专利名称：平坦状电缆的制作方法
技术领域：
本发明涉及平坦状电缆，尤其涉及将聚四氟乙烯(以下称为PTFE)片(带)或者拉伸多孔聚四氟乙烯(以下称为EPTEF)片(带)作为绝缘体或护套使用的平坦状电缆。
背景技术：
以往，例如在将半导体制造装置的分挡器的可动部与固定部电连接中，使用扁平电缆这样的平坦状电缆，从低介电常数这样优良的电特性或者耐热性、耐药品性或者应对脱气的对策等观点来看，该平坦状电缆将PTFE片或者EPTFE片作为绝缘体或护套使用。在该绝缘体或护套中使用PTFE片或者EPTFE片的平坦状电缆是如下形成的，例如，如美国专利第3082292号所公开的内容，向具有多个槽的附有槽的压缩辊的各槽中供给导体或者如同轴电缆这样的传送线路，将该多根的导体或者如同轴电缆的传送线路相互平行排列，同时，自这些被供给的导体或者传送线路的两侧，再供给PTFE片或者EPTFE片，将这些导体或者传送线路自其两侧用PTFE片或者EPTFE这样的片(绝缘层或者护套)覆盖、挟持，之后用高温烧结浴(烧结炉)等将导体或者传送线路的两侧的PTFE片或者EPTFE片，在327度C以上的烧结温度下烧结而结合。
对于这样形成的平坦状电缆，PTFE片或者EPTFE片在高温烧结浴中被烧结时会出现各种问题。也就是说，由于在烧结时PTFE片或者EPTFE片出现收缩，因此难以维持平坦状电缆的在各导体之间或者各传送线路之间的距离(间距)必要的正确性。或者通过烧结，PTFE片或者EPTFE片变硬，存在平坦状电缆的弯折自由性、可挠性、柔软性或者滑动性劣化的问题。
另外，在将PTFE片或者EPTFE片烧结时，平坦状电缆由于受烧结浴的高温的影响，姑且不提该导体(软铜)被电镀银或者电镀镍的情况，当该导体(软铜)电镀锡的情况时，导体(软铜)变色，容易出现断线，有时会经不起作为电缆使用。
另外，如将这种PTFE片或者EPTFE片作为绝缘体或护套使用的扁平电缆这样的平坦状电缆中，当作为传送线路，并置多根的同轴电缆或者多芯电缆形成平坦状电缆的情况时，一旦在高温烧结浴中烧结PTFE片或者EPTFE片，如果使用了同轴电缆的情况时，则同轴电缆的中心导体有时会弯折，结果，有时出现耐电压不良或者特性阻抗不良等电特性中的问题，同时有时会出现容易断线的问题。
发明的揭示因此，本发明是鉴于上述情况而研发的发明，其目的在于提供平坦状电缆，所述平坦状电缆即使是使用PTFE片或者EPTFE片作为扁平电缆这样的平坦状电缆的绝缘体或护套而形成的，也具有优良的弯折自由性、可挠性或者柔软性，同时具有良好的滑动性。
本发明的另一目的在于，提供平坦状电缆，所述平坦状电缆在如扁平电缆这样平坦状电缆中，即使并置多根的同轴电缆或者多芯电缆作为传送线路，将PTFE片或者EPTFE片作为平坦状电缆的护套使用的情况，使用同轴电缆时同轴电缆的中心导体也不会发生弯折，不会出现耐电压不良或者特性阻抗不良等电特性不良，也不容易断线。
上述本发明的目的通过本发明涉及的平坦状电缆而实现。即，简要来说，本发明是平坦状电缆，它是使用绝缘体或护套覆盖、挟持被并置的多根导体或者传送线路而得的平坦状电缆，其特征在于，该绝缘体或护套由未烧结或者半烧结的聚四氟乙烯形成，该绝缘体或护套通过烧结腹片(web)部分而结合，该腹片部分通过上述导体或者传送线路连接。另外，本发明还是平坦状电缆，其特征在于，上述的传送线路是同轴电缆或多芯电缆。
