFT发送信号的数据线有重叠。
按照本发明的一个象素部是这样形成的，将发光元件和TFT按矩阵形状排列，发光元件中具有发光性质的有机化合物层处在一个半透明电极和一个不透明电极组成的一对电极之间，使得对应着各个象素形成的彩色滤光器的彩色层接触到发光元件和TFT之间的无机或有机材料构成的平坦绝缘薄膜的平面，相邻彩色层的边界区与栅极信号线或用来向TFT发送信号的数据线有重叠，而半透明电极与彩色层内部的层有重叠。
用诸如氧化硅或聚酰亚胺，聚丙烯等无机绝缘薄膜形成一个无机或有机材料构成的平坦绝缘薄膜。可以在这一平坦绝缘薄膜上面形成彩色层，或是可以在二者之间插入一个氮化硅无机绝缘薄膜。在彩色滤光器的彩色层上面形成作为独立电极的每象素一个的半透明电极(阳极)。还可以在这一半透明电极(阳极)和彩色层之间形成氮化硅薄膜等无机绝缘薄膜。
在发光元件中可以将这一半透明电极(阳极)作为一个电极，而在上层形成与该半透明电极(阳极)相对的另一电极，构成一个层叠的有机化合物层。将其置入发光元件的构造，从半透明电极(阳极)侧面照射射线。换句话说，可以使光穿过彩色滤光器的彩色层向外射出。
相邻彩色层的边界区是处在这样的位置，它与布置在各象素部中的栅极信号线或数据线重叠，可以利用导线构成遮光薄膜，这样能够提高孔径效率。
有机化合物层是在其中将位于阳极一侧的空穴注入输送层或位于阴极一侧的电子注入输送层和一个发光层加以适当组合的一种构造。值得注意的是空穴注入输送层或电子注入输送层对来自一个电极的空穴或电子的注入效率和输送特性(迁移性)是极为重要的，另外，发光电子注入输送层还可以具备作为发光层的功能。
用来形成各个层的有机化合物可以是公知的短链有机化合物和聚合物分子有机化合物。公知可作为空穴注入输送层的短链有机化合物的例子有α-NPD(4，4’-bis-[N-(naphtyl)-N-phenyl-amino]biphenyl)，它是一种cupper phthalocyanine(CuPc)芳香族氨基材料，以及MTDATA(4，4’，4”-tris(N-3-methylphenyl-N-phenyl-amino)triphenylamine)，公知可作为发光电子注入输送层的材料有tris-8-quinolinolato aluminum complex(Alq3)等等。公知可作为聚合物分子有机发光材料的物质有polyaniline，polythiophene衍生物(PEDOT)等等。
作为彩色滤光器的彩色层是在树脂粘合剂中散布一种染料，并且用涂敷方法形成，然后用曝光步骤形成预定的图形。在这种情况下，可以按高对准精度来布置各个彩色层，在无机或有机材料构成的平坦表面上形成每一种颜色滤光器的彩色层。
另外，对于用水溶性碱显影剂形成构图的彩色层，如果在平坦绝缘层上形成接触孔之前布置这些碱性成分，染料，模具等等，半导体薄膜就不会受到污染。
另外，本发明在平坦薄膜和彩色层之间插入一层无机绝缘薄膜例如是氮化硅，这样能防止彩色层中包含的染料成分弥散到TFT一侧。本发明还在半透明电极(阳极)和彩色层之间形成一层无机绝缘薄膜例如是氮化硅，这样能防止彩色层中包含的染料成分弥散到发光元件一侧。
另外还可以抛光并平整彩色滤光器的彩色层表面。这样就能提高彩色滤光器的产量并同时提高半透明电极(阳极)表面的平整度，并能够防止发光元件短路。
在任何情况下都可以在这一阶段对彩色层执行销孔测试，因为彩色滤光器的彩色层是形成在平坦层的上面，如果不能达到预定的标准，就剥离这一彩色层重来。剥离方法可以是用溶剂清洗，或是采用机械抛光和切除。在任何情况下，由于平坦的薄膜还在，重新加工不会损伤TFT。
