专利名称：用于制造有机发光显示器的夹持器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种用于制造有机发光装置的夹持器(holder)，更具体地讲，涉及一种能够同时在单个室中传送并加工基底、膜托盘和掩模(mask)的用于制造有机发光显示器的夹持器。
背景技术：
作为通常的平板显示装置，有机发光显示装置是使用有机材料的自发光来显示彩色图像的轻质薄型的显示装置。因为有机发光显示装置结构简单且效率高，所以它作为新型的且有用的显示装置而备受关注。
有机发光装置(OLED)包括阳极、阴极和介于阳极和阴极之间的有机膜。有机膜至少包括发射层。此外，除发射层之外，有机膜还包括空穴注入层、空穴传输层、电子传输层和电子注入层。根据有机膜，具体地根据发射层的材料，OLED被分类为聚合物有机发光装置或单体有机发光装置。
在OLED中，为了实现全彩色显示装置，发射层应被图案化。作为制造OLED的方法，有使用精细金属掩模(FMM)的直接图案化方法、使用激光诱导热成像(LITI)的图案化方法和使用滤色器的图案化方法等。
当在制造OLED中使用实现高分辨率的LITI方法时，需要例如柔性聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚醚砜(PES)等的膜和膜托盘以将膜保持在平坦条件下。具体地讲，应预先制造大尺寸的膜托盘，以实现大尺寸且高分辨率的OLED。在这种情况下，不但膜应当是平坦的，而且用于将膜传送到真空室中且用于执行沉积工艺的托盘应当是轻质的。
此外，在LITI方法中，在膜上应形成有机/无机层，在玻璃基底或薄膜晶体管(TFT)基底上应形成有机/无机/金属复合薄层，使得需要掩模以形成各显示装置的图案。
在LITI方法中，分别地设置用于将有机/无机层形成在膜上的仅限膜(film-only)的室和用于将有机/无机/金属层形成在基底上的仅限基底(substrate-only)的室。
也就是说，将基底装载在仅限基底的室中，执行沉积工艺以将有机/无机/金属复合薄层形成在基底上。除此之外，将膜装载在仅限膜的室中，并将膜形成为在其上具有有机/无机层，随后使用激光热转移方法将有机层转移到基底上。
如上所述，LITI方法使用相互独立的仅限膜的室和仅限基底的室，使得其制造工艺不方便。此外，因为需要三个不同的夹持器来分别传送并支撑基底、掩模和膜托盘，所以这是不方便的。
发明内容
因此，本发明的目的在于提供一种用于使用LITI方法来制造OLED和柔性显示器的夹持器，该夹持器能够同时在单个室中传送并加工基底、膜托盘和掩模。
本发明的上述和/或其他目的通过提供一种用于制造有机发光显示器的夹持器来实现，该夹持器包括夹持器主体和设置在夹持器主体的相对的侧面上的多个支撑体，其中，各支撑体具有 形的形状并包括具有预定高度的侧壁和从侧壁弯曲的支撑板，支撑板被形成为具有多个台阶部分以支撑基底、膜托盘和掩模，以在传送基底、膜托盘和掩模的同时夹持基底、膜托盘和掩模，并防止图案扭曲。
根据本发明的一个方面，支撑体的支撑板包括第一支撑部分，被形成为具有第一台阶部分以支撑基底；第二支撑部分，被形成为具有第二台阶部分以同时支撑膜托盘和掩模。
根据本发明的另一方面，至少三个支撑体被设置在夹持器主体的一侧上，因此至少六个支撑体被设置在夹持器主体的相对的侧面上。
根据本发明的又一方面，位于夹持器主体的一侧的两边缘上的支撑板的第一支撑部分的长度是位于夹持器主体的一侧的中部的支撑板的第一支撑部分的长度的至少两倍。在这方面，位于夹持器主体的一侧的两边缘上的支撑板的第一支撑部分被切割并开口以具有 形的形状。
根据本发明的又一方面，第二支撑部分包括在纵长方向上延伸的延伸部分，以在纵长方向上稳定地支撑膜托盘和掩模。在这点上，夹持器还包括辅助支撑部分以支撑膜托盘和掩模。
通过结合附图参照以下详细描述，随着本发明被更好地理解，对本发明更加彻底的理解及其附随的许多优点将会易于清楚，在附图中，相同的标号表示相同或相似的组件。