根据本发明的平坦状电缆，由于它是用绝缘体或护套覆盖、挟持被并置的多根导体或者传送线路而得的平坦状电缆，其特征在于，该绝缘体或护套由未烧结或者半烧结的聚四氟乙烯形成，该绝缘体或护套通过烧结腹片部分而结合，该腹片部分通过上述导体或者传送线路连接，因此，本发明的平坦状电缆不需要如以往那样为了保持、固定平坦状电缆的导体或者如同轴电缆那样的传送线路，而将平坦状电缆整个浸渍在高温烧结浴中使整个护套烧结，而是只要将使导体或者传送线路牢固地保持、固定在规定的位置所必要的腹片部分烧结，由于覆盖、挟持平坦状电缆的导体或者传送线路的整个护套仍然将EPTFE或者PTFE维持在未烧结状态或者半烧结的状态，因此烧结时的PTFE片或者EPTFE片不出现收缩现象，因而，能够以满意的正确性维持平坦状电缆的各导体之间或者各传送线路之间的间隔。
如上所述，由于整个护套将EPTFE或者PTFE仍然维持在未烧结状态或者半烧结的状态，因此不会出现因烧结造成的PTFE片或者EPTFE片变硬，不会有损于EPTFE或者PTFE的未烧结状态或者半烧结状态的可挠性、柔软性或者滑动性，可以维持平坦状电缆的弯折自由性、可挠性、柔软性或者滑动性。这样，由于如此制造的本发明的平坦状电缆不损害EPTFE或者PTFE的未烧结状态或半烧结状态的可挠性、柔软性或者滑动性，因此也可以克服以往的平坦状电缆的扭曲性的脆弱性，达到发挥优良扭曲性的效果。
另外，即使使用同轴电缆作为传送线路的情况时，也不会出现同轴电缆的中心导体弯折，因此不会出现耐电压不良或者特性阻抗不良等电特性上的问题，也不会出现容易断线的问题。另外，本发明的平坦状电缆由于不使用高温烧结浴，因此不仅导体(软铜)被电镀银或电镀镍的情况，即使是导体(软铜)被电镀锡的情况，导体(软铜)也不会出现变色或者易断线的问题，能够起到可作为电缆使用的效果。
附图的简单说明
图1是本发明的平坦状电缆的最佳实施方式的大致部分截面图。
图2是作为本发明的平坦状电缆中所用传送线路的同轴电缆的截面图。
图3是制造本发明的平坦状电缆时的说明图。
实施发明的最佳方式以下，根据最佳实施方式，参考附图来说明本发明的平坦状电缆。
图1是本发明的平坦状电缆的最佳实施方式的大致部分截面图。
图2是作为本发明的平坦状电缆中所用传送线路的同轴电缆的截面图。
图3是制造本发明的平坦状电缆时的说明图。
参考图1，显示了本发明的平坦状电缆10，该平坦状电缆10具有并置或者相互平行排列的多根导体或者如同轴电缆这样的传送线路11(该实施方式中为7根，对该根数没有限定)。在这些多根的导体或者如同轴电缆的传送线路11的两侧(在图1中为上下方向)，作为整个护套分别设置未烧结或者半烧结的PTFE片或者EPTFE片12a、12b，同时该未烧结或者半烧结的护套12a以及12b的通过导体或者如同轴电缆的传送线路11而连接的部分，即腹片部分13通过烧结护套12a以及12b而结合。结果，平坦状电缆10的各导体或各传送线路11被护套12a以及12b覆盖、挟持，同时通过由烧结护套12a以及12b所形成的腹片部分13，将其牢固保持、固定在规定位置上。
在上述的情况中，当使用同轴电缆作为传送线路时，该传送线路11如图2所示是如下形成的同轴电缆，即，在由镀银高抗张力铜合金等导体形成的中心导体21的周围配置如PTFE或四氟乙烯-六氟丙烯共聚物(以下，称为FEP)这样的含氟树脂的电介体22，在该电介体22的周围设置使用了由镀锡的含锡铜合金形成的多根导体线材而形成编组结构或横卷结构等的外部导体23，在该外部导体23的周围，覆盖由EPTFE、PTFE或者四氟乙烯-六氟丙烯共聚物(以下称为FEP)等含氟树脂形成的封套24。另外，作为传送线路除了上述的同轴电缆之外，当然也可以使用将电线通过拧捻、捆扎而形成的多芯电缆。
