胶带粘结装置及胶带粘结方法

专利名称：胶带粘结装置及胶带粘结方法
技术领域：
本发明涉及的是使胶带部件粘结于工件的胶带粘结装置及胶带粘结 方法。
背景技术：
在半导体的制造工序中，存在在半导体片(以下，称为"晶片")的表 面形成电路图之后，将晶片背面研磨来谋求薄型化，从而对应所形成半导 体晶片的小型化及薄型化的情况。另外，也存在使用药液实施化学腐蚀处 理，从而进行谋求该晶片薄型化的制造工序的情况。
在相关制造工序中，在晶片表面粘贴有粘着状的保护胶带(以下，称 为"胶带部件")。由此，防止了晶片表面被污染、或该晶片的表面受损 而电路损坏的情况。
作为使胶带部件粘结于这样的晶片表面的胶带粘结装置，有专利文献 l所记载的装置。在该专利文献1所记载的胶带粘结装置中，从主体侧空 间及上盖侧空间双方均为真空的状态，将上盖侧空间转换为大气压。由此， 在上盖侧空间和主体侧空间之间产生压差，并通过该压差橡胶薄板向主体 侧空间鼓起。而且，通过该鼓起，橡胶薄板按压胶带部件，并使胶带部件 粘结于工件。
另外，作为其他粘贴装置，有专利文献2所记载的装置。在该专利文 献2所记载的装置中，利用第一真空室和第二真空室之间的压差，使平滑 性高的底座中央部向胶带部件侧弯曲。与此同时， 一边将中央部弯曲的底 座按压在粘贴于晶片的胶带部件上， 一边通过升降装置的驱动将晶片提 升。通过这样地操作， 一边将空气从胶带部件的中央侧向外方挤压， 一边 相对于晶片粘结胶带部件。
专利文献1 :特开2003 — 7808号公报(参照0007段、图2 4)专利文献2 :特开2000 — 349047号公报(参照说明书摘要、图1 5)

发明内容
发明所要解决的问题
上述专利文献1所记载的构成，仅停留于构思阶段，其构成并不具体。 因此，在欲根据此构成实际实施的情况下，会发生种种不良情况。例如， 在专利文献1所记载的构成中，由于橡胶薄板位于顶部，因此为了除去该 橡胶薄板因自重而发生的松驰，必须相当地提高设置橡胶薄板时的张力。 因此，存在橡胶薄板的安装作业变得困难的课题。
特别是，为了有效地进行胶带部件的粘结，在开始将胶带部件粘结于 晶片的作业的初始位置上，通常与橡胶薄板接触的胶带部件和晶片之间的 间隙小。在此间隙小的状态下，橡胶薄板发生松驰的话，存在从进行抽真 空前的阶段胶带部件粘结于晶片，气泡进入该粘结面内的不良情况的发 生。
另外，在专利文献1所记载的构成中，设有多个顶紧螺钉，有必要使 这些顶紧螺钉全部进行旋转，在需要使顶紧螺钉同时旋转时成为困难的作 业。进而，在专利文献l所记载的构成中，必须以除去上盖的状态设置胶 带部件和晶片。因此，需要额外的工时。
另外，在专利文献2所记载的构成中，利用第一真空室和第二真空室 之间的压差使玻璃板等的底座弯曲，相对于粘贴有晶片的胶带部件使底座 进行粘结，同时，从该粘结状态进而将粘贴有晶片的胶带部件及底座提升。 因此，设有两阶段的粘结工序，费事，成本上也不理想。另外，为了将晶 片等提升，需要另设升降装置，因此构成变得复杂，该部分也需花费成本。
本发明是基于上述情况而作成的，其目的在于提供一种，能够一边除 去橡胶薄板的松驰一边将胶带部件良好地粘结于工件，同时，能够谋求工 序的简略化、成本的削减以及粘结强度的提高的胶带粘结装置、及胶带粘 结方法。
解决课题的手段
为了解决上述课题，本发明的胶带粘结装置是将胶带部件粘结于工件 上的胶带粘结装置，设有在顶面载置工件的伸缩薄板部件；位于伸缩薄 板部件的顶面侧，同时，通过该伸缩薄板部件被隔开的真空室；位于伸縮 薄板部件的底面侧，同时，通过该伸縮薄板部件被隔开的空气引入部；位于作为伸缩薄板部件的底面侧、且不与空气引入部发生干扰的部位，同时，
载置伸缩薄板部件的载置部；以防止相对于真空室空气导通的状态，保持 伸缩薄板部件的保持部件；在载置于伸缩薄板部件上的工件顶部，保持胶 带部件的胶带保持手段；将真空室的内部抽真空的第一吸引手段；将空气 引入部抽真空的第二吸引手段；将空气引入空气引入部的空气引入手段； 以及将空气以加压状态引入真空室内部的加压手段。
通过形成这样的构成，工件被载置于伸缩薄板部件的顶面，在其顶部 通过胶带保持手段保持有胶带部件。然后，在该状态下，使第一吸引手段 及第二吸引手段工作，进行真空室及空气引入部的排气。其后，使空气引 入手段工作，并将空气引入空气引入部的内部。于是，通过被维持真空状 态的真空室和被引入空气的空气引入部之间的压差，以保持部件密封其边 界部分的伸缩薄板部件向真空室内部膨胀。然后，通过该膨胀，伸缩薄板 部件将工件提升，并通过该提升，工件与胶带部件接触。
从该状态伸缩薄板部件进一步膨胀的话，工件进一步被提升。由此， 能够良好地使胶带部件粘结于工件的整个面上。这样，通过将工件载置于 伸縮薄板部件的顶面，并在该载置状态下使伸缩薄板部件膨胀，能够一边 防止气泡进入一边将胶带部件粘结于工件上。在该粘结中，与使工件位于 伸缩薄板部件底面的情况相比，能够除去伸缩薄板部件松驰的影响。因此， 不再需要对伸缩薄板部件赋予大的张力，构成变得简单。另外，由于是利 用伸缩薄板部件膨胀的构成，因此不需要使工件向胶带部件移动的特别构 成。因此，能够以简单的构成使工件向胶带部件移动。
另外，在胶带部件的粘结之后使加压手段工作，并将空气以加压状态 引入真空室内部。于是，与工件粘结的胶带部件通过加压被按压于工件上。 因此，能够提高胶带部件对工件的粘结性，能够防止胶带部件容易从工件 剥离的情况。
另外，其他发明在上述发明的基础上进而，设有控制第一吸引手段、 第二吸引手段、空气引入手段以及加压手段工作的控制手段，同时，该控 制手段使第一吸引手段及第二吸引手段工作，并进行真空室及空气引入部 的抽真空；在抽真空之后，使空气引入手段工作并将空气引入空气引入部； 通过该空气的引入，使伸缩薄板部件向真空室内部膨胀；通过伸缩薄板部 件的膨胀，使工件向胶带部件提升并与胶带部件粘结；在胶带部件的粘结 之后，使加压手段工作，并将空气以加压状态引入真空室内部。
在这样构成的情况下，通过利用控制手段的工作控制，首先开始第一吸引手段及第二吸引手段的工作，从而进行抽真空。然后，在该抽真空之 后，通过利用控制手段的工作控制，空气引入手段进行工作。由此，空气 被引入空气引入部。然后，通过该空气的引入，能够使伸缩薄板部件向真 空室的内部膨胀。伸缩薄板部件膨胀的话，工件被向胶带部件提升。由此， 能够使工件粘结于胶带部件。另外，在胶带部件的粘结之后，使加压手段 工作，能够使胶带部件相对于工件的粘结性提高。
进而，其他发明在上述各发明的基础上进而，控制手段在进行真空室 及空气引入部的抽真空时，首先使第二吸引手段工作，然后使第一吸引手 段工作。
在这样构成的情况下，通过第二吸引手段先进行工作，相对于真空室 空气引入部的压力降低。因此，伸缩薄板部件被按压于载置部。这样进行 的话，能够防止伸缩薄板部件先向真空室侧膨胀。因此，能够防止在空气 引入手段工作并引入空气前的阶段工件和胶带部件被粘结，只有在为了不 使气泡进入而进行抽真空之后，才能够使工件和胶带部件粘结。
