专利名称：电子部件制作方法和由该方法制作的电子部件的制作方法
技术领域：
本发明涉及具有焊盘栅格阵列(LGA)接线端结构的电子部件，以及制作这些电子部件所用的方法。
背景技术：
日本未审专利申请公开No.2002-217351提出一种包含基板和表面安装部件并有LGA接线端结构的表面安装多功能电子部件。在所述基板的背面或底面上，该基板包括含有二维厚膜电极的接线端电极。将所述表面安装元件安装在所述基板上，并由通孔与连接在所述接线端电极和厚膜电极之间。
为了实现大量制作，通过在母板上形成接线端电极并安装表面安装元件，以制作这类电子部件，然后，再将所述母板分成单独的基板。然而，在一些情况中，希望在把目板分成这些单独的基板之前检测并调整每一个单个基板的特性。
日本未审专利申请公开No.2001-292028中公开一种使用微带线谐振器调整压控振荡器的方法。这种压控振荡器包括设在绝缘基板一面上的带状电极；这在绝缘基板的这一面上的壳体，用以覆盖该带状电极；以及设在该绝缘基板另一面上的接地电极。按照这种调整方法，在形成所述壳体之后，通过使用来自绝缘基板另一面的激光束修整该带状电极，以调整比如频率等特性。
为了调整这些特性，必须使比如用以提供电源电压、用于接地、用于信号输入以及用于信号输出的探针接触这些接线端电极。然而，在母板中难以调整这些特性。由于它的尺寸，每一个探针覆盖了每一个单个基板背面的大部分，所以难以通过激光束照射所需的面积。
图6示出一种在使探针52接触到母板50的接线端电极51的同时，由来自与探针52相同方向的激光束53照射带状线电极54的方法，这种带状线电极54是一种调整电极。附图标记55和56表示接地电极，附图标记57表示表面安装元件，以及附图标记58表示分割线，以将母板50分成单个基板。
有如图6所清楚看到的那样，由于探针52和激光束53之间可能发生干扰，所以仅能以激光束53照射限定区域。因此，难以实行调整操作。此外，由于必须在空闲区域布置带状线电极54，从而减小了设计的灵活性。
发明内容
于是，本发明提供一种用于制作电子部件的方法以及由这种方法制作的电子部件，在所述方法中减小了探针所妨碍的单个基板面积，可以容易地实行调整操作，并且增加了定位调整电极的灵活性。
按照本发明的一方面，一种电子部件制作方法，包括如下步骤准备母板，所述母板中多个单个的基板相互连接，在该母板的底面上，所述母板包括为每个单个的基板独立提供的多个接线端电极；在母板的内层上安装内部电极，该内部电极使每个单个基板的接线端电极与相邻单个基板的相邻接线端电极连接；以及设置在每个单个基板里的调整电极；为了测量特定单个基板的特性，使测量探针与相邻单个基板的相邻接线端电极接触，所述相邻单个基板以其间的相应内部电极与所述特定单个基板的接线端电极连接，并使另一测量探针与该特定单个基板的另一接线端电极或另一相邻单个基板的相邻接线端电极接触；所述另一相邻单个基板以其间的相应内部电极与该特定单个基板的另一接线端电极连接；各探针接触的同时，修整该特定单个基板的调整电极；并将经修整的母板分成单个基板。
按照本发明的另一方面，一种电子部件包括基板；所述基板的底面上沿着该基板的外周布置的多个接线端电极；将经修整的调整电极大致布置在这些接线端电极之间，比如在该基板的中心处；以及内部电极，与各接线端电极电连接；所述基板的侧面露出每个内部电极的横截面，沿着所述基板的侧面布置各接线端电极。
将彼此连接(形成母板)的多个单个基板当中的每一个的接线端电极和相邻单个基板的相邻接线端电极以在其间的母板的内部电极相互连接。所述基板的顶面或底面不露出所述内部电极。例如，通过在其间的通孔将所述端电极连接到所述内部电极。相反，预先在母板的顶面或底面上或者在母板的内层上形成调整电极。
然后，使测量探针与相邻单个基板的相邻接线端电极，而不与拟被修整的单个基板的接线端电极接触。由于接触该探针的相邻接线端电极以在其间的内部电极与拟被修整的单个基板的接线端电极连接，所以，利用所述相邻单个基板的相邻接线端电极，能够测量拟被修整的单个基板的电性能。于是，由于减少了探针所妨碍的拟被修整的单个基板底面面积，所以，当用激光束修整所述调整电极时，在激光束和探针之间不会发生干扰。因此，能增加布置调整电极的灵活性。
