专利名称：一种硅片放置装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种工装，尤其涉及一种硅片放置装置。
背景技术：
硅片旋转冲洗甩干是专门用于太阳能电池片和半导体硅片的生 产制造过程中对湿法腐蚀清洗后的硅片进行千燥和洁净化处理的一 道工序，目前国内外的设备主要有单工位，双工位和四工位三种，一 次只能放一个，两个或四个硅片盒，产量低，结构单薄，高速旋转易 产生震动和变形，引起硅片碎裂。
实用新型内容
本实用新型针对现有技术的不足，提供了一种硅片放置装置。 本实用新型采用的技术方案是
一种硅片放置装置由上板、中间板、底板、前挡杆、中间挡杆和 后挡杆组成；其中上板、中间板和底板为圆形，外径大小一致，三者 为垂直方向同轴平行放置；上板和中间板边缘均设置有"凸"字形齿 槽，齿槽内侧边缘的垂直方向均设置有前挡杆、中间挡杆和后挡杆， 各挡杆一端连接上板，穿过中间板后另一端与底板连接；上板、中间 板、前挡杆、中间挡杆和后挡杆形成了一个中空框，框中的空间为放 置硅片盒所设置。
所述的底板中心位置设有圆孔，四周环绕平均分布有多个椭圆形孔。
本实用新型利用上板、中间板、前挡杆、中间挡杆和后挡杆所形成的中空框，将硅片盒能够放置于内，在高速转动过程中，硅片盒在 离心力的作用下，能够牢牢地固定在中空框内，五面的夹持使硅片盒 非常稳定，硅片不会因碰撞而碎裂，整体具有结构简单，拆卸、清洗 方便，放置硅片多等优点。
图l为本实用新型结构图；具体实施方式
如图1所示， 一种硅片放置装置由上板1、中间板2、底板3、 前挡杆4、中间挡杆5和后挡杆6组成；实施时，将本装置通过底板 3的圆孔放于加工设备的转动轴上，并将放置有硅片的硅片盒放入由 上板l、中间板2、前挡杆4、中间挡杆5和后挡杆6形成的六个中 空框内，在高速转动中，硅片盒的各个面均相对固定，使硅片不会因 碰撞而产生碎裂，加工完成后取出硅片盒即可，利用底板3中多个椭 圆形孔可对甩干设备进行清理。
本实用新型采用上板、中间板、前挡杆、中间挡杆和后挡杆形成 六个中空框的设计，不仅提高了硅片的放置数量，也使硅片在加工过 程中更为安全，整体结构简单、拆卸清洗方便，安全性高，具有极大 的推广价值。
权利要求1、一种硅片放置装置由上板、中间板、底板、前挡杆、中间挡杆和后挡杆组成；其特征在于所述的上板、中间板和底板为圆形，外径大小一致，三者为垂直方向同轴平行放置，齿槽内侧边缘的垂直方向均设置有前挡杆、中间挡杆和后挡杆，上板、中间板、前挡杆、中间挡杆和后挡杆形成了一个中空框。
2、 根据权利要求书1所述的一种硅片放置装置，其特征在于,.所 述的上板和中间板边缘均设置有"凸"字形齿槽。
3、 根据权利要求书1所述的一种硅片放置装置，其特征在于所述的底板中心位置设有圆孔，四周环绕平均分布有多个椭圆形孑L。
专利摘要本实用新型公开了一种硅片放置装置由上板、中间板、底板、前挡杆、中间挡杆和后挡杆组成；上板和中间板边缘均设置有“凸”字形齿槽，齿槽内侧边缘的垂直方向均设置有前挡杆、中间挡杆和后挡杆，各挡杆一端连接上板，穿过中间板后另一端与底板连接；本实用新型利用上板、中间板、前挡杆、中间挡杆和后挡杆所形成的中空框，将硅片盒能够放置于内，在高速转动过程中，硅片盒在离心力的作用下，能够牢牢地固定在中空框内，五面的夹持使硅片盒非常稳定，硅片不会因碰撞而碎裂，整体具有结构简单，拆卸、清洗方便，放置硅片多等优点。
文档编号H01L21/687GK201421837SQ20082017959
公开日2010年3月10日 申请日期2008年12月5日 优先权日2008年12月5日
发明者陈世强, 凌 陶 申请人:无锡市奥曼特科技有限公司