另外，其他发明在上述各发明的基础上进而，胶带粘结装置设有主体
部、和相对于该主体部开关自如设置的盖体部；在将盖体部相对于主体部 关闭的情况下，将密封闭塞盖体部和主体部之间的密封部件设置于该盖体 部和主体部的边界部分上；同时，在盖体部的闭塞状态下，在该盖体部和 伸缩薄板部件之间形成真空室。
在这样构成的情况下，盖体部相对于主体部开关自如。这样的话，通 过盖体部的开关，能够容易地进行工件和胶带部件的设置、以及胶带部件 被粘结状态的工件的取出。另外，通过密封部件的存在，能够将盖体部和 主体部之间密封闭塞。因此，在第一吸引手段和第二吸引手段工作时，能 够将真空室和空气引入部吸引至真空度高的状态。另外，在使盖体部相对 于主体部关闭的情况下，在该盖体部和伸缩薄板部件之间形成真空室。
进而，其他发明在上述各发明的基础上进而，设有吸附胶带部件的吸 附部件，同时，设有对该吸附部件作用将胶带部件抽真空的吸引保持力的 第三吸引手段。
在这样构成的情况下，通过吸附部件和第三吸引手段，胶带部件被抽 真空。由此，胶带部件通过吸附部件被保持。因此，不需要对胶带部件施 加张力，能够防止因张力负荷胶带部件伸长的情况。另外，由于对胶带部 件不施加张力即可，因此，能够防止在粘结于工件的胶带部件上发生收缩， 能够使胶带部件的粘结状态良好。
6另外，其他发明在上述发明的基础上进而，盖体部设有在该盖体部的 闭塞状态下向上方凹陷的凹部，同时，在该凹部的上底面上嵌入有吸附部 件，并通过吸附部件从上方抑制利用伸缩薄板部件的膨胀的、工件及胶带 部件向上方的移动。
在这样构成的情况下，伸縮薄板部件膨胀的话，工件及胶带部件被提 升。通过该提升，胶带部件到达规定高度位置的话，与吸附部件碰撞，胶 带部件从上方被按压。因此，胶带部件以从上方被按压、同时从下方通过 工件提升的状态实施粘结。即，由于一边从上方按压胶带部件， 一边将工 件向上方提升并按压，因此，能够使工件和胶带部件之间的粘结牢固且确 实。
进而，其他发明在上述各发明的基础上进而，吸附部件以多孔陶瓷为 材质。在这样构成的情况下，使第三吸引手段工作的话，通过吸附部件能 够对胶带部件的整个面均匀地进行吸附保持。因此，能够防止胶带部件上 发生松驰。
另外，其他发明在上述各发明的基础上进而，胶带保持手段设有将胶 带部件的端部与吸附部件一起夹持的夹持部件。在这样构成的情况下，真 空室的内部被抽真空，即使胶带部件的吸引保持力变弱的情况下，由于胶 带部件通过夹持部件被夹持，.因此也能够防止该胶带部件下落。
进而，其他发明在上述各发明的基础上进而，在盖体部和主体部之伺 设有，将盖体部向主体部按压、且防止盖体部打开的开闭锁定手段。
在这样构成的情况下，盖体部的打开通过开闭锁定手段被防止。因此， 即使在通过加压手段将真空室的内部加压的情况下，也能够防止盖体部的 打开，从而将真空室的内部良好地加压。
另外，其他发明是将胶带部件粘结于工件的胶带粘结方法，设有使 位于工件顶部侧的胶带部件保持于胶带保持手段的胶带保持步骤；在工件 载置于伸縮薄板部件的顶面、且通过胶带保持手段使胶带部件以张设状态 位于该工件顶部的状态下，利用第一吸引手段将位于伸缩薄板部件顶面侧 的真空室抽真空，同时，利用第二吸引手段将通过伸縮薄板部件从真空室 被隔开、同时位于该伸縮薄板部件底面侧的空气引入部抽真空的吸引步 骤；检测出通过吸引步骤真空室及空气引入部已到达被设定真空度的真空 到达度检测步骤；在通过真空到达度检测步骤检测出已到达被设定真空度 之后，通过第二吸引手段的工作停止，停止空气引入部的抽真空，同时， 使空气引入手段工作并将空气引入该空气引入部的空气引入步骤；在空气引入步骤之后，使伸縮薄板部件向真空室的内部膨胀，通过相关伸縮薄板
部件的膨胀，使工件向胶带部件提升并与胶带部件粘结的粘结步骤；以及 在将粘结步骤仅实施预先设定的时间之后，使加压手段工作并将空气以加 压状态引入真空室内部的加压歩骤。
在这样的情况下，在吸引步骤中，进行真空室和空气引入部两方的抽 真空。在该吸引步骤之后，在真空到达度检测步骤中进行真空度到达的检 测。然后，检测出已到达被设定真空度的话，此次在空气引入歩骤中使空 气引入手段工作，并将空气引入空气引入部。由此，伸縮薄板部件开始向 作为其顶面侧的真空室侧膨胀。
其后，开始粘结步骤，通过伸缩薄板部件的膨胀工件被提升，并与胶 带部件粘结。将该膨胀仅继续实施规定时间的话，通过膨胀的继续胶带部 件粘结于工件的整个面上。在该粘结之后，在加压歩骤中使加压手段工作 的话，空气以加压状态被引入真空室的内部。由此，粘结于工件的胶带部 件通过加压被按压于工件上。
这样，通过将工件载置于伸缩薄板部件的顶面，并在该载置状态下使 伸缩薄板部件膨胀，能够一边防止气泡进入一边相对于工件粘结胶带部 件。另外，与使工件位于伸缩薄板部件底面的情况相比，能够除去该伸縮 薄板部件松驰的影响。这样，由于松驰被除去，因此不再需要对伸縮薄板 部件赋予大的张力，粘结能够容易进行，另外容易制造出胶带粘结装置。 进而，由于利用伸缩薄板部件的膨胀，因此不需要使工件向上方的胶带部 件移动的特别步骤。因此，能够以简单的方法使工件向胶带部件移动。另 外，通过在加压步骤中对真空室加压，能够提高胶带部件对于工件的粘结 性，能够防止胶带部件容易从工件剥离的情况。
进而，其他发明在上述各发明的基础上进而，吸引步骤在使第一吸引 手段及第二吸引手段工作时，首先使第二吸引手段工作，然后使第一吸引 手段工作。
在这样做的情况下，通过先使第二吸引手段进行工作，相对于真空室 空气引入部的压力降低。因此，伸縮薄板部件不再先向顶面侧的真空室侧 膨胀。因此，能够防止在空气引入手段工作并引入空气前的阶段工件和胶 带部件被粘结。
发明的效果
采用本发明的话，能够除去伸縮薄板部件的松驰，同时能够将胶带部件良好地粘结于工件。另外，也能够谋求工序的简略化及成本的削减。进 而，也能够提高工件和胶带部件之间的粘结强度。


图1是本发明第一实施形态涉及的胶带粘结装置构成的表示图，是在 将晶片配置于橡胶薄板上的状态下透视表示盖体部的俯视图。
图2是图1的胶带粘结装置构成的表示图，是表示关闭盖体部的状态 的俯视图。
图3是图1的胶带粘结装置构成的表示图，是表示关闭盖体部的状态、 同时表示将内部构成的一部分透视状态的侧面图。
图4是将图1的胶带粘结装置的排气系统及控制系统的状况简化表示 的概略构成图。
图5是在图1的胶带粘结装置中，将保持橡胶薄板及胶带部件的构成 中的、紧固环附近扩大表示的部分侧剖面图。
图6是在图1的胶带粘结装置中，将保持橡胶薄板及胶带部件的构成 中的、空气引入部附近扩大表示的部分侧剖面图。
图7是图1的胶带粘结装置构成的表示图，(a)是对表示打开盖体部状 态的内部进行部分透视的侧面图，(b)是从表示关闭盖体部状态的正面侧观 察所得的主要部分剖面图。