无需在母板的顶面或底面上设置调整电极。可以改为在母板的内层上设置这种调整电极。
即使在基板的内层上布置这种调整电极，激光束也能到达所述基板内的调整电极。因此，能修整该调整电极。
当通过切割或者类似方式将所述母板分成单个基板时，使连接该端电极用的内部电极受到分割。然而，由于是在每个单个基板里的内层上设置内部电极，而不是设在基板的顶面上，所以，在切割时能抑制或防止发生电极剥落或者毛口。
探针无需是相邻单个基板的相邻接线端电极，所述相邻单个基板与拟被修整的单个基板相邻。可以使探针接触相邻单个基板的相邻接线端电极，并且使另一探针接触拟被修整的单个基板的接线端电极。换句话说，通过使至少一个探针接触相邻单个基板的相邻接线端电极，能防止在激光束和该探针之间的干扰。
最好沿着每个单个基板的外周布置这些接线端电极。此外，最好在这些端电极之间，比如每个单个基板大致中心处设置调整电极。
通过沿着每个单个基板的外周布置这些接线端电极，能够简化用来与相邻单个基板的接线端电极连接的内部电极。因此，能增加这些连接的可靠性。
由于通过在单个基板的外周设置这些接线端电极，使得在所述单个基板的中心处生成一个空间，从而能够容易地定位该调整电极。
最好在母板的外周处设置边缘，不用作这些单个基板。此外，最好在这些边缘里提供虚拟端电极，这种虚拟端电极以在其间的相应内部电极与相应的相邻单个基板的相邻接线端电极连接。
对于被置于母板的大致中心处的单个基板，由于相邻单个基板存在，所以有如上述那样，能使探针接触这些相邻单个基板的相邻接线端电极。相反，对于位于母板外周处的单个基板，仅在一侧存在相邻单个基板。为应付这种情况，在母板的外周处形成边缘，并以在其间的内部电极把该边缘里所形成的虚拟端电极与相邻单个基板的相邻接线端电极连接。
换句话说，代替接触单个基板的接线端电极，使在该边缘处提供的虚拟端电极接触探针，因此，能测量特性。在这种情况下，同样能防止激光束和探针之间的干扰。
在按照本发明一方面的电子部件中，在基板的底面，沿着该基板的外周布置多个接线端电极，在该基板的大致中心处布置拟被修整的调整电极，并且布置与这些端电极电连接的内部电极，因此，在该基板的侧面露出每一个内部电极的横截面，沿着该基板的侧面布置这些端电极。从而，能实现一种电子部件，在布置调整电极时，使这种电子部件增加灵活性，并能以高精度调整。
因此，仍然处于母板情况下被连接每个单个基板的接线端电极，以在其间的内部电极与相邻单个基板的相邻接线端电极连接。通过使测量探针接触相邻单个基板的相邻接线端电极测量拟被修整的单个基板的特性的同时，修整拟被修整的单个基板的调整电极，而不是拟被修整的单个基板的端电极。因此，减少了由探针所覆盖的拟被修整的单个基板的底面面积，并且，修整元件和该探针之间不会发生干扰。因此，能容易地执行调整操作，并且能给出布置调整电极的灵活性。
从以下参考附图对本发明的描述中，将使本发明的其它特征和优点将变得更加明显。
图1是本发明第一实施例电子部件的截面图；图2是图1所示电子部件的仰视图；
图3是包含图1所示多个彼此连接之电子部件的母板截面图；图4是图3所示母板的仰视图；图5是说明电子部件调整方法的本发明第二实施例母板的截面图；以及图6是说明一种公知电子部件调整方法的母板截面图。
具体实施例方式
以下将参考附图描述本发明的具体实施例。
第一实施例图1和2表示具有多层结构的高频模块。这种高频模块是具有LGA接线端结构之电子部件的一种实施例。这里描述高频压控振荡器(VCO)模块A的一种实施例。
所述VCO模块A包括由多个叠层的绝缘层形成的基板1。可由树脂或陶瓷制成这些绝缘层。在该基板1的背面设有四个接线端电极2和接地电极3。沿着基板1的外周布置这些接线端电极2。在基板1背面的大致中心处布置接地电极3。
在接地电极3上面的基板1内部的区域中布置带状线电极(调整电极4)。在带状线电极4上面的基板内部的区域中布置接地电极5。带状线电极4的面积小于接地电极3和接地电极5各自的面积。接地电极3、带状线电极4和接地电极5构成具有三极结构的带状线谐振器。在基板1的顶面上布置电路电极6。在电路电极6上安装多个元件7(比如晶体管和电容器)。经由在其间的导线(通孔)或端面电极(未示出)，电路电极6、带状线电极4和接地电极5相互连接。
