专利名称：受控气流仓储架的制作方法
技术领域：
本发明一般涉及受控气流仓储架，尤其涉及一种在制造如半导体或平板显示器的产品的过程中将该产品的部件暂时储存其中的受控气流仓储架，以防止污染物落到部件的表面上，并有助于将仓库的洁净度维持在理想的水平，从而提高产品的成品率(recovery rate)。
背景技术：
通常，平板显示器(FPD)如液晶显示器(LCD)、等离子显示器(PDP)、电激发光显示器(ELD)或场发射显示器(FED)在洁净室中制造，当将产品的部件(玻璃基板)运送到随后的工序时，仓库用于临时存储这些部件。
在这种洁净室内的制造过程中，落在产品的部件表面的污染物极大影响产品的成品率。因为产品的部件不在仓库内移动，所以增加了污染物落在产品的部件的表面的可能性。因此，洁净室的洁净度对产品的成品率有着极大的影响。
根据部件放在仓库中的方向，这种仓库可分为垂直层流型和水平层流型。平板显示器的部件相对较大，大部分用于平板显示器的洁净室使用水平层流型的仓库。
同时，提供到仓库的每一层的空气的流动和速度都影响仓库内部的洁净度。从在制造场所的空气动力学的模拟试验和经验判断，在垂直层流型仓库的情况下，如果仓库没有单独的补充装置，在产品的部件上方会出现气流紊乱。因而，传统技术的问题在于分布在仓库搁架中的空气的流动和速度是不均匀和不稳定的。
为了解决上述问题，一些仓库制造公司提出了仓储架，其中，仓储架的每一层上均具有风机过滤单元(FFU)。近来，一种具有风机过滤单元的水平层流型仓库应用于大多数平板显示器的洁净室中。
然而，由于需要另外安装风机过滤单元，因而提高了仓库的制造成本，风机过滤单元的运转费用也给使用者增加了负担，还提升了仓库的内部温度，并且出现振动和噪音。因此，最近开展了对风机过滤单元替代物的研究。
发明内容
因此，考虑现有技术中存在的上述问题而提出本发明，并且本发明的一个目的是提供一种受控气流仓储架，所述气流仓储架包括导向扰流器，所述导向扰流器用于控制提供到仓储架的每一层的空气的流动，以取代风机过滤单元或其它设备(如多孔性控制板)，从而同时确保稳定的气流和速度。因而防止污染物落到部件的表面上，有助于将仓库的洁净度维持在理想水平，并且提高产品的成品率。
为了实现上述目的，本发明提供了一种在制造产品的过程中，用在临时存储产品如平面显示器的部件的洁净室中的受控气流仓储架，其中，所述受控气流仓储架包括用于引导空气从洁净室的顶端到仓储架内的导向扰流器。所述导向扰流器在其下端可旋转地连接于仓储架，因而可以通过调整扰流器相对于仓储架的角度来控制提供到仓储架内的空气的流动和速度。
此外，所述导向扰流器在其下端铰接于架子组件的后部水平梁，所述架子组件具有立方结构，并通过将多个杆组装而成，而且所述导向扰流器在其上端由架子组件的一对后支柱支撑。均带有导向扰流器的多个架子组件都垂直和水平地装配。
而且，所述导向扰流器包括薄板型的气流控制板和角度调整板。在所述气流控制板的下端形成有多个铰链连接孔，以使气流控制板在其下端通过铰链连接于后部水平梁。所述角度调整板从气流控制板的每个对边边缘向前方延伸，并且具有从底端到顶端宽度增大的扇形形状，带有形成在其上端的弓形的导向狭槽，以使角度调整板通过角度调整螺栓固定到每个后部支柱。
所述气流控制板可以具有平面形状、向前弯曲的凸面形状，或者向后弯曲的凹面形状。
所述气流控制板包括设置在其上边缘的平衡导向端，以控制气流并防止空气阻力引起的噪音和振动的产生。
图1是表示根据本发明的仓储架基本单元的一种实施方式的分解透视图；图2是表示根据本发明的导向扰流器的透视图；图3是表示根据本发明的仓储架基本单元和不同类型导向扰流器的组装变例的透视图；图4是根据本发明的优选实施方式的受控气流仓储架的分解透视图；图5是表示根据本发明的垂直装配的仓储架的透视图；图6是表示根据本发明的位于仓库中的仓储架的透视图；以及图7是表示具有本发明的仓储架的仓库中的气流的截面图。
附图标记说明100仓储架 101仓储架基本单元110导向扰流器 111气流控制板112角度调整板 113导向狭槽115导向端 116第一铰链连接孔120架子组件 121搁梁121a后部水平梁122架支柱122a后部支柱 126第二铰链连接孔
