专利名称：基板具有纹理表面的太阳能电池的制作方法
技术领域：
本发明涉及太阳能光伏器件领域，特别涉及到使用玻璃作为盖板和基板的薄膜光伏器件。
技术背景最近几年，光伏电池和大面积光伏模块的发展引起了世人的广泛关注。尤其是氢化非晶 硅和纳米晶硅，它们随着光伏器件在商业和住宅设施中的广泛应用，显示出巨大的潜力。在260°C以下这样较低的温度下生产薄膜硅光伏器件一个显著特点是，大面积沉积的与硅相关 的半导体膜层和电接触膜层具有优良性能。同时，使用良好成熟的镀膜设备和程序，可以工 业化地制成低成本的模板。施加在同一玻璃基板上的不同薄膜的激光划线成型工艺(laser patterning)允许多个太阳能电池元件在薄膜沉积过程中直接形成集成式的大面积光伏模块。对于光伏器件，特别是薄膜光伏器件来讲，使其性能优良的关键是优化半导体光电转换 层对光能的吸收，并同时减少器件中的光损耗。在很薄的吸收层里能够最大限度的吸收光能， 是高转换效率的必备条件。氢化薄膜硅所构成的太阳能电池，其吸收层的厚度一般只有几百 个微米，最多不超过大约2000微米。而且氢化硅薄膜的红光和红外光的吸收系数都比较低， 所以有很大部分的阳光不能被有效的利用起來。各种各样的办法被尝试过，来改善对光的吸 收。其中包括使用粗糙的透明前电极，另外，使用反光率很高的背电极，使得未被吸收的光 再一次被投回到电池中。对于非晶硅电池来讲吸收层i层也不能做得很厚，原因是该材料具 有光质衰减的缺陷。所以光学工程的办法在制造薄膜硅电池过程中起很重要的作用。当今市场上绝大多数的太阳能组件或模板都是使用平滑的玻璃基板或玻璃盖板而制成 的，入射的太阳光在进入太阳能电池时在玻璃表面不受到散射。为了改善薄膜光电池对弱吸 收光的反应，就必须增加其在半导体薄膜中的光程长度，达到此目的的做法之一就是使玻璃 表面具有光散射的能力。发明内容基于上述考虑，申请人拟订了本发明的首要目的提供一种具有纹理外表面的太阳能电 池玻璃基板，从而增加其光电流和光电转换效率。本发明的进一个目的是，提供一个使玻璃基板具有散射太阳光特性的技术手段。 为达到上述目的，本发明对玻璃基板的外表面进行处理，使其具有纹理化和对可见光的散射能力。在p-i-n型氢化硅光伏器件的玻璃基板的外表面，使用机械或化学的方法使得玻璃基板的外表面具有微米尺寸的纹理状态。这是一个很有效的增强半导体转换层的光吸收的办法。 因为太阳光被粗糙的玻璃表面折射(散射)开来，使其以较大的角度进入到薄膜太阳能电池 中，这样可以增长光与转换层的相互作用的路径，同时也增加了未被吸收光在背电极反射回 来后被吸收的机率。这种散射太阳光的手段，可以有效的增加光伏器件的光电流，从而提高 其光电转换效率。我们的实验表明，这种使玻璃表面变粗糙的做法，确实可以增加薄膜太阳能电池对光的 吸收，特别是当这种办法和其他传统的增强光吸收的办法结合在一起使用时，这种效果更为 明显。本发明的最大优势在于，将对光的折射施加于光进入太阳能电池的第一个界面上，这 个界面也是对光造成折射的最佳界面。
下面结合附图和实施例对本发明做进一歩说明。附图显示了一个具有粗糙表面的玻璃基板的薄膜太阳能电池的结构。
具体实施方式
如附图所示，我们所最关心的使用玻璃基板的p-i-n型薄膜光伏器件，包含如下部分一个玻璃基板l; 一个透明前电极(氧化锡)2; p层6; i层8; II层9;具有反射性的背电极，是由氧化锌22和金属薄膜45构成。本发明的意图是使玻璃基板1具有粗糙的表面11。有数种方法可以对基板玻璃的表层进行处理，使其变得粗糙，粗糙的尺寸应该在微米范 围内，且与光的波长相接近。从而使其具有对可见光，特别是红光和红外光折射的能力。使 玻璃基板具有可控制的预先设计好的纹理的最佳途径，是在生产玻璃的浮法线上，当玻璃还 处在半融化状态时，在其表面施加具有纹理的模具板，使得冷却后的玻璃具有模板所带来的 表面纹理结构。其它使玻璃表面变粗糙的方法还包括，用机械的办法将细砂束喷击在玻璃表面上(喷沙处理)，使其外表面产生很多均匀的坑状结构；用砂纸摩擦的办法，使玻璃变得粗糙；用化学处理的办法使玻璃变粗糙，包括将玻璃侵蚀于某类酸性液体。当然还有一种办法就是在玻璃 的表面镀上另外一层具有散光能力的薄膜。
权利要求
1. 一个薄膜光伏器件的玻璃基板，其特征在于它的面向太阳光的外表面是非光滑的、纹理的、对可见光有散射作用的具有微米结构的粗糙表面。所述薄膜光伏器件的构成包含如下部分一个玻璃基板；一个透明前电极；一系列的半导体薄膜，包括基于氢化硅的p-i-n结构；具有反射性的背电极。
2、 根据权利要求1所述的薄膜光伏器件的玻璃基板，其特征在于其非平滑的具有散光 特性的表面结构是在生产玻璃基板的浮法线上形成的。
3、 根据权利要求1所述的薄膜光伏器件的玻璃基板，其特征在于其非平滑的具有散光 特性的表面结构是由机械或化学处理方法获得的。
全文摘要
本发明公开了一种使用具有纹理化表面基板的薄膜光伏器件。在p-i-n型氢化硅光伏器件的玻璃基板的外表面，使用机械或化学的方法使得玻璃基板的外表面具有纹理状态，可以有效的散射太阳光，从而增加光电流，进而提高光电转换效率。
文档编号H01L31/075GK101246924SQ20071000497
公开日2008年8月20日 申请日期2007年2月14日 优先权日2007年2月14日
发明者李沅民, 昕 马 申请人:北京行者多媒体科技有限公司