在与接线端电极2的基板1内部相应的区域中布置内部电极8。经由其间的导线9，使接线端电极2和相应的内部电极8相互连接。在基板1的侧面露出每个内部电极8的一端的横截面。经由其间的导线(未示出)将接线端电极2连接到在基板1的顶面上所布置的电路电极6、基板1内所布置的带状线电极4和接地电极5。
尽管图2中示出VCO模块A中使用四个接线端电极的实施例，但显然可以使用多于四个接线端电极。
图3表示用于制作VCO模块A的母板10。母板10包含多个连接的单个基板(VCO模块A)，后面将分割该母板10。
预先准备母板10，它包含接线端电极2、接地电极3和5、带状线电极4、电路电极6、内部电极8等，并将这些元件7安装在电路电极6上。
然后，在把测量电性能所用的探针11与拟被修整之VCO模块A的接线端电极2电连接的同时，以激光束12照射带状线电极4，用以调整压控振荡器的频率。为了防止探针11和激光束12之间的干扰，代替接触拟被修整之VCO模块A的接线端电极2，使探针11接触两个相邻VCO模块A1的相邻接线端电极21。由于拟被修整之VCO模块A的接线端电极2与相邻VCO模块A1的相邻接线端电极21通过内部电极8经其间的导线9相互连接，所以，无需使探针11接触拟被修整之VCO模块A的相邻接线端电极2。
尽管这里描述了使用两个探针的实施例，但可同时接触比如用于提供电源电压、用于接地、用于信号输入或用于信号输出的三个或多个探针。
因此，可以实现在激光束12和探针11之间的空间S1和S2。因而，增加了能使用激光束12予以修整的面积，并能容易地以高精度修整带状线电极4。另外，由于减少了探针11所妨碍的VCO模块A的底面面积，所以能相对灵活地设定一个区域，其中形成有带状线电极4。因此增加了设计所述模块的灵活性。
调整频率之后，沿着图3中的虚线表示的分割线13切割母板10，以分成单个基板(VCO模块A)。在分割处理中，也使内部电极8受到分割。由于在母板10中布置有内部电极8，所以，能防止在切割小块时发生电极剥落或毛口。
图4表示母板10的底面。
如图4所示，在母板10的外周提供边缘14。在这些边缘14内布置虚拟端电极15。以在其间的内部电极8将每个虚拟端电极15与相邻单个基板(相邻VCO模块A1)的相邻接线端电极21相连。
对于被置于母板10大致为中心处的单个基板(VCO模块A)，如上所述，由于存在各相邻单个基板(VCO模块A1)，所以能使探针11接触相邻单个基板(相邻VCO模块A1)的相邻接线端电极21。相反，对于位于母板10外周的相邻单个基板(VCO模块A1)，仅在一侧存在相邻单个基板，在这种情况下，通过使用与该相邻单个基板(相邻VCO模块A1)相邻的边缘14中的虚拟端电极15，能够使靠近母板10外周的探针11与相邻接线端电极21接触。
在图4中的阴影区域表示可在其中形成带状线电极4的区域。如上所述，通过使用相邻单个基板(相邻VCO模块A1)的相邻接线端电极21使探针11与接线端电极2接触，并且通过使用设在母板10外周的边缘14内的虚拟端电极15使探针11与相邻接线端电极21接触，增加了其中可以形成带状线电极4的面积。
第二实施例图5表示本发明第二实施例的特性测量和修整方法。
在第二实施例中，使这些探针11之一与相邻单个基板(相邻VCO模块A1)的相邻接线端电极21接触，并使这些探针11当中的另一个与拟被修整之单个基板(VCO模块A)的接线端电极2接触，而不是两个探针11都与相邻VCO模块A1的相邻接线端电极21接触。
特别在激光束12的位置，换句话说，当拟被修整的带状线电极4的位置偏向单个基板(VCO模块A)的接线端电极2之一时，无需使两个探针11都与相邻VCO模块A1的相邻接线端电极21接触。代替可以使探针11与单个基板(VCO模块A)的各相邻接线端电极2中的另一个接触，而且，即使在所述情况下，仍可减少激光束12和探针11之间的干扰。
本发明不限于前面的实施例。在不脱离本发明的精神和范围的情况下，能对本发明做出各种改型和修改。
