专利名称：识别码的激光标记方法及装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种识别码的激光标记方法及装置，更详细地，涉及一种在液晶板的制造过程中用激光束将用于履历管理或质量管理等的识别码曝光在光敏抗蚀剂(photoresist)涂敷基板上，或者同样地将识别码刻印在晶片等基板上的激光标记方法及装置。
背景技术：
一般地，液晶板的制造过程分别用紫外线用图像曝光装置将电路图形、用识别曝光装置将基板识别码或面板识别码等、以及用周边曝光装置将基板周边部分的不要的抗蚀剂部分曝光在将预定的光敏抗蚀剂涂敷在了玻璃基板上的光敏抗蚀剂涂敷基板上，用显像装置将这些已曝光过的基板显像。上述识别码为每个制造过程的履历管理或质量管理的信息，一般使用二维代码或文字。
以前，作为识别码的激光标记装置，我们已知日本专利特开平11-231547号公报或特开平11-271983号公报所公开的装置。该激光标记装置通过用电流计扫描设备等扫描设备二维摆动激光振荡器输出的激光束将文字或图形等标记照射到对象物上。但是，该激光标记装置标记时要花费很多时间，而且由于用电流计扫描设备扫描的激光束的位置精度不好，因此存在容易引起识别码的读取误差的问题。
即，以往的激光束扫描装置由于只使用电流计扫描设备，因此电流计扫描设备的定位精度粗糙。其结果如图6所示，构成二维代码的圆点的位置产生散乱，读取二维代码时容易出现误差。而且，标记所需要的时间受电流计扫描设备的动作时间左右，电流计扫描设备从1个圆点到下一个圆点的动作时间一般为数msec，要标记完所有的识别码要花很长的时间。
发明内容
本发明的目的就是要提供一种在读取识别码时不会引起读取错误并且能够缩短标记所有的识别码所需的时间的激光标记方法及装置。
为了达到上述目的，本发明的识别码激光标记方法，在用至少1个声光光偏向器使从激光振荡器输出的激光束在水平面和垂直面的至少1个平面上扫描，用圆点按时间序列形成由一维和二维中的至少一方构成的标记后，用电流计扫描设备以使该标记在基板上二维扫描的方式进行照射。
并且，为了达到上述目的，本发明的识别码激光标记装置，包括激光振荡器；至少1个声光光偏向器，使从激光振荡器输出的激光束在水平面和垂直面的至少1个平面上扫描，用圆点按时间序列形成由一维和二维中的至少一方构成的标记；至少1台以使上述标记在基板上二维扫描的方式照射的电流计扫描机构。
像上述那样，通过用声光光偏向器使激光束在水平面和垂直面中的至少一个平面上扫描，能够提高构成识别码的圆点的位置精度，而且还使高速标记成为可能。
声光光偏向器能够与施加到其上的电气信号的频率相对应使激光束偏向，因此其偏向角度的精度比电流计扫描设备的精度高。并且，声光光偏向器的偏向动作可以以数nsec到数μsec的数量级的高速向下一个偏向角度切换。该声光光偏向器的设置数可以是1个，但最好2个组合使用。通过这样组合2个声光光偏向器，能够作成任意复杂的文字或图案。
并且，如果在声光光偏向器与电流计扫描机构之间设置修正电流计扫描机构扫描产生的焦距的偏差的聚焦机构，使该聚焦机构的透镜与电流计扫描设备的扫描动作同步，则能够进一步提高构成识别码的圆点的位置精度。
并且，如果设置多个电流计扫描机构，则可以使电流计扫描设备的扫描范围为多个。
本发明除用于在液晶板制造过程中利用激光束将履历管理和质量管理等的识别码曝光在光敏抗蚀剂涂敷基板上外，同样可以用于将识别码刻印在晶片等基板上的激光标记。
发明效果如果采用上述那样的本发明，虽然由于电流计扫描设备的位置精度的关系二维代码本身依然存在在标记对象物上的标记位置精度的问题，但由于构成二维代码的圆点由XY二轴的声光光偏向器形成，因此在二维代码内部圆点的位置不会散乱，能够标记读取概率好的二维代码。并且，用以往的电流计扫描设备标记圆点时，从标记1个圆点到标记下一个圆点的时间快也要数msec，而如果采用本发明，由于采用用声光光偏向器按时间序列标记圆点的方法，从标记1个圆点到标记下一个圆点的时间慢也只需数μsec，因此可以比以往的方法快千倍。
附图的简要说明