127角度调整孔 131铰链136，136’铰链锁定螺栓137角度调整螺栓200仓库 300洁净室401平面导向扰流器 402曲面导向扰流器500盒子具体实施方式
下面，将结合附图对本发明进行详细地描述。
图1是表示根据本发明的仓储架基本单元的一种实施方式的分解透视图。如图1所示，本发明的受控气流仓储架由垂直和水平组装的多个仓储架基本单元101构成。每个仓储架基本单元101包括架子组件120、导向扰流器110、作为连接装置的铰链131、多个铰链锁定螺栓136，136’及一对角度调整螺栓137。
架子组件120包括搁梁(shelf beam)121和架支柱122，所述搁梁121通过组装多个杆而成，所述架支柱122垂直装配在搁梁121的拐角处。所以，架子组件120具有立方结构。
图2是表示根据本发明的导向扰流器的构造的透视图。如图2所示，导向扰流器110包括气流控制板111和一对角度调整板112。
同时，多个第一铰链连接孔116形成在导向扰流器110的气流控制板111的下端。多个第二铰链连接孔126形成在设置在架子组件120的后部下端的后部水平梁121a上。铰链131在其第一侧面通过铰链锁定螺栓136连接到后部水平梁121a，所述铰链锁定螺栓136穿过后部水平梁121a的第二铰链连接孔126。此外，铰链131在其第二侧面通过铰链锁定螺栓136’连接到气流控制板111的下端，所述铰链锁定螺栓136’穿过气流控制板111的第一铰链连接孔116。因此，导向扰流器110通过铰链131可旋转地连接到架子组件120。每个角度调整螺栓137在通过形成在导向扰流器110的每个角度调整板112上端的矩形导向狭槽113后，均紧固到每个后部支柱122a的角度调整孔127中，从而可以调整导向扰流器110相对于架子组件120的角度。
此外，平衡导向端(trimmed guide tip)设置在气流控制板111的上边缘上，从而控制气流并防止空气阻力引起的噪音和振动的产生。
每个角度调整板112从气流控制板111的每个对边边缘向前整体地延伸。另外，角度调整板112具有宽度从底端到顶端增大的扇形形状。
具有弓形形状的矩形导向狭槽113形成在设置在气流控制板111的每个对边边缘上的角度调整板112的上端，从而气流控制板111的角度是可以相对于架子组件120调整。
导向扰流器用于增大递减气流的上升和循环效率。导向扰流器的设计变量，如导向端的位置、角度调整板的保持位置以及气流控制板的曲率，在数量上是通过在决定仓库尺寸和结构的早期设计阶段中的二维空气动力学模拟来确定的。这种导向扰流器设计变量在数量上的确定提高了空气流动和速度的控制精确性。
图3是表示仓储架基本单元和不同类型导向扰流器的组装变例的透视图。无论导向端115的位置和气流控制板111的角度如何，导向扰流器110总是连接到后部水平梁121a和架支柱122。
此外，根据仓库200的形状或者气流，导向扰流器110可以包括平面导向扰流器401或者具有凸面形状或凹面形状的曲面导向扰流器402，所述曲面导向扰流器402具有类似于飞机机翼的翼型形状(airfoil shape)。
图4是根据本发明的优选实施方式的受控气流仓储架的分解透视图。在本发明中，每个仓储架基本单元101包括导向扰流器110、架子组件120和锁定装置。本发明的受控气流仓储架100通过垂直和水平地装配仓储架基本单元101而构成。
图5是表示垂直装配的仓储架的透视图。如图5所示，受控气流仓储架100通过垂直装配仓储架基本单元101而构成。
图6是表示位于仓库中的本发明的受控气流仓储架的透视图。如图6所示，通过垂直和水平装配仓储架基本单元101而构成的受控气流仓储架被置于仓库200中。
图7是表示具有本发明的受控气流仓储架的仓库中的气流的截面视图。参照图7，在受控气流仓储架中，大部分进入的空气来自洁净室的顶部，如箭头501所示，在水平方向流向仓库的侧壁，如箭头502所示。随后，空气在侧壁和仓储架之间向下流动，如箭头503所示。之后，向下流动的空气通过导向扰流器110供给到仓储架内。供给到仓储架内的空气在水平方向流动，如箭头504所示，以使恒定的剪切力作用到产品的部件的表面，从而防止污染物落到部件的表面上。通过仓储架的空气向洁净室的底部垂直流动，如箭头505所示，之后，空气通过洁净室的底部排到外界。