通过结合附图对优选实施例的以下描述，本发明的以上和/或其他特征及优点将变得清楚且更易于理解，其中图1是根据本发明第一实施例的夹持器的透视图；图2是图1中的夹持器的局部放大透视图；图3是示出图1中的夹持器支撑基底的透视图；图4是图3中的夹持器的局部放大透视图；图5是示出图1中的夹持器支撑膜托盘的透视图；图6是根据本发明第二实施例的夹持器的透视图。
具体实施例方式
现在将参照附图来详细描述本发明的示例性实施例。描述下面的实施例，以使本领域技术人员能够获得对本发明的完全理解。对公开的实施例可作出各种改变，因此应被注意到的是，本发明不局限于在这里公开的实施例。
图1是根据本发明第一实施例的夹持器的透视图，图2是图1中的夹持器的局部放大透视图。如在这里所示，根据本发明第一实施例的夹持器包括夹持器主体10，具有近似矩形的形状；多个支撑体20，设置在夹持器主体10的相对的侧面上。
在这个实施例中，三个支撑体20被设置在夹持器主体10的一侧上，使得至少六个支撑体20和20′被设置在夹持器主体10的两侧上。即，支撑体20被设置在夹持器主体10一侧的两边缘和中部上，并相互间隔开，在其之间留有预定的距离。在这方面，设置足够数目的支撑体20，以防止基底下陷(sag)；例如，设置六个或更多的支撑体20和20′。
设置在夹持器主体10的一侧的两边缘上的支撑体20包括第一支撑体30，设置在夹持器主体10的一侧的中部的支撑体20包括第二支撑体40。根据本发明的第一实施例，设置六个支撑体20和20′，但本发明不局限于此。可选地，支撑体20和20′的数目可大于六个。
因此，在根据本发明第一实施例的支撑体中，六个支撑体20和20′被设置在夹持器主体10的各相对的侧面上，以支撑基底，从而平稳地传送基底。
第一支撑体30和第二支撑体40的每个分别包括具有预定高度的侧壁31和41以及分别从侧壁31和41弯曲的支撑板32和42，从而具有 形的形状。因此，基底或膜托盘被分别放在第一支撑体30和第二支撑体40上，与夹持器主体10留有预定的距离。
支撑板32分别包括第一台阶部分33a和第二台阶部分34a，第一台阶部分33a和第二台阶部分34a用于支撑基底、膜托盘和掩模，在传送它们的同时使它们固定其位置，并防止图案扭曲。
如图2中所示，支撑体30的支撑板32包括第一支撑部分33，被形成为具有第一台阶部分33a，以支撑基底；第二支撑部分34，被形成为具有第二台阶部分34a，以支撑膜托盘和掩模。
通常，膜托盘和掩模具有相同的结构，使得根据本发明第一实施例的第二台阶部分34a被形成为支撑膜托盘和掩模，但是不局限于此。可选地，为了支撑膜托盘和掩模，如果必要，则可应用各种形状。
第一支撑体30的支撑板32的第一支撑部分33的长度是第二支撑体40的支撑板42的第一支撑部分43的长度的至少两倍，从而当将基底50(参见图3)放在夹持器上时在横向方向上更稳定地支撑基底50的相对的边缘。
因此，设置六个支撑体20和20′，位于夹持器主体10的相对的侧面上的第一支撑体30的第一支撑部分33被延长，使得夹持器防止大尺寸的基底50下陷。例如，在支撑基底50的同时，基底50的最小下陷(minimum sag)限制在30mm或更小。
此外，第一支撑体30的支撑板32的第一支撑部分33被切割并开口，以具有 形的形状并仅支撑基底50的边缘。
图3是示出图1中的夹持器支撑基底的透视图，图4是图3中的夹持器的局部放大透视图。如在这里所示，当将基底50放在第一支撑部分33和43上时，通过第一台阶部分33a和43a将基底50预先定位，并在传送基底50的同时将其固定在自身的位置，从而防止图案扭曲。
同时，第二支撑部分34支撑膜托盘和掩模。具体地讲，第一支撑体30的第二支撑部分34包括在纵长方向上延伸的延伸部分34b，以在纵长方向上稳定地支撑膜托盘和掩模。
图5是示出图1中的夹持器支撑膜托盘的透视图。
如图5中所示，在膜托盘60被放在夹持器上并被传送的同时，被形成为具有延伸部分34b的第二支撑部分34稳定地支撑膜托盘60。例如，第一支撑体30的第二支撑部分34(图2和图4)可稳定地支撑重量为15kg或更重的膜托盘60和掩模，以传送膜托盘和掩模。