附图简介

图1的剖面图表示本发明装有彩色滤光器彩色层的一种发光器件的构造；图2的剖面图表示本发明装有彩色滤光器彩色层的发光器件的制造步骤；图3的剖面图表示本发明装有彩色滤光器彩色层的发光器件的制造步骤；图4的剖面图表示本发明装有彩色滤光器彩色层的发光器件的制造步骤；图5的顶视图表示一个发光器件的构造；以及图6的顶视图表示本发明装有彩色滤光器彩色层的发光器件中一个象素的构造。
最佳实施例的说明以下要参照附图具体说明本发明的实施例。在图5中表示发光器件的一种形式，在图中表示的一个衬底900上具有象素部902，栅极信号侧驱动电路901a，901b，数据信号线侧驱动电路901c，输入和输出端子部935和一条或一组导线917。密封图形940可以和栅极信号侧驱动电路901a，901b，数据信号线侧驱动电路901c和连接到相关驱动电路部和输入端子的一条或一组导线917有重叠。这样就能缩小显示面板帧区域的面积(象素部的外围区域)。一个FPC936被连接并固定在外部输入端子部上。
在象素部902中为每个象素提供一个TFT和一个发光元件，并且将它们排列成矩阵形状的构造。图6表示象素的顶视图。应该注意到在图6中为了解释而省略了在其中形成发光元件的各个层和阻挡层。
在图6中，R象素10，G象素20和B象素30的阵列就是象素阵列的一个例子，它代表一个R(红)，G(绿)和B(蓝)的彩色显示器。在各个象素中具有通过导线110-112连接到半透明电极(阳极)113-115的TFT13，23和33。彩色滤光器(R滤光器107，G滤光器108，B滤光器109)的彩色层107-109位于栅极信号线(扫描信号线)102-104上面，设在数据信号线11，12，21，22和31的下层一侧。而各个相邻彩色层的边界区与栅极信号线和数据信号线有重叠。另外，半透明电极113-115与各个彩色层107-109内部层有重叠。在图1中表示了按照这种象素结构沿线A-A’提取的纵向截面图。
在图1中，在R象素10，G象素20和B象素30之间设有TFT13，23，33及发光元件15，25和35，并且形成由无机或有机材料构成的平坦绝缘薄膜105。平坦绝缘薄膜105具有平坦的表面，在表面上形成彩色滤光器的彩色层107-109。作为彩色滤光器的彩色层的染料或颜料已经用涂敷方法被散布到树脂粘合剂中，并且用曝光步骤形成预定的图形。
具有阻挡层性质的氮化硅绝缘薄膜106预先被形成在彩色层107-109和平坦绝缘薄膜105之间。这样就能防止彩色层中所含的染料成分弥散到TFT一侧。另外，在用碱性含水显影剂执行构图时，本发明能够防止下层的平坦绝缘薄膜105和TFT受到碱性成分的损伤。此外，在无机或有机材料构成的平坦表面上形成每一种颜色彩色滤光器的彩色层，可以按高对准精度来排列各个彩色层。应该注意到具有阻挡层性质的绝缘薄膜在此具有阻挡离子杂质，潮气，金属杂质，碱金属等等并防止其扩散的功能。
另外形成一个用氮化硅，氮氧化硅，氮化铝和氮氧化铝当中选出的材料构成的无机绝缘薄膜103。本发明借此就能防止彩色滤光器的彩色层成分弥散到TFT内。
发光元件15，25和35是这样的元件，在其中具有发光性质的有机化合物层118被形成在半透明电极(阳极)113-115和不透明电极(阴极)119之间。半透明电极(阳极)113-115是用诸如铟锡氧化物(ITO)，氧化锌(ZnO)，铟锌氧化物(IZ0)等半透明导电薄膜利用电阻加热蒸镀形成的。不透明电极(阴极)118是用碱金属或碱土金属的氟化物形成的。