尽管已经描述了一种实施例，在该实施例中使用包含多层基板的VCO模块作为电子部件，这种多层基板具有多个叠层的绝缘层，该电子部件还可包括具有单层结构的基板。因此，本发明还可应用于具有LGA接线端结构的其它电子部件，比如混合集成电路(IC)、有源滤波器和DC/DC变换器。
虽然前述实施例中起调整电极作用的电极为带状线电极，但是显然不必将调整电极限定为带状线电极。另外，也无需将调整电极布置在基板中。可以在基板的顶面或底面或另一表面上露出调整电极。
此外，本发明不限于激光修整。显然，可以采用其它公知的修整方法。
虽然已结合具体实施例描述了本发明，但对于本领域技术人员而言，许多其它改型和变化以及其它用途将变得明显。因此，本发明不限于这里的具体公开。
权利要求
1.一种电子部件制作方法，它包括如下步骤准备母板，该母板包含相互连接的多个单个基板，所述母板包括在该母板表面上各个单个基板的多个接线端电极；内部电极，它使每个单个基板的接线端电极与各相邻单个基板的相邻接线端电极相连；以及设在每个单个基板内的调整电极；通过测量探针与相邻单个基板的相邻接线端电极接触测量特定单个基板的特性，所述相邻单个基板以其间的相应内部电极与该特定单个基板的接线端电极连接，并使另一测量探针与该特定单个基板的另一接线端电极或另一相邻单个基板的相邻接线端电极接触，该另一相邻单个基板以其间的相应内部电极与该特定单个基板的另一接线端电极连接；这些探针接触的同时，修整所述特定单个基板的调整电极；以及将所述母板分成多个单个基板。
2.如权利要求1所述的电子部件制作方法，其中，沿着每个单个基板的外周布置各接线端电极；并将调整电极定位在各接线端电极之间。
3.如权利要求2所述的电子部件制作方法，其中，在每个单个基板的大致中心处定位所述调整电极。
4.如权利要求2所述的电子部件制作方法，其中，所述母板还包括母板外周处的边缘；以及在这些边缘中的虚拟端电极，以其间的相应内部电极与相应的相邻单个基板的相邻接线端电极连接。
5.如权利要求1所述的电子部件制作方法，其中，所述母板还包括母板外周处的边缘；以及在这些边缘中的虚拟端电极，以其间的相应内部电极与相应的相邻单个基板的相邻接线端电极连接。
6.一种电子部件，包括基板；所述基板的表面上沿着该基板外周布置的多个接线端电极；调整电极，布置在这些接线端电极之间；以及内部电极，与各端电极电连接，在基板的侧面露出每个内部电极的横截面，沿所述基板的侧面布置各接线端电极。
7.如权利要求6所述的电子部件，其中，所述调整电极布置在所述基板的大致中心处。
8.一种制作多个分离的单个基板用的母板，包括多个相互连接的单个基板；所述母板表面上对于每个单个基板的多个接线端电极；布置在所述母板中的内部电极，该内部电极将每个单个基板的接线端电极连接到各相邻单个基板的相邻接线端电极；以及设在每个单个基板内的调整电极；所述母板被分割成多个分离的单个基板，每个分开的单个基板包括多个接线端电极，布置在所述基板表面上并沿着该基板的外周；调整电极，布置在各端电极之间；以及内部电极，它与各接线端电极电连接，在所述基板的侧面露出每个内部电极的横截面，沿着所述基板的侧面布置各接线端电极。
9.如权利要求8所述的制作多个分离的单个基板用的母板，其中，所述调整电极布置在各单个基板的大致中心处。
10.如权利要求8所述的制作多个分离的单个基板用的母板，其中，所述母板还包括该母板外周处的边缘；以及在这些边缘中的虚拟端电极，以其间的相应内部电极与相应的相邻单个基板的相邻接线端电极连接。
全文摘要
一种在多个相互连接的单个基板构成母板的同时通过修整调整单个基板特性的方法。使测量探针与相邻单个基板的相邻接线端电极接触，所述相邻单个基板以其间的内部电极与拟被修整的单个基板的接线端电极连接。使另一测量探针与另一相邻单个基板单个基板的相邻接线端电极或者拟被修整的单个基板的另一接线端电极接触，该另一相邻单个基板以其间的内部电极连接到该单个基板的另一接线端电极；在这些探针接触的同时，使拟被修整的单个基板的调整电极受到激光修整。
文档编号H01L23/48GK1731572SQ20051007541
公开日2006年2月8日 申请日期2005年6月1日 优先权日2004年8月6日
发明者荒俣智英 申请人:株式会社村田制作所