此外，当将膜托盘60和掩模放在第二支撑部分34上时，在传送基底50的同时，通过第二台阶部分34a将膜托盘60和掩模预先定位且膜托盘60和掩模保持它们自身的位置，从而防止OLED图案扭曲。
在这个实施例中，虽然夹持器的第二支撑部分34被形成为具有用于预先定位的台阶部分34a，但本发明不局限于此。可选地，通过销(pin)结构可实现预先定位。
形成台阶部分34a，以使台阶部分34a具有足以使膜61固定在膜托盘60中并被第一支撑部分33和43支撑(图4)从而使膜61与基底50隔开至少2mm的距离的高度。
图6是根据本发明第二实施例的夹持器的透视图。如在这里所示，第一支撑体80的第二支撑部分84不像在第一实施例中那样在纵长方向上延伸，另外地设置辅助支撑部分70以支撑膜托盘和掩模。
根据本发明的第二实施例，在膜托盘被放在夹持器上并被传送时，膜托盘也被稳定地支撑，从而实现和第一实施例的效果相同的效果。
此外，当通过将根据本发明实施例的夹持器堆叠来形成单独的盒式(cassette)结构时，可执行两层至五层或更多层的堆叠功能。另外，在包括许多室的群(cluster)方法的情况下，夹持器可具有旋转功能，以在许多群之间被转移。
如上所述，本发明提供了一种用于使用LITI方法来制造OLED和柔性显示器的夹持器，该夹持器能够同时在单个室中传送并加工基底、膜托盘和掩模。
虽然已经示出并描述了本发明的优选实施例，但是本领域技术人员应该理解，在不脱离本发明原理和精神的情况下，可对实施例作出改变，本发明的范围由权利要求及其等同物限定。
权利要求
1.一种用于制造有机发光显示器的夹持器，所述夹持器包括夹持器主体；多个支撑体，设置在所述夹持器主体的相对的侧面上，其中，各所述支撑体具有 形的形状，并包括具有预定高度的侧壁和从所述侧壁弯曲并延伸的支撑板，所述支撑板具有用于支撑基底、膜托盘和掩模的多个台阶部分，用于在传送所述基底、所述模托盘和所述掩膜的同时夹持所述基底、所述膜托盘和所述掩模，并用于防止图案扭曲。
2.如权利要求1所述的夹持器，其中，各所述支撑体的所述支撑板包括第一支撑部分，具有用于支撑所述基底的第一台阶部分；第二支撑部分，具有用于同时支撑所述膜托盘和所述掩模的第二台阶部分。
3.如权利要求2所述的夹持器，其中，至少三个所述支撑体被设置在所述夹持器主体的一侧上，至少三个所述支撑体被设置在所述夹持器主体的相对的一侧上。
4.如权利要求3所述的夹持器，其中，位于所述夹持器主体的一侧的边缘上的各支撑板的所述第一支撑部分的长度是位于所述夹持器主体的一侧的中部的各支撑板的所述第一支撑部分的长度的至少两倍。
5.如权利要求4所述的夹持器，其中，位于所述夹持器主体的一侧的边缘上的各支撑板的所述第一支撑部分被切割并开口以具有 形的形状。
6.如权利要求3所述的夹持器，其中，位于所述夹持器主体的相对的一侧的边缘上的各支撑板的所述第一支撑部分的长度是位于所述夹持器主体的相对的一侧的中部的各支撑板的所述第一支撑部分的长度的至少两倍。
7.如权利要求6所述的夹持器，其中，位于所述夹持器主体的相对的一侧的边缘上的各支撑板的所述第一支撑部分被切割并开口以具有 形的形状。
8.如权利要求2所述的夹持器，其中，所述第二支撑部分包括在纵长方向上延伸的延伸部分，以在纵长方向上稳定地支撑所述膜托盘和所述掩模。
9.如权利要求2所述的夹持器，还包括用于支撑所述膜托盘和所述掩模的辅助支撑部分。
10.如权利要求1所述的夹持器，还包括用于支撑所述膜托盘和所述掩模的辅助支撑部分。
全文摘要
一种用于制造有机发光显示器的夹持器，包括夹持器主体和设置在夹持器主体的相对的侧面上的多个支撑体，其中，各支撑体具有“┓”形的形状，并包括具有预定高度的侧壁和从侧壁弯曲的支撑板。支撑板被形成为具有多个台阶部分，以支撑基底、膜托盘和掩模，以在传送基底、模托盘和掩膜的同时夹持基底、模托盘和掩模，并防止图案扭曲，从而同时在单个室中传送并加工基底、膜托盘和掩模。
文档编号H01L21/67GK1901155SQ20061010627
公开日2007年1月24日 申请日期2006年7月17日 优先权日2005年7月18日
发明者李奎成, 宋官燮, 康熙哲, 金度根 申请人:三星Sdi株式会社