图8是将图1的胶带粘结装置中的、盖体部的内部构成透视表示，同 时表示存在于盖体部和主体部之间的锁定机构的安装状况的侧面图。图9是表示图1的胶带粘结装置构成的后视图。
图IO是使用图1的胶带粘结装置将胶带部件粘结于晶片时的动作流 程图。
图11是使用图1的胶带粘结装置使晶片提升并粘结于胶带部件时的 粘结状态的相似图，(a)是相对于胶带部件从晶片的中央部分开始粘结时的 表示图，(b)是相对于胶带部件从倾斜的晶片顶端开始粘结时的表示图。
符号说明
10 胶带粘结装置
11 晶片(工件)
12 胶带部件 20 主体部22 主体顶面部
22b 载置部
24 孔部
25 橡胶薄板
26 紧固环(保持部件)
33 空气管路(第一吸引手段的一部分、第二空气引入手段的一部分)
35 管部件(第一吸引手段的一部分、第二空气引入手段的一部分)
36 真空泵(第一吸引手段的一部分、第二吸引手段的一部分、第三吸
引手段的一部分)
37 第一阀部件(第一吸引手段的一部分、第二空气引入手段的一部
分)
38 空气管路(第二吸引手段的一部分、空气引入手段的一部分)
40 管部件(第二吸引手段的一部分、空气引入手段的一部分)
41 第二阀部件(第二吸引手段的一部分、空气引入手段的一部分)
42 管部件(胶带保持手段的一部分、第三吸引手段的一部分)
43 软管(胶带保持手段的一部分、第三吸引手段的一部分)
44 第三阀部件(胶带保持手段的一部分、第三吸引手段的一部分) 45(45a、 45b) 真空计
50 真空室
51 空气引入部
60 盖体部
61 合叶
62 挡板部件
63 环相接部
64 凹部 64a 上底面
65 嵌合凹部
66 吸附部件(胶带保持手段的一部分)
67 空气管路(胶带保持手段的一部分、第三吸引手段的一部分) 80 锁定机构
90 控制装置(控制手段)
实施发明的最佳形态以下，根据图1 图11对本发明一实施形态涉及的胶带粘结装置10 进行说明。图1是将图2所示的盖体部60进行透视状态的主体部20的俯 视图，是在橡胶薄板25上载置有晶片ll状态的表示图。另外，图2是表 示在胶带粘结装置10中关闭盖体部60状态的俯视图。另外，图3是将胶 带粘结装置10的一部分内部构成(橡胶薄板25等)进行透射状态的侧面图。 另外，图4是将图1的胶带粘结装置10的排气系统及控制系统的状态简 化表示的概略构成图。
如图1所示，主体部20的平面形状，例如为略正方形这样的四角形 状。在主体部20的底面安装有多条(例如四条)支持脚21(参照图3)。另外， 如图3所示，胶带粘结装置IO.设有主体部20、和相对于该主体部20转动 自如地设置的盖体部60。
如图3及图4所示，在主体部20的内部设有相对于盖体部60接近并 相对的主体顶面部22。主体顶面部22，为了阻止在抽真空时被负载的压 力(特别是，从盖体部60侧被负载的垂直载荷)而形成具有适当强度的构 成。另外，支持主体部20的同时成为其一部分的侧壁及底壁，也是具有 能够充分对抗抽真空时所负载压力的强度的构成。
另外，如图1、图3及图4所示，主体顶面部22中，在外周侧安装 有密封环23。密封环23为"0"环状的部件，与后述的盖体部60的环相 接部63相接。由此，能够将胶带粘结装置IO的内部从外部(大气)密闭， 对该胶带粘结装置10的内部抽真空。
另外，主体顶面部22中，在相对于密封环23更靠近中央部侧上(参 照图1及图4，以下称为"内径部22a")设有载置部22b(参照图4)。载置 部22b是用于载置后述橡胶薄板25的部分。而且，载置部22b为了防止 在其上方侧(盖体部60侧)被吸引排气的情况下向上方侧弯曲，而具有充分 的厚度。
在载置部22b的大致中央部分上设有孔部24(参照图4及图6)。该孔 部24嵌入有后述的空气管路38。而且，通过该空气管路33，可以吸引存 在于后述空气引入部51中的空气，或将空气提供到空气引入部51。因此， 孔部24成为被橡胶薄板25覆盖的状态。
而且，空气引入部51在图4、图6等中，是孔部24中的、被橡胶薄 板25和开口部39包围的部分。但是，橡胶薄板25向上底面64a侧膨胀 的话，空气引人部51的区域也被扩大，不但是被孔部24和开口部39等 包围的部分，而且被载置部22b的顶面和橡胶薄板25包围的部分也成为空气引入部51。
另外，在以下的说明中，将由密封环23、环相接部63、内径部22a 以及橡胶薄板25包围的空间作为真空室50。
另外，在载置部22b中，为了覆盖孔部24而设有作为伸缩薄板部件 的橡胶薄板25。该橡胶薄板25是在其顶面搭载有作为工件的晶片11的部 件。如下文所述，在橡胶薄板25上搭载有晶片11的状态下使橡胶薄板25 向上侧鼓起的话，晶片11向后述的胶带部件12上升。
橡胶薄板25，例如由氯丁橡胶这样的能够降低气泡发生的材质构成。 但是，橡胶薄板25的材质不限于该氯丁橡胶，使用通常的天然橡胶或合 成橡胶等也可以。而且，作为橡胶薄板25的理想材质，是如上述氯丁橡 胶那样的能够防止气泡发生的材质。
另外，在本实施形态中，搭载于橡胶薄板25顶面的晶片11，其直径 为12英寸。但是，b曰b.片11的尺寸并没有特别限定，例如8英寸晶片等、 其他尺寸也可以。而且，在改变晶片11尺寸的情况下，相应地其他部件(橡 胶薄板25、紧固环26等)的尺寸也被改变。但是，例如向8英寸晶片等的 小尺寸晶片11粘结时，也可以利用对应于12英寸晶片11的粘结的胶带 粘结装置10。
如图1及图5所示，在作为橡胶薄板25顶部的外周边缘部上，安装 有外观呈大致环状的、作为保持部件的紧固环26。紧固环26是用于按压 橡胶薄板25的部件。该紧固环26，是相对于内径部22a例如通过螺钉 26a(参照图l)从其上方侧进行按压的，并沿着圆周方向以适当的间隔被固 定。而且，利用该螺钉26a进行固定时，形成该螺钉26a贯穿橡胶薄板25 的状态。因此，也可以对橡胶薄板25预先形成与螺钉26a的贯穿孔对应 的孔。
另外，如图4所示，为了将真空室50抽真空，在该真空室50的内部 配置有空气管路33的端部侧。该空气管路33的一端部33a，分支为四条(图 4是剖面图，所以仅表示两条)。而且，分支的各空气管路33的开口部34， 如图4所示那样存在于真空室50的内部。而且，开tl部34在本实施形态 中配置为，在图l所示的俯视图中形成大致90度间隔。另外，开口部34 存在于作为密封环23内部侧的内径部22a的紧固环26和密封环23之间。 但是，开口部34的位置不限于该部位，例如也可以设置在悬挂于紧固环 26上方的部位。
另外，空气管路33贯穿内径部22a，在主体部20的下方或主体部20
12的外部从分支状态合流为一条(参照图4)。另外，空气管路33的另一端部 33b，从主体顶面部22的底壁22c向下方突出。而且，相对于该另一端部 33b，将管部件35的一端部连接，并将该管部件35的另一端部35b连接 于真空泵36。由此，真空泵36进行工作的话，能够将真空室50抽真空。