有机化合物层可以有各种各样的构造，但是要组合成空穴注入输送层位于阳极一侧而电子注入输送层位于阴极一侧的结构。值得注意的是空穴注入输送层或电子注入输送层对来自一个电极的空穴或电子的注入效率和输送特性(迁移性)是极为重要的，另外，发光电子注入输送层还可以具备作为发光层的功能。
尽管可以用一片或多片有机材料形成这些有机发光介质或各个有机层，也可以用有机发光材料和一种具有电子注入输送性质或空穴注入输送性质的材料的混合物，一种散布有有关的混合物或有机发光材料或是金属复合物的聚合物分子材料来构成。
用来形成各个层的有机化合物可以是公知的短链有机化合物和聚合物分子有机化合物。公知可作为空穴注入输送层的短链有机化合物的例子有α-NPD(4，4’-bis-[N-(naphtyl)-N-phenyl-amino]biphenyl)，它是一种cupper phthalocyanine(CuPc)芳香族氨基材料，以及MTDATA(4，4’，4”-tris(N-3-methylphenyl-N-phenyl-amino)triphenylamine)，公知可作为发光电子注入输送层的材料有tris-8-quinolinolato aluminum complex(Alq3)等等。公知可作为聚合物分子有机化合物材料的物质有polyaniline，polythiophene衍生物(PEDOT)等等。
如果发光层是用聚合物分子有机化合物材料形成的，就采用π共轭系统材料。有代表性的材料例如有polyparaphenylenevinylene(PPV)材料，polyvinylcarbazole(PVK)材料，polyfluorene材料等等。具体地说，R象素可以采用cyanopolyphenylenevinylene，G象素可以采用cyanopolyphenylene vinylene，而B象素可以采用cyanopolyphenylene vinylene或polyalkylphenylene。应该注意到以上材料仅仅是能够用于发光层的一些例子而不仅限于这些。当然也可以用发射白色光的材料形成发光层。
获得白色射线的方法包括以下方法，将用来发射三原色R(红)，G(绿)和B(蓝)各种颜色的发光层加以层叠并且执行颜色的加色混合，还有一种方法是利用两种互补颜色的关系。在采用互补颜色的情况下，蓝-黄或蓝绿-橙的组合是公知的。考虑到它的特殊性，后一种更加有利，因为这一波长范围的射线具有比较高的视觉敏感性可供利用。
发射白光的一种发光元件具有这样的结构，其中的电子注入输送层，红色发光层，绿色发光层，空穴输送层，蓝色发光层和第二电极被层叠在一对阴极和阳极之间。空穴输送层采用1，2，4-triazole衍生物(p-EtTAZ)，绿色发光层采用tris-8-quinolinolato aluminumcomplex(Alq3)，而发射蓝-绿色光的蓝色发光层采用蓝色TPD和绿色Alq3的混合物。为了在这种射线中添加红色而获得白色光线，对于红色发光层可以向红色发光染料中掺杂Alq3或TPD。对于红色发光染料可以采用Nile红。