图1表示本发明的激光标记装置的实施形态的透视2表示本发明的激光标记装置的其他实施形态的透视3表示本发明的激光标记装置的再其他的实施形态的透视4表示激光束射入、射出本发明使用的声光光偏向器的状态的透视5表示用本发明的激光标记装置使激光束在基板上二维扫描形成的标记的例子的示意6表示用以往的激光标记装置使激光束在基板上二维扫描形成的标记的例子的示意图本发明的实施形态下面参照图示的本发明的实施形态具体地说明。
图1为由本发明的实施形态构成的激光标记装置示例的图。
从激光振荡器1射出的激光束2在调整了预定的光束直径或准直后射入X声光光偏向器3。射入到X声光光偏向器3的激光束2如图4所示，作为受X向施加的电气信号14的频率的作用偏向的激光束4射出，当然，激光束4不一定非要同时分散成多个光束，可以与X向施加的电气信号14的频率的时间序列的变化相对应，改变其偏向角度。
接着，激光束4射入Y声光光偏向器5，成为受Y向施加的电气信号15的频率的作用偏向的激光束6射出。此时，如果将先前的X声光光偏向器3与Y声光光偏向器5设置成直交的位置关系，Y声光光偏向器5使沿水平方向偏向的激光束4沿垂直方向偏转，由此使激光束6能够沿二维偏转角度。即，通过用2个声光光偏向器3和5控制X向施加的电气信号14和Y向施加的电气信号15，能够用圆点(dot)按时间序列构成任意的文字和图案。其结果如图5所示，能够获得圆点的位置精度极好的二维代码。
通过用X电流计扫描设备7和Y电流计扫描设备8使这样形成的文字或图案标记照射在液晶玻璃基板10的任意位置上，能够标记识别码11。此时，为了调整焦距，可以使用fθ透镜9。
在本发明中，不妨根据必要使用图中的实施形态没有示出的反射镜、透镜、波形板。如果标记可以是一维的，那么即使声光光偏向器是X声光光偏向器3及Y声光光偏向器5中的任何一个也能实现。并且，根据情况，也可以使用1个将X声光光偏向器3和Y声光光偏向器5一体化的二维声光光偏向器。
并且，也可以不使用fθ透镜9而像图2所示的实施形态那样，在X电流计扫描设备7的前面设置物镜13，使修正X电流计扫描设备7和Y电流计扫描设备8扫描产生的焦距的偏差的聚焦透镜12与X电流计扫描设备7和Y电流计扫描设备8的扫描动作同步。
并且，也可以像图3所示的实施形态那样，通过配置多个由X电流计扫描设备7和Y电流计扫描设备8构成的电流计扫描机构作为激光束射出声光光偏向器后的电流计扫描设备，可以使电流计扫描机构的扫描范围为多个。并且，也可以在紧接激光振荡器1之后分支使扫描范围为多个。
权利要求
1.一种识别码激光标记方法，在用至少1个声光光偏向器使从激光振荡器输出的激光束在水平面和垂直面的至少1个平面上扫描，用圆点按时间序列形成由一维和二维中的至少一方构成的标记后，用电流计扫描设备以使该标记在基板上二维扫描的方式进行照射。
2.如权利要求1所述的识别码激光标记方法，上述基板为光敏抗蚀剂涂敷基板。
3.一种识别码激光标记装置，包括激光振荡器；至少1个声光光偏向器，使从激光振荡器输出的激光束在水平面和垂直面的至少1个平面上扫描，用圆点按时间序列形成由一维和二维中的至少一方构成的标记；至少1台以使上述标记在基板上二维扫描的方式照射的电流计扫描机构。
4.如权利要求3所述的识别码激光标记装置，在上述声光光偏向器与上述电流计扫描机构之间设置了聚焦机构，修正上述电流计扫描机构的扫描产生的焦距偏差。
5.如权利要求3或4所述的识别码激光标记装置，设置了多个上述电流计扫描机构。
6.如权利要求3或4所述的识别码激光标记装置，上述基板为光敏抗蚀剂涂敷基板。
7.如权利要求5所述的识别码激光标记装置，上述基板为光敏抗蚀剂涂敷基板。
全文摘要
一种用至少1个声光光偏向器使激光振荡器输出的激光束在水平面和垂直面的至少1个平面上扫描，用圆点按时间序列形成由一维和二维中的至少一方构成的标记；然后，用电流计扫描设备使该标记在基板上二维扫描这样地照射的识别码激光标记方法和装置。
文档编号H01L21/02GK1508630SQ20031012232
公开日2004年6月30日 申请日期2003年12月16日 优先权日2002年12月16日
发明者森诚树, 常吉豪 申请人:东丽工程株式会社