另外，管部件35的中途部分设有第一阀部件37。该第一闽部件37， 为了将真空室50的内部抽真空，能够转换为与真空泵36侧连通(以下， 将该转换称为"向吸引侧的转换")，同时，也能够转换为向大气引入侧 开放(图3中向突出管部35a侧的转换；以下，将该转换称为"向大气引 入侧的转换"。)。通过第一阀部件37的转换，管部件35被向大气引入 侧开放的话，通过该管部件35，大气被引入真空室50的内部。另外，作 为第一阀部件37，例如可以使用通过电磁铁而可开关的电磁阀，但是也可 以是使用电动机等的其他驱动源进行开关的方式。
另外，在本实施形态中，真空泵36设置在主体部20的外部。但是， 也可以采用将真空泵36内装于主体部20内部的构成。而且，由该真空泵 36、空气管路33、管部件35、第一阀部件37等构成第一吸引手段。另外， 由第一阀部件37、空气管路33、管部件35、突出管部35a等构成第二空 气引入手段。
另外，这些真空泵36以及第一阀部件37，连接于后述的控制装置90， 在接收到对应于来自该控制装置90的控制指令的信号之后进行工作。
另外，如图4及图6所示，朝向橡胶薄板25的背面侧设有与上述空 气管路33同样的空气管路38。该空气管路38与空气管路33不同，仅设 置一条以插通上述孔部24。另外，空气管路38的开口部39，存在于该孔 部24的内部(参照图6)。而且，在本实施形态中，由于孔部24位于内径 部22a的中心，因此形成开口部39也位于内径部22a的中心的构成。
另外，与上述空气管路33同样地，空气管路38的另一端部38b从主 体顶面部22的底壁22c向下方突出，同时，管部件40的一端侧连接于该 另一端部38b。另外，管部件40的另一端部连接于真空泵36。由此，真 空泵36进行工作的话，则能够将空气引入部51抽真空。
另外，在管部件40的中途部分也设有第二阀部件41。该第二阀部件 41也与上述第一阀部件37同样地能够转换为与真空泵36侧连通(向吸引 侧的转换)，同时，通过突出管部40a能够转换为向大气引入侧开放。通 过第二阀部件41的转换，管部件40向大气引入侧开放的话，通过该管部 件40，大气被引入空气引入部51。另外，第二闽部件41也电连接于控制装置90。
而且，由真空泵36、第二阀部件41、空气管路38、管部件40构成 第二吸引手段。另外，由第二阀部件41、空气管路38、管部件40、突出 管部40a等构成空气引入手段。
进而，如图4所示，在主体部20的内部设有与上述管部件35、 40同 样的管部件42。该管部件42例如朝向主体部20的后端侧(合叶61侧)， 其一端侧42a从主体部20的背面突出。而且，也可以在管部件42的一端 侧42a上安装管接头。在管部件42的一端侧42a上连接有能够灵活弯曲 的软管43的一端侧43a。软管43从主体部20向上方的盖体部60侧延伸， 同时，沿着盖体部60的顶面侧从合叶61侧向外侧(图1及图2所示的手 柄73a侧)而设置。而且，软管43的另一端侧43b，在盖体部60顶面的径 向大致中心部分上，与后述的空气管路67的一端侧连接。
这样，由于在管部件42和空气管路67之间设有灵活弯曲的软管43， 因此能够对应盖体部60的开关(转动)。
另外，在管部件42的中途部分上设有与上述第一阀部件37及第二阀 部件41同样的第三阀部件44。第三阀部件44也能够转换为与真空泵36 侧连通(向吸引侧转换)，同时，通过突出管部42b能够转换为向大气引入 侧开放。而且，管部件42向大气引入侧开放的话，通过该管部件42，大 气被引入胶带部件12的背面侧(图4中胶带部件12的顶面侧)。由此，胶 带部件12的保持状态被解除。另外，第三阀部件44也电连接于控制装置 90。
而且，由真空泵36、管部件42、软管43、第三阀部件44、空气管路 67构成第三吸引手段。另外，由后述的吸附部件66、真空泵36、管部件 42、软管43、第三阀部件44、空气管路67、夹持部件70构成胶带保持手 段。
在此，在本实施形态中，如上述那样通过使用柔软的软管43将利用 真空泵36而产生的吸引力传递到盖体部60侧，同时对应盖体部60的开 关(转动)。但是，用于将利用真空泵36而产生的吸引力传递到盖体部60 侧的构成，并不限于使用软管43。例如，一 也存在要求用于抽真空的软管 43等的部件从胶带粘结装置IO不向外部突出的构成的情况。
在这样的情况下，例如在盖体部60的环相接部63上形成盖侧开口， 同时，在主体顶面部22中的与盖侧开口相对的部位上形成主体侧开口。 与此同时，在盖侧开口或主体侧开口的至少一方的周围，安装环状的橡胶密封并使其突出。另外，在盖侧开口上连接管部件的一端侧，并使该管部
件的另一端侧与凹部64连通。另外，在主体侧开口上设置与上述同样的 空气管路。这样做的话，在关闭了盖体部60时，管部件和空气管路连接。 另外，橡胶密封介于环相接部63和主体顶面部22之间，形成将盖侧开口 和主体侧开口双方密封塞住的状态。
另外，在主体部20和盖体部60相对的部位中的、合叶61存在的部 位上，设置弯曲自如且伸缩自如的蛇纹状管接头，并通过该管接头将设置 于主体部20内部的管部件和在盖体部60内部行进的空气管路连接也可 以。
另外，在本实施形态中，真空泵36仅设置一个。另外，通过将第一~ 第三阀部件37、 41、 44转换到大气引入侧及吸引侧，能够将真空室50、 空气引入部51及胶带部件12背面侧(顶面侧)中的至少一个抽真空或大气 压化。
但是，真空泵36不限于一个，也可以分别对应第一吸引手段、第二 吸引手段及第三吸引手段，设置两个或三个及三个以上的真空泵36。另外， 也可以不使用第一阀部件37、第二阀部件41及第三阀部件44这样的三通 阀，而将吸引侧的阀部件及大气引入侧的阀部件的双方分别设置于管部件 35、管部件40及管部件42。即使这样，也能够将真空室50、空气引入部 51及胶带部件12背面侧(顶面侧)的吸引/非吸引良好地进行转换。
进而，如图3所示，在主体部20的侧壁外面安装有真空计45。该真 空计45，在本实施形态中设有两个。但是，在本实施形态中，以对应于管 部件35、 40、 42的个数而设置三个为佳。该真空计45中的一个是用于测 量真空室50内部的气压的(以下，根据需要称为"真空计45a")。另外， 真空计45中的另一个是用于测量空气引入部51气压的(以下，根据需要 称为"真空计45b")。而且，该两个真空计45a、 45b也连接于控制装置 90。
另外，在主体顶面部22中的、例如后述最远离合叶61的两个角部分 中的一方角部分22d(参照图l)上，设有传感器46。传感器46是，例如使 用磁传感器检测相对于主体部20盖体部60是否关闭至接近至规定位置的 部件。而且，该传感器46也连接于控制装置90，并对该控制装置90发送 盖体部60是否关闭的检测信号。然后，控制装置90仅在接收到对应于盖 体部60呈关闭状态的检测信号时，对真空泵36等发送对应于工作的信号。