上述的平坦状电缆10可以如下制造。即，如图3所示，向具有多个槽31的附有槽的压缩辊32与配置在相对于该附有槽的压缩辊32的位置、在该附有槽的压缩辊32的各槽31的相对位置同样具有多个槽31的附有槽的压缩辊33之间的各槽31中，供给多根导体或者传送线路11(该实施方式中为7根)，将这些多根的导体或传送线路11并置或者相互平行排列。再从该导体或者传送线路11的两侧(在图3中为上下方向)分别供给未烧结的PTFE片或者EPTFE片12a、12b作为护套，使用PTFE片或者EPTFE片12a、12b从这些导体或者传送线路11的两侧，将其覆盖、挟持。
此时，这些未烧结的护套12a以及12b通过导体或者传送线路11相连接的部分，即腹片部分13被压缩辊32和33的没有槽的部分压缩。之后，通过使导体或者传送线路11的两侧的未烧结的PTFE片或者EPTFE片12a、12b被压缩了的腹片部分13通过烧结单元35，仅将该部分烧结，将整个PTFE片或者EPTFE片12a、12b维持在未烧结状态或者半烧结状态，所述烧结单元35具有与该腹片部分13的位置相对应、且自腹片部分13在上方隔开配置的多个各自独立烧结机34(在该实施方式中为7个，对该个数没有限定)。
在此，仅使腹片部分13通过烧结单元35进行烧结，这是由于在烧结单元35内配置的多个的各自独立烧结机34具有相对于各个腹片部分13的宽度的细长吹出口，从该吹出口自图中未示的热源将约500度C的热风吹至腹片部分13，将该部分进行烧结的缘故。另外，通过使腹片部分13通过烧结单元35的速度加快等变化，也可以使该部分的PTFE片或者EPTFE片12a、12b的烧结程度变化，并且也可以实质上间断地烧结腹片部分13。
这样形成的本发明的平坦状电缆10不需要如以往那样为了保持、固定平坦状电缆的导体或者如同轴电缆的传送线路，而将平坦状电缆整个浸渍在高温烧结浴中使整个护套烧结，而是只要将使在将导体或者如同轴电缆的传送线路11牢固地保持、固定在规定的位置中所必须的腹片部分13烧结，由于覆盖、挟持平坦状电缆10的导体或者传送线路11的整个护套12a、12b仍然将EPTFE或者PTFE维持在未烧结状态或者半烧结的状态，因此烧结时的PTFE片或者EPTFE片不出现收缩现象，因而，能够以满意的正确性维持平坦状电缆的各导体之间或者各传送线路之间的间隔。
如上所述，由于整个的护套12a、12b将EPTFE或者PTFE仍然维持在未烧结状态或者半烧结的状态，因此不会出现因烧结造成的PTFE片或者EPTFE片变硬，可以良好地维持平坦状电缆的弯折自由性、可挠性、柔软性或者滑动性。另外，作为传送线路的同轴电缆的中心导体不会出现弯折，因此不会出现耐电压不良或者特性阻抗不良等电特性上的问题，也不会出现容易断线的问题。另外，本发明的平坦状电缆由于不使用高温烧结浴，因此不仅导体(软铜)被电镀银或电镀镍的情况，即使是导体(软铜)被电镀锡的情况，导体(软铜)也不易出现变色或者易断线的问题，能够作为传送线路使用。
以下例举本发明的实施例对本发明进行说明。