在另外的其它构造中可以形成电子注入输送层，电子输送层，发光层，空穴输送层和空穴注入输送层。在这种情况下，参照适当材料的组合，对电子注入输送层采用Alq3，用phenylanthracene衍生物形成电子输送层。发光层是用第一和第二发光层层叠而成的，第一发光层是按1∶3的体积比例混合tetraarylbenzidine衍生物和phenylanthracene衍生物，并且含有3％体积的苯乙烯基胺衍生物，第二发光层是按1∶3的体积比例混合tetraarylbenzidine衍生物和10，10’-bis[2-bephenylyl]-9，9’-bianthryl(phenylanthracene衍生物)，并且含有3％重量的naphthacene衍生物。用N，N，N’，N’-tatrakis-(3-biphenyl-1-yl)benzidine(tetraarylbenzidine衍生物)形成空穴输送层，用N，N’-diphenyl-N，N’-bis[N-phenyl-N-4-tolyl(4-aminophenyl)]benzidine形成空穴注入层。
另外，对于其它构造是这样配置的，电子注入输送层采用电子输送性质很高的Alq3，在上面采用聚合物分子有机发光介质，并且用TAZ和PVK(poly(N-vinylcarbazole))形成一个层，将其制成三层结构。在PVK中发生注入的电子和空穴的重组，在短波长上具有峰值的咔唑族受激发光。如果为了增加长波长光的发射，可以在其中掺杂适当的染料就能获得白色射线。例如，掺杂2-3mol％的1，1，4，4-tetraphenyl-1，3-butadiene(TPB)就能获得450nm的射线，掺杂香豆素6和DCM1还能获得绿色和红色。无论如何，为了获得白色射线，可以在PVK中掺杂各种染料来覆盖整个可见光区域。在这一结构中，对电子注入输送层203也可以采用无机电子注入输送层。无机电子注入输送层可以采用已经形成n-型的金刚石碳(DLC)。为了使DLC薄膜形成n-型，可以在其中掺杂适量的磷。除此之外也可以采用从碱金属元素，碱土金属元素和镧族元素中选出的一种氧化物和从Zn，Sn，V，Ru，Sm和In中选出的一或多种无机材料。
另外，对于其它构造也可以这样来配置，形成仅仅由4，4’-bis-[N-(naphtyl)-N-phenyl-amino]biphenyl(α-NPD)构成的空穴注入输送层，并且在上面由α-NPD和具有电子输送特性的BAlq材料的混合物形成一个发光层，在上面形成仅仅由BAlq构成的电子注入输送层。由于这一发光层发射蓝色光，就形成了作为第二发光材料的区域，在其中添加了rubrene黄色萤光染料。这样就能获得白色光线。
无论如何，为了使白色光线和多彩显示在视觉特性上具有较高的质量，就必须要考虑彩色平衡，要优化组合发射各种光的有机发光元件和彩色滤光器。此外，考虑到发光亮度会随时间改变，还需要对驱动电路做适当的改变。
一种方法是利用两种附加互补颜色的关系，因为蓝-黄色或蓝绿-橙色是最常用的，但存在一个问题，由于发射各种颜色光的有机发光元件随时间改变所致的劣化会打破彩色平衡。另外，由于各个有机发光元件的发光效率不同也会产生问题，如果采用相同的驱动电压或驱动电流，就会打破彩色平衡。
有这样一种方法是改变彩色滤光器的彩色层厚度并控制发光量，还有一种方法是改变象素的面积并控制发光量。然而，如果改变了彩色层的厚度，就需要按若干μm的比例改变其厚度。如果相对的衬底是固定的，就需要加厚平坦的薄膜，或是加厚密封件的厚度，在这种情况下就可能会有损于密封结构的可靠性。另外，如果改变象素面积，由于对TFT的布置及其尺寸有限制，会带来无法有效利用该面积的负面影响。