接着，对盖体部60的构成进行说明。如图l、图2及图5所示，盖体部60通过合叶61连接于主体部20。即，将合叶61作为支点，盖体部 60可以进行转动。另外，如图l所示，在盖体部60上安装有两个挡板部 件62的各一端侧62a。另外，挡板部件62的各另一端侧62b安装于主体 顶面部22上。该挡板部件62伸缩自如，同时，通过存在于内部的粘性体 (油等)的粘性阻力来防止盖体部60相对于主体部20急剧下降。
而且，挡板部件62也内装有弹簧部件(未图示)，能够维持盖体部60 打开的状态(例如，图7(a)所示的状态)。但是，在没有必要维持盖体部60 打开状态的情况下，也可以作为省略弹簧部件的构成。
另外，如图3及图4所示，盖体部60中的、与主体部20的密封环 23相接的部分成为环相接部63。环相接部63通过与密封环23的相接， 将真空室50密闭。而且，为了良好地进行该密闭，环相接部63由在本实 施形态中呈同一平面的、平板状部分构成。
如图3 图5所示，在作为盖体部60中的与主体部20相对的相对面、 且相对于环相接部63更靠内径侧的部位上形成凹部64。该凹部64形成比 环相接部63更凹陷的状态。该凹部64具有与上述内径部22a相对应的大 小。因此，关闭盖体部60，形成密封环23与环相接部63相接的密闭状态 的话，出观被该凹部64、密封环23、内径部22a及橡胶薄板25所包围的 空间。而且，该空间成为真空室50。
另外，凹部64中位于上方的底面(以下，称为"上底面64a")，在橡 胶薄板25膨胀时，成为将胶带部件12的边缘部向上方的移动进行抑制(挡 住)的部分。因此，凹部64挡住胶带部件12的边缘部，且其深度被设定 为'能够良好地进行该胶带部件12相对于晶片11的粘结。
在凹部64上设有嵌合凹部65。嵌合凹部65是从凹部64向顶面侧凹 陷的都位，另外其直径被设置为比凹部64的直径小。在该嵌合凹部65上 嵌入有，例如如多孔陶瓷那样的由多孔材质构成的吸附部件66。通过该吸 附部件66,胶带部件12被吸引保持。而且，吸附部件66对应于向嵌合凹 部65的嵌入，具有比该嵌合凹部65稍小的尺寸。
另外，如图4及图6所示，在盖体部60上设有空气管路67。空气管 路67被设置为其剖面形状呈大致"L"字状。由此，空气管路67的一端 侧以沿着盖体部60顶面的状态被设置，同时，空气管路67的另一端侧以 贯穿盖体部60并到达嵌合凹部65的状态被设置。而且，将空气管路67 的另一端侧中的相对于嵌合凹部65开口的部分作为开口部68。另外，在 本实施形态中，在盖体部60的顶面设有固定部件67a，空气管路67通过该固定部件67a安装于盖体部60的顶面。
在此，以在嵌合凹部65上设置比该嵌合凹部65的上底面65a稍微凹 陷的凹陷部69为佳。该情况下，凹陷部69形成直径比嵌合凹部65的直 径小的形状，并以凹陷部69以外的嵌合凹部65的上底面65a挡住吸附部 件66的外周部分。在存在该凹陷部69的情况下，凹陷部69和吸附部件 66之间产生的负压被大面积化。因此，吸附部件66对晶片ll能够以大面 积的状态进行吸附。
另外，如图3、图5及图8所示、在作为嵌合凹部65外侧的、凹部 64的内部，设有用于固定胶带部件12角部的夹持部件70。如图5所示， 夹持部件70设有片簧71,该片簧71的一端侧通过螺钉72安装于凹部64 上。另外，片簧71的另一端侧通过作用力被按压于上底面64a，但是，片 簧71的另一端侧也可以一边抗拒片簧71的作用力一边打开。而且，在本 实施形态中，夹持部件70在凹部64的圆周方向上以大致90的间隔设置 有四个。
另外，在作为盖体部60的侧壁部分的、与合叶61相对的部分上，安 装有手柄73a。因此，操作者能够把持手柄73a将盖体部60容易地开关。 而且，在主体部20的侧壁部分上相对地设置各两个、合计四个的手柄73b。 通过握住该手柄73b，可以容易地使胶带粘结装置IO移动。
另外，如图2、图8及图9所示，在胶带粘结装置IO上设有作为开 闭锁定手段的锁定机构80。锁定机构80设有安装于主体部20侧的块部 81。在该块部81上设有螺钉孔82，在该螺钉孔82中旋入有杆部件83的 螺钉部84。另外，杆部件83设有螺钉部84、和向从该螺钉部84的轴线 偏离的方向突出的把持部85。
其中，在螺钉部84上形成有用于与螺钉孔82螺合的螺纹牙。在该螺 钉部84上插通有夹紧部件86。另外，把持部85是操作者把持的部分，通 过该把持能够使杆部件83旋转。
插通于螺钉部84的夹紧部件86是长方体部件，设置为相对于螺钉部 84转动自如。该夹紧部件86的纵向可以配置为相对于盖体部60的侧边缘 方向垂直，在该情况下，夹紧部件86悬挂于盖体部60的顶部，盖体部60 的开放被阻止。另外，夹紧部件86的纵向也可以配置为相对于盖体部60 的侧边缘方向平行，在该情况下，夹紧部件86不悬挂于盖体部60的顶部， 形成允许盖体部60开放的状态。
而且，在本实施形态中，在盖体部60中的、与夹紧部件86相对的部
17位上安装有螺栓87，并形成夹紧部件86与该螺栓87相接的构成。
另外，如图4所示，在胶带粘结装置IO上设有作为控制手段的控制 装置90。控制装置90如上述那样，与真空泵36、第一 第三阀部件37、 41、 44、真空计45、传感器46电连接。该控制装置90上连接有用于进行 打开(ON)工作的操作按钮(未图示)。因此，在传感器46许可打开工作的 盖体部60的闭塞状态下，操作者按下操作按钮的话，则真空泵36进行工 作。
在此，控制装置90分别对第一 第三阀部件37、 41、 44发送控制信 号，从而最初将第二阀部件41及第三阀部件44转换到吸引侧，同时，维 持将第一阀部件37转换到大气引入侧的状态，仅规定时间进行橡胶薄板 25及晶片11的抽真空。而且，在经过规定时间后，对第一阀部件37发送 控制信号，将第一阀部件37从大气引入侧转换到吸引侧，并对真空室50 也进行抽真空。
另外，控制装置90在通过传感器46检测到真空室50及空气引入部 51巳到达规定真空度的情况下，对第二阀部件41发出用于转换到大气引 入侧的控制指令。由此，橡胶薄板25膨胀，开始晶片11和胶带部件12 之间的粘结。进而，在从该状态经过规定时间粘结结束之后，控制装置90 对第一阀部件37发出用于转换到大气引入侧的控制指令。通过相关的转 换，真空室50及空气引入部51的双方均成为等同于大气压的状态，粘结 动作结束。
进而，控制装置90使真空泵36逆转，同时将第一阀部件37或第三 阀部件44转换到与吸引侧相同的一侧。由此，空气以加压状态被引入真 空室50的内部。而且，不采用使真空泵36逆转的构成，而是通过将连接 于真空泵36的排出腔的管部件、和另外连接于真空泵36流入侧的可引入 大气的管部件之间的连接进行转换等，来实现真空室50内部的加压状态 的构成也可以。