如此，本发明的受控气流仓储架能够利用导向扰流器控制空气的流动速率，使空气均匀地分布在仓储架中。此外，本发明通过控制气流的方向而在每个盒子(cassette)500中产生层流。另外，本发明能够控制空气的速度，以使恒定的剪切力作用到产品的部件的表面上，从而防止污染物落到部件的表面。而且，本发明有助于将仓库的洁净度维持在理想水平。由于这些优势，产品的成品率得以提高。
而且，在测试中，发现带有导向扰流器的本发明与带有传统的风机过滤单元的传统技术相比，在噪音和振动方面有所改善。因此，与传统的设备相比，本发明的受控气流仓储架具有较优的功能性、稳定性、经济效益、实用性和机动性。
本发明的效果如上所述，本发明提供了一种设置在洁净室的仓库中的受控气流仓储架，所述洁净室用于制造如半导体或平面显示器的产品，所述受控气流仓储架用于在运送部件到随后的工序的过程中临时存储产品的部件。与具有风机过滤单元或其它设备(如多孔性控制盘)的传统技术不同，所述受控气流仓储架具有导向扰流器，从而降低了仓库的生产成本，避免传统技术中的风机过滤单元所产生的经济负担，防止仓库的内部温度的提高，并且减少振动和噪音。
此外，取代具有传统风机过滤单元或多孔性控制板的传统技术的具有导向扰流器的本发明可以更加量化。另外，本发明能够使提供到仓库内的空气均匀地分布，并适当地调节空气的流动和速度，从而防止污染物落到产品的部件的表面上，并有助于将仓库的洁净度维持在理想水平，因此提高了产品的成品率。
权利要求
1.一种用于在制造产品的过程中临时存储产品如平面显示器的部件的受控气流仓储架，其中受控气流仓储架包括垂直和水平装配在一起的多个架子组件(120)，多个架子组件(120)的每一个都具有三维结构，并通过组装多个杆而制造；和导向扰流器(110)，每个导向扰流器(110)在其下端铰接到设置在每个架子组件(120)的后部下端的后部水平梁(121a)，所述导向扰流器(110)在其上端由每个架子组件(120)的一对后部支柱(122a)支撑，所以提供到仓储架内的空气的流动和作用到装在盒子(500)中的产品部件的空气的剪切力通过导向扰流器(110)的形状和导向扰流器(110)相对于每个架子组件(120)的角度来控制，其中所述导向扰流器(110)包括具有薄板形状的气流控制板(111)，所述气流控制板(111)带有多个形成在所述气流控制板下端的铰链连接孔(116)，以使气流控制板(111)在其下端通过铰链(131)连接于后部水平梁(121a)；和角度调整板(112)，所述角度调整板(112)从气流控制板(111)的对边边缘向前延伸并且具有宽度从底端到顶端增大的扇形形状，所述角度调整板(112)带有形成在其上端的弓形的导向狭槽(113)，以使角度调整板(112)通过角度调整螺栓(137)固定到每个后部支柱(122a)。
2.根据权利要求1所述的受控气流仓储架，其中，气流控制板(111)的横截面具有平面形状、向前弯曲的凸面形状或向后弯曲的凹面形状。
3.根据权利要求1所述的受控气流仓储架，其中，气流控制板(111)包括平衡导向端(115)，所述平衡导向端(115)设置在气流控制板(111)的上边缘，以控制气流并防止空气阻力所引起的噪音和振动的产生。
全文摘要
本发明提供了一种受控气流仓储架，该气流仓储架具有导向扰流器(110)，所述导向扰流器(110)用作将空气分布到仓储架的架子中的工具，以适当地控制空气的流动和速度，从而使气流均匀地分布到仓储架的架子中并使恒定的剪切力作用到位于仓储架的架子上的产品的部件的表面，因此防止污染物落到部件的表面。本发明的受控气流仓储架由多个仓储架基本单元(101)构成。每个仓储架基本单元(101)包括导向扰流器(110)，架子组件(120)和连接装置。
文档编号H01L21/68GK1934694SQ200580008969
公开日2007年3月21日 申请日期2005年3月22日 优先权日2004年3月24日
发明者金惠玲, 徐万升, 许智惠 申请人:金惠玲, 徐万升, 亚威科股份有限公司