阻挡层116是用来隔离相邻象素的层，并且能防止在发光元件的半透明电极113-115端部的短路故障。适合这一形式的有机化合物层的构造是这样一种构造，在已经形成了含发光层的有机化合物层118的整个表面上涂敷导电聚合物117例如是PEDOT/PSS等等。在这种情况下，使导电聚合物117的厚度在上部变薄，它是因阻挡层116在阻挡层116的端部(也就是阻挡层与半透明电极的接触部位)加厚所致的。这样，阻挡层上部的横向电阻就会很高，能够避免交扰。进而，由于其在有关的端部被加厚，电场积聚被释放，这样就能避免象素端部的劣化。然而在此处采用了诸如PEDOT/PSS等导电聚合物，这样就能改善空穴注入特性并提高发光效率。
对于发光元件15，25和35，导线110-112穿透彩色层107-109和平坦的绝缘薄膜105，106，并且分别连接到TFT13，23和33。
另外，在不透明电极119上用氮化硅或金刚石状碳覆盖一层保护膜120，氢化或卤化非晶碳(a-C∶H)薄膜，非晶硅(a-Si)薄膜，金刚石状碳(DLC)薄膜，非晶氮化硅薄膜等等，这些覆盖薄膜是用等离子体CVD方法形成的，其缺点可以通过用等离子体中的氢化物或卤化物使有机化合物层氢化或卤化来补偿，同样可以达到稳定。
发光元件发出的光穿过彩色滤光器的彩色层从衬底101射出，并且能够用视觉识别。可以采用各种衬底，只要发射的光能透过衬底。半透明玻璃例如是常用的无碱玻璃是最好的玻璃，也可以使用表面覆盖有氧化硅薄膜的碱性玻璃。如果采用塑料，可以用polyethlenenaphthalate(PEN)，polyethylene terphthalate(PET)，polyethersulfone(PES)，半透明聚酰亚胺等等。此外也可以采用透明陶瓷例如是半透明铝，ZnS烧结体等等。衬底的形式可以随板的形状，薄膜形状和片材形状而改变，也可以有单层结构或层叠结构。
在具有发光特性的有机化合物层发光时，光谱在很宽的波长范围上分布，而彩色纯度降低。为了对此进行校正，可以利用彩色滤光器增强彩色纯度。自不必说，如果发光元件发射白光，利用彩色滤光器就能制成彩色显示器。另外，按照图5所示的形式，提供彩色滤光器还能防止象素因不透明电极反光而变成镜面。
图4表示一个例子，其中在图1所示构造的彩色层107-109上形成了具有阻挡性质的绝缘层121。由于在彩色层上形成了具有阻挡性质的绝缘层121，彩色层在后续步骤中不易被划伤，并且能防止因染料成分弥散到发光元件中造成元件劣化。
另一方面，在彩色滤光器的彩色层表面的边界区，细微突起和彼此相邻的彩色层是重叠的，比其它区域要厚，并且形成凸出部。特别是如果在发光元件形成区也就是象素表面内有这种凸出部，就会出现诸如短路，黑斑缺陷等等不利现象，特别是在凹制成高分辨率显示屏幕的情况下，这些都是导致显示质量降低的因素。
图2A表示的状态是已经用无机或有机绝缘材料和具有阻挡特性的绝缘薄膜106在平坦绝缘薄膜105上面形成了彩色层107-109，已经形成了上述的突起和凸出部。为了消除上述的突起和凸出部，在消除彩色层之后需要利用机械抛光和采用泥浆的化学机械抛光消除这些突起和凸出部，图2B表示抛光后的状态。
在这种状态下执行测试来检测彩色层的销孔，裂缝，凹槽和图形偏差等等，并且选出次品重新加工。
接着如图3A所示，用高频旋涂方法以硅做靶子形成用氮化硅制成的具有阻挡特性的无机绝缘薄膜121。形成这一氮化硅薄膜就能防止彩色层内所含的染料等杂质弥散到发光元件的有机化合物层中，以免元件特性发生劣化。
图3B表示的状态是已经形成了构造与图1类似的发光元件，区别是在诸如PEDOT/PSS等导电聚合物117上面形成的含发光层的有机化合物层118可以单独形成发射红色光的有机化合物层130，发射绿色光的有机化合物层131和发射蓝色光的有机化合物层132。要注意不透明电极(阴极)119和保护薄膜120与图1中相同。