而且，作为上述规定的真空度，将约20Pa左右的情况作为一例举出。 但是，规定的真空度不限于此，只要是比大气压低的状态，任何真空度都 可以。另外，控制装置90也可以构成为，在粘结结束之后进行将第一阀 部件37转换到大气引入侧的工作，同时，对真空泵36发出控制指令，以 使真空泵36停止。但是，在该情况下，与使真空泵36继续动作的情况相 比，接下来的抽真空时的吸引时间稍微变长。
以下，对于具有以上那样构成的胶带粘结装置10的作用(动作)进行说明。而且，对于该作用(动作)，是根据图IO所示的动作流程而实施的。 最初，操作者使盖体部60开放，将晶片11载置于橡胶薄板25上， 同时，将胶带部件12安装于夹持部件70上(步骤S10)。此时，形成胶带 部件12通过片簧71和上底面64a被夹持的状态。由此，胶带部件12的 背面，形成与吸附部件66相接的状态，同时，胶带部件12的粘着面(表 面)形成朝向下方的状态。
而且，在通过夹持部件70安装胶带部件12的情况下，也可以使真空 泵36工作。在使真空泵36在盖体部60的开放状态中工作的情况下，通 过管部件42、空气管路67吸引保持力传递到吸附部件66。由此，形成胶 带部件12通过吸附部件被吸引保持的状态。而且，通过该胶带部件12的 吸引保持，在盖体部60的开放状态中，形成胶带部件12上没有折皱的状 态。
接下来，使盖体部60相对于主体部20下降，直至通过传感器46检 测出盖体部60已关闭(歩骤Sll)。然后，控制装置90判断传感器46是否 已检测出利用该下降的盖体部60的闭塞状态(步骤S12)。然后，在传感器 46检测出闭塞状态的情况下，控制装置90许可真空泵36的工作。在该状 态下，操作者按下操作按钮时，真空泵36开始工作。
另外，在盖体部60变为关闭状态之后，操作者使夹紧部件86旋转， 并形成该夹紧部件86的前端部分悬挂于盖体部60顶面的状态。在这之后， 操作者把持杆部件83，并使该杆部件83向关闭方向旋转，使夹紧部件86 的底面与螺栓87相接。在该相接状态下，进一步使杆部件83向关闭方向 旋转的话，盖体部60通过夹紧部件86被按压，环相接部63被按压于密 封环23上。而且，在使杆部件83旋转的情况下，以使全部的杆部件83 依次一点一点地旋转，在锁定状态下不产生偏心为佳。
而且，使杆部件83仅进行规定关闭旋转的话，通过环相接部63密封 环23被按压并发生弹性变形，形成真空室50的内部从外部被密封闭塞的 状态(步骤S13)。这样，通过锁定机构80将盖体部60的开放锁定的话， 即使真空室50的内部被加压，盖体部60也不会提升开放，能够将真空室 50从外部进行密封。
接着，操作者按下操作按钮的话，控制装置90便检测出该压入，并 对真空泵36发出工作用的指令。由此，真空泵36进行工作，进行真空室 50、胶带部件12及橡胶薄板25的抽真空(对应于吸引步骤)。而且，在盖 体部60的开放状态中，在进行胶带部件12的吸引保持的情况下，形成该吸引保持继续的状态。另外，在上述真空泵36工作时，首先将第二阀部 件41及第三阀部件44转换到吸引侧，同时，将第一阀部件37转换到大 气引入侧，然后先进行胶带部件12及橡胶薄板25的抽真空(步骤S14)。
然后，在将该胶带部件12及橡胶薄板25的抽真空进行规定时间之后， 将第一阀部件37从大气引人侧转换到吸引侧，并将真空室50与胶带部件 12及橡胶薄板25 —起进行抽真空(步骤S15)。
真空泵36进行规定时间的抽真空的话，通过真空计45检测出真空室 50及橡胶薄板25的背面侧已达到规定的真空度(步骤S16，对应于真空到 达度检测步骤)。该真空计45检测规定真空度的话，将规定的检测信号发 送给控制装置卯。这样的话，控制装置90在维持真空泵36的工作不变的 状态下，将第二阀部件41转换到大气引入侧(步骤S17，对应于空气引入 步骤)。由此，通过突出管部40a大气被引入空气引入部51中。
大气被引入空气引入部51的话，通过真空室50和空气引入部51之 间存在的压力差，橡胶薄板25向真空室50侧膨胀。该情况下，通过橡胶 薄板25的膨胀，晶片ll被提升，该晶片11的顶面与胶带部件12接触。 然后，相对于晶片11的顶面，胶带部件12开始粘结(步骤S18，对应于粘 结步骤)。
在此，晶片11的顶面和胶带部件12之间的粘结状态，存在如图ll(a)、 (b)所示那样的两种情况。首先，作为其第一种，是如图ll(a)所示那样的 晶片11相对于胶带部件12不倾斜而维持平行的状态，并从该晶片11顶 面的大致中央部分对胶带部件12进行粘结的情况。
在该情况下，晶片11通过橡胶薄板25的膨胀被提升的话，相对于通 过吸附部件66的保持消除了松驰的胶带部件12，从晶片11的中央部进行 接触。在从该接触状态橡胶薄板25进一步膨胀时，橡胶薄板25的中央部 分由于晶片11的中央部接触到胶带部件12而无法继续移动，但是，接着 橡胶薄板25的周边侧通过膨胀向上方移动，并使晶片ll依次接触胶带部 件12。
因此，晶片11随着橡胶薄板25膨胀，周边部的弯曲不再存在，相对 于胶带部件12从中心侧向周边侧依次进行粘结。而且，在保持该状态不 变的情况下，经过规定时间的话，晶片11和胶带部件12之间的粘结形成 被确实实施的状态。
在以上那样的粘结状态中，一边使空气从晶片ll(胶带部件12)的中央 部分向外方逸出， 一边实施晶片11的顶面和胶带部件12之间的粘结。而且，在该粘结状态中，真空泵36继续将真空室50侧抽真空的状态。因 此，与上述粘结状态相辅相成，通过存在于晶片ll顶面和胶带部件12之 间的空气被排除，晶片11和胶带部件12的粘结能够以良好的状态进行。
另外，作为粘结状态的第二种，是如图ll(b)所示那样的、在晶片ll 相对于胶带部件12倾斜的状态下、从该倾斜的晶片11中的最高部分(以 下，称为"顶端")对胶带部件12进行粘结的情况。在该情况下，首先从 倾斜的晶片11中的顶端开始对胶带部件12进行粘结。目卩，晶片11随着 橡胶薄板25的膨胀而被提升的话，相对于通过吸附部件66的保持消除了 松驰的胶带部件12，从晶片11中的顶端开始粘结。
在此，由于胶带部件12通过吸附部件66被保持，因此即使胶带部件 12通过晶片11被按压，胶带部件12也不向上方移动。因此，橡胶薄板 25慢慢膨胀的话，则将晶片11中的向胶带部件12的接触部分(顶端部分) 作为支点、且在晶片11的倾斜角度慢慢变窄的状态下提升该晶片11。然 后，该晶片11的提升实施到直至晶片11的倾斜角度变为零为止。而且， 晶片11的倾斜角度变为零并经过规定时间的话，则形成晶片11和胶带部 件12之间的粘结被确实实施的状态。
在如上所述的粘结状态中，一边使空气从晶片ll(胶带部件12)的顶端 向另一方侧的端部逸出， 一边实施晶片11的顶面和胶带部件12之间的粘 结。而且，在该粘结状态中，真空泵36也继续着将真空室50侧进行抽真 空的状态。因此，与上述粘结状态相辅相成地，通过存在于晶片ll顶面 和胶带部件12之间的空气被排除，晶片11和胶带部件12的粘结能够以 良好的状态进行。
