专利名称：一种放置硅片的工装设备的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种放置硅片的工装设备，可用于帮助硅片在生产过程中 的转移，特别适用于晶体硅太阳电池生产中，降低转移硅片过程中所引入的硅片 碎片率，属于硅片加工装置技术领域。
背景技术：
在目前太阳电池市场上，单晶、多晶硅太阳电池占据了 90%以上的市场份 额，这类太阳电池制作在被称为硅片的单晶或多晶硅基板上。在太阳电池的生产 过程中，经常需要将多枚硅片平行地放置到一个载板上，再将载板送入工艺加工 设备，对所承载的硅片进行加工。如图1所示，为一种将多枚硅片平行地放置到一个载板的结构示意图，该 载板由框架03和支據硅片的承接体挂钩04组成。载板的框架可由金属或非金属 的介质材料所制成，其中相邻的两个框子的剖面图如图2所示，框中的空间是为 放置硅片所设置，在每一个框子的内侧设有承接体挂钩04，用以承接放入框子 空间的硅片，之所以用挂钩04来承接硅片，是因为硅片的被加工面是与挂钩04 相接触的。采用挂钩结构，可减少硅片被加工面被此处挂钩04所遮挡的面积。在实际生产操作过程中，操作人员手持镊子或真空吸笔将硅片放入每一个 框架03内，承接体挂钩04将所放入的硅片托住，由于承接体挂钩04上与硅片 的接触面积较小，支撑硅片的支点有限，在装、卸硅片的操作中，容易造成硅片 破碎，而且，随着太阳电池生产所要求的硅片面积不断增大、硅片厚度不断减小， 直接在这种载板上装、卸硅片将难以满足大规模、高速生产太阳电池，同时保持 低硅片破碎率的要求。在太阳电池生产过程中，获得低硅片破碎率是获得盈利的必要条件。 发明内容本实用新型的目的是提供一种减少硅片破碎率，降低生产成本、提高太阳电 池在线生产效率的放置硅片的工装设备。
为实现以上目的，本实用新型的技术方案是提供一种放置硅片的工装设备， 其特征在于，由工作板和支撑台组成，在工作板上设有与硅片转移装置中每一个框架四周钩子中间所对应的固定支撑台。所述的工作板的厚度为5 mm—15 mm,材料为金属平板或绝缘材料平板；所述的固定支撑台面积比硅片小，厚度为3mm—8mm，高于硅片转移装置的挂 钩。本实用新型放在硅片载板的下面，并使支撑台落入在硅片载板的每个框子的 钩子中间，尽量居中，由于支撑台比钩子高，操作者将硅片逐一放到每个支撑台 上，放满每个支撺台后，将硅片载板抬起，所有原先在本实用新型支撑台上的硅 片就被转移到硅片载板钩子上，由于支撑台与所被放置的硅片的接触面，要比钩 子与所被放置的硅片的接触面大得多，硅片在放置中被损坏的几率就小得多，而 且方便得多。本实用新型的优点是能提高生产效率，减少硅片破碎。
图1为硅片载板结构的俯视示意图； 图2为硅片载板相邻的两个框子的剖面示意图； 图3为一种放置硅片的工装设备结构示意图； 图4为一种放置硅片的工装设备两个相邻支撑台的剖面示意图； 图5将硅片载板放置在本实用新型上的俯视示意图； 图6两个框子之间硅片载板和本实用新型的相互位置关系剖面示意图。
具体实施方式
以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。 实施例如图3、4所示，为一种放置硅片的工装设备结构示意图，由工作板01和支 撑台02组成，在工作板01上设有与硅片转移装置中每一个框架03四周挂钩04 中间所对应的固定支撑台02。工作板01采用厚度为8mm的平整铝板为底板，支撑台02采用长、宽、高 分别为9(ten、 90mm、 120mm的聚四氣乙烯块，这种材料具有一定的耐400'C
高温特性、不易对所承接的硅片形成沾污、易于加工，支撑台2以矩阵形式排布 在铝底板上，并加以固定，固定完毕后不得有突起物在硅片支撑台的表面，以避 免对所承接硅片的损伤，以硅片载板为参照物，使每个支撑台02置于硅片载板 的每个框子03的挂钩04中间。工作时，将硅片载板放置在本实用新型上，如图5、 6所示，支撑台02的高 度略高于硅片载板承接体挂钩04的高度，当操作者将硅片放入框子中时，硅片 将支撑台02所承接，而并非直接落在硅片载板承接体挂钩04的上面，由于支撑 台02与所被放置的硅片的接触面，要比承接体挂钩04与所被放置的硅片的接触 面大得多，硅片在放置中被损坏的几率就小得多。在完成硅片放入框子中后，将 硅片载板平行端起，放在框子中硅片支撑台02上的硅片就自动落在了硅片载板 承接体挂钩04的上面，硅片放入硅片载板的操作完成。
权利要求1.一种放置硅片的工装设备，其特征在于，由工作板(01)和支撑台(02)组成，在工作板(01)上设有与硅片转移装置中每一个框架(03)四周挂钩(04)中间所对应的固定支撑台(02)。
2. 根据权利要求1所述的一种放置硅片的工装设备，其特征在于，所述的工作 板(01)的厚度为5mm—15mm,材料为金属平板或绝缘材料平板。
3. 根据权利要求1所述的一种放置硅片的工装设备，其特征在于，所述的固定 支撑台(02)面积比硅片小，厚度为3mm—8mm，高于硅片转移装置的挂钩 (04)。
专利摘要本实用新型涉及一种放置硅片的工装设备，其特征在于，由工作板和支撑台组成，在工作板上设有与硅片转移装置中每一个框架四周挂钩中间所对应的固定支撑台。本实用新型放在硅片载板放置的下面，并使支撑台落入在硅片载板的每个框子的挂钩中间，尽量居中，由于支撑台比钩子高，操作者将硅片逐一放到每个支撑台上，放满每个支撑台后，将硅片载板抬起，所有原先在本实用新型支撑台上的硅片就被转移到硅片载板挂钩上，由于支撑台与所被放置的硅片的接触面，要比钩子与所被放置的硅片的接触面大得多，硅片在放置中被损坏的几率就小得多，而且方便得多。本实用新型的优点是能提高生产效率，减少硅片破碎。
文档编号H01L21/673GK201051493SQ200720069789
公开日2008年4月23日 申请日期2007年5月14日 优先权日2007年5月14日
发明者郭里辉 申请人:上海交大泰阳绿色能源有限公司