如上所述，按照本发明是在衬底上整体组合了TFT，彩色滤光器和发光元件而制成一个发光器件，加工过程中的最高温度是600℃，作为TFT构造元件的半导体层在这一温度下结晶，或者是350-450℃，在这一温度下完成氢化作用，也就是在形成平坦薄膜之前完成。这样就能毫无问题地制备热阻只有200℃的彩色滤光器的彩色层。另外还能提供一种制造成本低的高分辨率发光器件，不用将TFT步骤和彩色滤光器步骤集中在一起。
权利要求
1.一种发光器件，包括薄膜晶体管；彩色滤光器的彩色层；一对电极；以及设在上述电极之间的发光元件，它包括有机化合物构成的发光层，彩色滤光器的上述彩色层被形成在上述薄膜晶体管上层中由无机或有机材料构成的组中选出的一种材料构成的一个绝缘薄膜的平面上，并且通过上述彩色层使上述发光元件的光线射出。
2.一种发光器件，包括设在衬底上的薄膜晶体管；覆盖上述薄膜晶体管并且由无机或有机材料构成的组中选出的一种材料构成的一个平坦绝缘薄膜；设在上述绝缘薄膜上面的彩色滤光器的彩色层；以及在上述彩色层上面设在一对电极之间的一个发光元件，它包括有机化合物构成的一个发光层，其中，通过上述彩色层使上述发光元件的光线射出。
3.一种发光器件，包括设在衬底上的薄膜晶体管；覆盖上述薄膜晶体管的一个平坦绝缘薄膜，它是由无机材料和有机材料构成的组中选出的一种材料制成；设在上述绝缘薄膜上面的彩色滤光器的彩色层；以及在上述彩色层上面的一个发光元件，它包括由设在一对电极之间的有机化合物构成的一个发光层，其中，通过穿透上述绝缘薄膜和上述彩色层的导线相互连接上述薄膜晶体管和上述发光元件，并且其中，通过上述彩色层使发光元件的光线射出。
4.一种发光器件，其中按矩阵形状设在象素部内的一个薄膜晶体管和一个发光元件，上述发光元件包括一个发光层，它是由设在一对电极之间的有机化合物构成的；使对应着各个象素形成的彩色滤光器的彩色层接触到上述发光元件和上述薄膜晶体管之间的无机材料和有机材料构成的组中选出的一种材料构成的平坦绝缘薄膜的平面，其中，相邻彩色层的边界区与栅极信号线或用来向上述薄膜晶体管发送信号的数据信号线有重叠。
5.一种发光器件，其中在一个象素部中按矩阵形状形成一个薄膜晶体管和一个发光元件，上述发光元件中由有机化合物构成的发光层处在一个半透明电极和一个不透明电极之间；使对应着各个象素形成的彩色滤光器的彩色层接触到上述发光元件和上述薄膜晶体管之间的无机材料和有机材料构成的组中选出的一种材料构成的平坦绝缘薄膜的平面，其中，相邻彩色层的边界区与栅极信号线或用来向上述薄膜晶体管发送信号的数据信号线有重叠，并且其中，上述半透明电极与上述彩色层的内侧有重叠。
全文摘要
考虑到TFT衬底的制作步骤，彩色滤光器层是按照相同的对准精度制备的。然而，由于其耐热温度大约是200℃，不能承受TFT大约450℃的加工温度。将发光元件和TFT排列成矩阵形状而形成象素部，在一个半透明电极和一个不透明电极构成的一对电极之间形成发光元件的具有发光特性的有机化合物层，使对应着各个象素形成的彩色滤光器的彩色层接触到发光元件和TFT之间由无机或有机材料构成的平坦绝缘薄膜的平面，相邻彩色层的边界区与栅极信号线或用来向TFT发送信号的数据信号线有重叠，并且半透明电极与彩色层的内侧有重叠。
文档编号H01L27/32GK1438827SQ03103860
公开日2003年8月27日 申请日期2003年2月13日 优先权日2002年2月13日
发明者山崎舜平 申请人:株式会社半导体能源研究所