如以上那样，控制装置90在继续第一阀部件37的向吸引侧的转换状 态不变的状态下，使第二陶部件41的向大气引入侧的转换继续规定时间 (步骤S19)。由此，形成晶片11和胶带部件12之间的粘结被实施的状态。
而且，相对于晶片11胶带部件12被粘结时，由于通过空气管路38 和空气管路67被同时进行排气，因此最终真空室50和胶带部件12背面 侧形成相同的压力。因此，进行抽真空的话，胶带部件12形成容易从吸 附部件66脱离的状态。
在步骤S19中，在控制装置90判断为经过规定时间的情况下，控制 装置90使真空泵36逆转，同时，将第三阀部件44转换到与抽真空相同 的一侧(加压侧)。同时，将第一阀部件37及第二阀部件41关闭。
由此，胶带部件12从吸附部件66脱离，同时，通过空气管路67空气以加压状态引入到真空室50。该情况下，首先通过解除对真空室50的 抽真空，橡胶薄板25的膨胀被解除，形成橡胶薄板25载置于载置部22b 上的状态。接着，真空室50处于比大气压高的加压状态，胶带部件12向 晶片11被按压并被加压(步骤S20，对应于加压步骤)。通过相关加压，胶 带部件12和晶片11之间的密封性得以提髙。
而且，在本实施形态中，通过加压赋予胶带部件12等的压力为，每 lci^为4 5kg左右。另外，不仅第三阀部件44，将第一阀部件37转换 到与抽真空相同的一侧(加压侧)也可以。该情况下，不仅通过空气管路67， 也可以通过空气管路33对真空室50以加压状态引入空气。
另外，将真空泵36对应第一 第三阀部件37、 41、 44的个数而设置 的情况下，使连接有第一阀部件37和第三阀部件41的真空泵36中的至 少一方进行逆转，并将真空室50的内部加压。另外，将第二阀部件41转 换到大气引入侧，同时使真空泵36停止，或者将第二阀部件41转换到抽 真空侧，同时使真空泵36正转，从而将空气引入部51抽真空。这样做的 话，能够使胶带部件12良好地紧贴于晶片11。
在控制装置90判断出真空室50的加压状态已经过规定时间的情况 下，控制装置90使真空泵36的工作停止，将第一 第三阀部件37、 41、 44转换到大气引入侧(步骤S21)。由此，胶带部件12的背面侧、真空室 50及空气引入部51，变为大气压，上述加压状态被解除。
而且，在上述步骤S21中，将第一 第三阀部件37、 41、 44转换到 大气引入侧时，真空泵36的工作维持继续不变的状态。由此，能够迅速 地对应接下来的对晶片11的粘结作业。但是，也可以使相关工作停止。
之后，操作者使杆部件83向打开方向旋转，使盖体部60开放。然后， 操作者将利用夹持部件70的胶带部件12的保持解除，并将胶带部件12 被粘结状态的晶片11取出(步骤S22)。如以上那样，对晶片ll顶面的胶 带部件12的粘结结束。
而且，在对晶片ll顶面的胶带部件12的粘结结束以后，例如向切割 工序这样的下一工序移动。
如果采用这样构成的胶带粘结装置10，能够利用橡胶薄板25的膨胀， 使胶带部件12粘结于晶片11的顶面。因此，虽然是简便的构成，但是通 过大气压和真空状态之间的压力差，能够确实地使胶带部件12粘结于晶 片11的顶面。特别是，通过使用橡胶薄板25，即使相对于胶带部件12 晶片11以所谓的一端接触的状态进行接触，通过橡胶薄板25的弹性变形，也能够容易地恢复晶片11的姿态。因此，能够使对于晶片11顶面的胶带
部件12的粘结性良好。
另外，在使用上述胶带粘结装置IO的情况下，能够将真空室50的内 部加压。因此，能够使晶片11和胶带部件12之间的紧贴性进一步提高， 能够更确实地进行晶片ll和胶带部件12之间的粘结。因此，能够防止胶 带部件12容易从晶片ll剥离的情况。
另外，在橡胶薄板25的顶面载置有晶片11。因此，能够除去橡胶薄 板25的松驰的影响。这样，因松驰的影响被除去，所以不具备对橡胶薄 板25赋予大的张力的构成即可，能够谋求构成的简单化。另外，由于对 橡胶薄板25赋予的张力小即可，因此能够削减制造胶带粘结装置10的操 作者的工时。另外，在以紧固环26按压橡胶薄板25时，能够使密封性提 高。
进而，由于利用橡胶薄板25的膨胀，因此不需要使晶片11向上方的 胶带部件12移动的特别构成。因此，能够以简便的构成使晶片11向胶带 部件12(向上方)移动。
另外，胶带部件12通过吸附部件66被吸附保持。因此，不再需要另 外设置例如胶带框架这样的用于张设胶带部件12的部件、及支持用于张 设的部件用的手段，能够使存在于凹部64内部的构成简单化。另外，由 于胶带部件12通过吸附部件66被吸附保持，因此不需要对胶带部件12 施加张力，能够防止由于张力负荷胶带部件12伸长的情况。另外，在保 持胶带部件12时，由于未张设该胶带部件12，因此对胶带部件12不施加 张力即可。因此，能够防止粘结于晶片11的胶带部件12上发生对应于张 力的收縮，能够使胶带部件12的粘结状态良好。
另外，吸附部件66由多孔陶瓷构成。因此，能够横贯胶带部件12的 整个面确实地、且均匀地吸附保持。由此，能够防止胶带部件12上发生 松驰。
进而，胶带部件12通过夹紧部件70被夹持。由此，即使真空室50 的内部被抽真空，在胶带部件12的表面和背面不产生压力差，也能够防 止胶带部件12从吸附部件66上落下。由此，能够使胶带部件12良好地 粘结于晶片11。
另外，在盖体部60和主体部20之间设有锁定机构80。使用该锁定 机构80将盖体部60的开放进行锁定的话，即使真空室50的内部被加压， 也能够防止盖体部60提升并开放的情况。由此，能够将真空室50从外部进行密封，能够继续加压状态。
进而，控制装置90与真空泵36、第一 第三阀部件37、 41、 44、真 空计45、传感器46连接，并能够控制这些部件的工作。特别是，控制装 置90使真空泵36工作并对真空室50及空气引入部51进行抽真空，在该 抽真空之后，使第二陶部件41向大气引入侧工作并将大气引入空气引入 部51。由此，能够使橡胶薄板25向真空室50侧膨胀，利用消除了松驰的 橡胶薄板25的膨胀，能够确实地使胶带部件12粘结于晶片11的顶面。
另外，控制装置90在对真空室50及空气引入部51进行抽真空时， 将第一阀部件37转换到大气引入侧，同时将第二阀部件41转换到抽真空 侧，然后先进行空气引入部51的吸引排气。因此，相对于真空室50空气 引入部51的压力最初是降低的。因此，橡胶薄板25向载置部22b被按压， 防止先向真空室50侧的膨胀。由此，能够防止在第二阀部件41工作转换 到大气引入侧前的阶段，晶片11和胶带部件12粘结的情况。
另外，控制装置90在将第二阀部件41转换到大气引入侧并经过规定 时间之后，进行控制使真空泵36逆转，同时使第三阀部件44转换到与抽 真空相同的一侧(加压侧)。由此，通过空气管路67空气以加压状态 引入到真空室50，胶带部件12向晶片11被按压。由此，能够提高胶带部 件12对于晶片11的粘结性(密合度)，能够防止胶带部件12容易从晶片 11剥离的情况。