实施例1将FEP挤出成形，覆盖在将19根直径0.127mm的镀银高抗张力铜合金拧捻形成的中心导体21的周围，形成厚度0.2mm的电介体层22，其外径为0.997mm。在该电介体层22的周围，作为外部导体层23，设置以屏蔽密度90％形成了直径0.08mm的镀锡含锡铜合金的横卷屏蔽层，在该外部导体层23的周围缠绕EPTFE带，形成厚度0.15mm的封套层24，制成外径3.1mm的同轴电缆11作为传送线路。
将如此制成的7根同轴电缆11，如图3所示，供给至附有槽的压缩辊32与33之间的各槽31中，将同轴电缆11并置或者平行排列。从该同轴电缆11的两侧(图3中为上下方向)分别供给厚度0.12mm的未烧结的EPTFE片12a、12b作为护套，用EPTFE片12a、12b将这些同轴电缆11从其两侧覆盖、夹住。
之后，将同轴电缆11的两侧的未烧结的EPTFE片12a、12b被压缩了的腹片部分13通过具有独立烧结机34的烧结单元35，进行烧结，同时整个EPTFE片12a、12b维持在未烧结状态或者半烧结状态，制成宽25mm、厚2.55m的平坦状扁平电缆。
如此制成的本发明的平坦状电缆10，只要使同轴电缆11牢固地保持、固定在规定的位置中所必要的腹片部分13烧结，而不需要如以往那样将平坦状电缆整个浸渍在高温烧结浴中使整个护套烧结，因而整个护套12a以及12b仍然将EPTFE维持在未烧结状态或者半烧结的状态，因此，不出现EPTFE片的收缩现象，能够以满意的正确性维持平坦状电缆的各同轴电缆之间的间隔。
另外，由于整个护套12a以及12b仍然将EPTFE维持在未烧结状态或者半烧结的状态，因此不会出现因烧结造成的EPTFE片变硬，可以良好地维持平坦状电缆10的弯折自由性、可挠性、柔软性或者滑动性。另外，同轴电缆的中心导体不会出现弯折，因此不会出现耐电压不良或者特性阻抗不良等电特性不良的问题，也不会出现容易断线的问题，另外，本发明不仅限于导体(软铜)被电镀银或电镀镍的情况，即使是导体(软铜)被电镀锡的情况，导体(软铜)也不会出现变色或者易断线的问题。
产业上利用的可能性从低介电常数这样优良的电特性或者耐热性、耐药品性或者应对脱气的对策等观点来看，本发明的平坦状电缆是必要的，例如可以非常成功地用作为如半导体制造装置的分挡器的可动部与固定部电连接这样的平坦状电缆，另外在需要良好地维持平坦状电缆的弯折自由性、可挠性、柔软性或者滑动性，需要以满意的正确性维持平坦状电缆的各同轴电缆之间的间隔的领域中，可以用作为优良的平坦状电缆使用。
权利要求
1.平坦状电缆，它是用绝缘体或护套覆盖、挟持被并置的多根导体或者传送线路而得的平坦状电缆，其特征在于，所述绝缘体或护套由未烧结或者半烧结的聚四氟乙烯形成，所述绝缘体或护套通过烧结腹片部分而结合，所述腹片部分通过所述导体或者传送线路连接。
2.如权利要求1所述的平坦状电缆，其特征在于，所述的传送线路是同轴电缆或多芯电缆。
全文摘要
本发明是用绝缘体或护套覆盖、挟持被并置的多根导体或者传送线路而得的平坦状电缆，该绝缘体或护套由未烧结或者半烧结的聚四氟乙烯形成，该绝缘体或护套通过烧结腹片部分而结合，该腹片部分通过上述导体或者传送线路连接，因此，即使使用PTFE片或EPTFE片形成如扁平电缆的平坦状电缆的绝缘体或护套，也可以得到具有优良弯折自由性、可挠性或者柔软性，同时具有良好的滑动性的平坦状电缆。
文档编号H01B11/18GK1985334SQ20058002256
公开日2007年6月20日 申请日期2005年6月28日 优先权日2004年7月1日
发明者鸣海祐司 申请人:株式会社润工社