以上，对本发明一实施形态进行了说明，但是本发明除此之外可以进 行各种各样的变形。以下，对此进行说明。
在上述实施形态中，将晶片11载置于橡胶薄板25的顶面。但是，在 该橡胶薄板25的顶面载置例如以树脂为材质的薄板状部件，在该薄板状 部件的顶部载置工件也可以。这样做的话，能够防止由橡胶薄板25摩擦 等产生的尘埃附着于工件上的情况，能够削减之后的使用洗涤处理装置的 洗涤工序等。
另外，在上述实施形态中，将密封环23安装于主体顶面部22上。但 是，密封环23也可以安装于盖体部60侧上。这样构成的情况下，主体顶 面部22上设有环相接部。
进而，在上述实施形态中，对作为伸缩薄板部件，使用了橡胶薄板 25的情况进行了说明。但是，伸縮薄板部件不限于橡胶薄板25，例如也 可以将弹性树脂等的树脂作为材质等、由橡胶材质以外的材质构成。另外， 在上述实施形态中，对作为保持部件，使用紧固环26的情况进行了说明。但是，保持部件不限于紧固环26，例如也可以将具有涂敷于内径部22a 上的粘结剂等的粘结性的材质作为保持部件进行使用。另外，保持部件的 形状不限于环状，可以采用外径呈多角形的环形状等各种各样的形状。
另外，在上述实施形态中，对胶带保持手段设有吸附部件66,通过 该吸附部件66吸附保持胶带部件12的情况进行了说明。但是，用于保持 胶带部件12的构成不限于此。例如，采用使用环状的胶带框架张设胶带 部件12的构成也可以。
另外，在本实施形态中，为了吸附保持胶带部件12，使用了将多孔 陶瓷作为材质的吸附部件66，但是，吸附部件只要是多孔质体，任何材质 都可以。作为多孔质体的另一例，可举出海棉体。
另外，作为控制手段，可以是控制条件预先被设定的构成，也可以是 操作者方面能够任意地设定控制条件的构成。进而，密封部件只要是能够 将主体部20和盖体部60之间密封闭塞的构成，任何形状、构成都可以。
另外，作为工件，也可以采用晶片以外的液晶等的玻璃电路板和特殊 玻璃材料、有机EL用的玻璃电路板等。另外，在上述实施形态中，在真 空化之后将大气(空气)引入，但是，引入空气以外的例如氩气等，作为加 压状态也可以。
另外，在上述实施形态中，对作为开闭锁定手段，使用了锁定机构 80的情况进行了说明。但是，开闭锁定手段不限于锁定机构80。例如， 也可以构成为在主体部20侧设置插入孔，同时在盖体部60侧设置边接受 弹簧的作用力边转动的爪部，在盖体部60关闭的情况下爪部嵌入插入孔， 通过爪部在插入孔内部的卡定，盖体部60的开放被锁定。另外，也可以 采用省略开闭锁定手段的构成。
另外，胶带部件12不限于上述实施形态中的部件，只要能够与工件 的表面粘结，可以使用UV固化型胶带、偏振光薄膜、保护板、透明电极 等各种各样的部件。
另外，在上述实施形态中，也可以在胶带粘结装置IO的内部设置用 于使粘结于工件表面的胶带部件12剥离的剥离机构。该情况下，例如在 盖体部60或主体部20的内部设置作为用于将胶带部件12剥离的剥离机 构的吸引保持机构，或在胶带粘结装置IO的内部设置将胶带部件12的端 部抓住并剥离等的机构也可以。另外，在设置吸引保持机构的情况下，也 可以采用利用上述真空泵36的吸引的构成。
通过具备这样的剥离机构，能够在被抽真空的胶带粘结装置10的内
25部将胶带部件12剥离。因此，在胶带剥离时，能够防止尘埃附着于玻璃 电路板表面。特别是，在目前状况下，即使在净化车间内将胶带部件12 剥离，防止尘埃附着于工件表面上也是困难的，但是，在利用本实施形态 的胶带粘结装置10的情况下，由于在真空内部进行胶带部件12的剥离， 因此能够更确实地防止尘埃附着于工件。
另外，也可以另外将用于在将胶带部件12粘结于晶片11或玻璃电路 板上之后切断胶带部件12的机构设置于胶带粘结装置10的内部。
另外，上述实施形态的胶带粘结装置IO具备能够进行加压的盖体部 60。但是，胶带粘结装置能够容易地将该盖体部60、和不具备空气管路 67等的不能加压型的盖体部进行交换也可以。
进而，在上述实施形态中，吸附部件66由多孔陶瓷构成。在该情况 下，另外设置将多孔陶瓷加热的机构，使该吸附部件66具有陶瓷加热器 这样的用于加热的功能也可以。在该情况下，由于胶带部件12被加热， 因此胶带部件12的对于晶片11的粘结性(粘着性)变得良好。因此，能够 使胶带部件12更牢固地粘结于晶片11。
工业上的利用可能性
本发明的胶带粘结装置及胶带粘结方法可以利用于使用晶片的半导 体集成电路的制造过程和使用液晶的液晶显示装置的制造过程中。即，可 以在半导体制造工业等中进行利用。另外，也可以在使用玻璃电路板的显 示器的制造工业等中进行利用。
权利要求
1. 一种胶带粘结装置，是将胶带部件粘结于工件上的胶带粘结装置，其特征在于，为了阻止从下方上升而来的上述工件的移动、和为了将上述胶带部件粘结于上述工件上，设有在上述胶带部件的上方、且与上述胶带部件相接而被配置的部件。
2. 如权利要求1所述的胶带粘结装置，其特征在于， 所说的部件的长度小于上述胶带部件； 所说的胶带部件的两端通过胶带保持手段而被保持。
3. —种胶带粘结方法，是将胶带部件粘结于工件上的胶带粘结方法， 其特征在于，具有将用于阻止从下方上升而来的上述工件的移动的部件在上述胶带部 件的上方、且与上述胶带部件相接而配置的步骤；以及在使上述胶带部件以张设状态位于上述工件顶部的状态下，阻止从下 方上升而来的上述工件的移动的同时，将上述胶带部件粘结于上述工件上 的粘结步骤。
4. 如权利要求3所述的胶带粘结方法，其特征在于， 所说的进行配置的步骤，在正常大气压下进行；所说的粘结步骤，在通过吸引手段进行抽真空后被减压的减压状态下 进行。
全文摘要
本发明的目的在于提供一种，能够将胶带部件良好地粘结于工件上，能够谋求工序的简单化、成本的削减及粘结强度的提高的胶带粘结装置及胶带粘结方法；是将胶带部件(12)粘结于工件(11)的胶带粘结装置(10)，设有载置工件(11)的伸缩薄板部件(25)，位于伸缩薄板部件(25)顶面侧的真空室(50)，位于伸缩薄板部件(25)底面侧的空气引入部(51)，载置伸缩薄板部件(25)的载置部(22b)，以防止相对于真空室(50)空气导通的状态保持伸缩薄板部件(25)的保持部件(26)，在工件(11)顶部保持胶带部件(12)的胶带保持手段(66)，将真空室(50)的内部抽真空的第一吸引手段(36)，将空气引入部(51)抽真空的第二吸引手段(36)，将空气引入空气引入部(51)的空气引入手段(41)，以及将空气以加压状态引入真空室(50)的内部的加压手段(36)。
文档编号H01L21/683GK101431011SQ20081018391
公开日2009年5月13日 申请日期2005年4月12日 优先权日2004年5月25日
发明者铃木铁司, 齐藤公一 申请人:有限会社都波岐精工