专利名称：手动升降机构的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种升降机构，尤其涉及一种通过緩和升降的方式对半导体设 备中腔体门或盖板进行緩和开启和关闭的手动升降机构。
背景技术：
随着经济的不断发展、科技的不断进步和世界能源的日益减少，人们在生 产中越来越重视能源的节约及利用效率，使得人与自然和谐发展以满足中国新 型的工业化道赠要求。
例如，对真空环境要求极高的数码产品的显示产业中，企业为了节约能源、
降低生产成本，都加大投资研发力度，不断地追求节能的新产品。其中，OLED 显示屏就是数码产品中的一种新产品，OLED即有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode )， 又牙尔为有才几电激光显示(Organic Electroluminesence Display, OELD),因为具备轻薄、省电等特性，因此在数码产品的显示屏上得到 了广泛应用，并且具有较大的市场潜力，目前世界上对OLED的应用都聚焦在 平板显示器上，因为OLED是唯一在应用上能和TFT-LCD相提并论的技术，且 是目前所有显示技术中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率软屏的显示技 术，可以做成和纸张一样的厚度；但OLED显示屏幕与传统的TFT-LCD显示屏 幕并不同，其无需背光灯，采用非常薄的有机材料涂层和玻璃基片，当有电流 通过时，这些有机材料就会发光，而且OLED显示屏幕可以做得更轻更薄，可 视角度更大，并且能够显著节省电能；相应地，制造OLED显示屏幕的所有设 备必须要保证OLED显示屏幕的精度要求。OLED的基片材料为非常薄且易碎 的玻璃，在OLED的基片制作工序及后续工艺中，有很多工序在具有真空环境 下真空腔室内完成，为了保证OLED的质量和精度，需要定期对真空腔室进行检修，因此，需要为腔体配备一个能使腔体门緩和开启和关闭的手动升降机构。
升降机构运用的场合极为广泛，且升降机构的设计常因使用目的不同而设 计出不同的结构。在半导体工艺中，特别是在清洗、刻蚀、氧化、化学和物理 气相沉积等过程中，需要用到腔体。有时候为了保证腔体内的真空质量，需要 定期或不定期的对腔体内的部件进行清理和维护，因此，当需要在腔体内部维 修或者是拆装部件时就需要一套可以打开和闭合腔室门或者盖板的升降机构。 而升降机构设计是否合理就直接影响真空效果，生产效率等。
现有技术中有一种汽缸式升降机构，盖板在气缸的作用下，实现盖板的升 降运动。此种机构一般只能开启一定的角度。当需要将盖板升的较高时，又会 使汽缸臂导轨非常的长，占用较大的空间并影响外观。
在某些时候腔室门或者盖板开启的角度就决定了在腔室内部操作的方便 性，直接影响了生产效率。
因此，需要一种操作方便、结构紧凑、连接可靠的升降机构。
发明内容
本发明的目的在于提供一种操作方便、结构紧凑、连接可靠的能緩和升降 的手动升P争机构。
为了实现上述目的，本发明提供一种手动升降机构，包括壳体、手轮、传 动机构及推动机构，所述手轮安装于所述壳体外，并与所述传动机构连接，所 述传动机构安装于所述壳体内，并与所述推动机构连接，所述手轮驱动所述传 动机构，所述传动机构带动所述推动机构做弧形运动，其中，所述传动机构包 括蜗杆、第一级齿轮、第二级齿轮，第三级齿轮，所述第一级齿轮具有蜗轮、 第一齿轮及第一传动轴，所述第二级齿轮具有第二齿轮、第三齿轮及第二传动 轴，所述第三级齿轮包括扇形齿轮、第三传动轴及轴承，所述第一传动轴、第 二传动轴及第三传动轴轴线平行，所述第一传动轴、第二传动轴枢接于所述壳 体内，所述蜗杆的一端与所述手轮固定连接，另一端与所述蜗轮啮合，所述蜗 轮与所述第 一齿轮固定于所述第 一传动轴上，所述第 一齿轮与所述第二齿轮啮合，所述第二齿轮与所述第三齿轮固定于所述第二传动轴上，所述第三齿^"与 所述扇形齿轮啮合，所述扇形齿轮固定安装于所述第三传动轴上，所述轴承镶 嵌并固定于所述壳体上，所述第三传动轴穿过所述壳体并安装于所述轴承上， 所述第三传动轴两端与所述推动机构固定连接。
较佳地，所述推动机构包括两连板及夹板，所述连板的一端分别与所述第 三传动轴的两端固定连接，另一端分别与所述夹板的两端固定连接。所述连板 连接于所述第三传动轴两端可将第三传动轴输出的扭力传导到所述夹板，使所 述夹板绕所述第三传动轴转动。
较佳地，所述蜗杆为单头蜗杆。单头蜗杆具自锁性，可实现任意位置的自 锁，防止所述传动机构反向转动。
较佳地，所述扇形齿轮的扇形角度为介于85°到100°之间。使用扇形齿 轮可有效减少所述手动升降机构的占用空间，结构紧凑。
与现有技术相比，本发明由于利用蜗杆与蜗轮结构并通过三级齿轮传动将 动力输出到转动的物体上，使整个升降机构具有较大的传动比，传动平稳，无 噪音，结构紧凑，占用空间小，通过手轮控制驱动所述传动机构使操作人员操 作更加方便快捷，另，通过手动的方式使得操作人员可根据实际的需要緩和的 实现升降的功能，大大的提高了传动和升降的精度。
图l是本发明手动升降机构的结构示意图。
图2是本发明手动升降才几构去掉壳体一侧时的结构示意图。
图3是图2中A部分的放大图。
图4是本发明手动升降机构去掉壳体一侧时的侧视图。
图5是图4中沿B-B线的剖视图。
图6是本发明手动升降机构与盖板连接的结构示意图。
具体实施方式
如图1、图2及图3所示，本发明手动升降机构100，包括壳体1、手轮2、 传动机构3及推动机构4，所述手轮2安装于所述壳体1外，并与所述传动机构 3连接，所述传动机构3安装于所述壳体1内，并与所述推动机构4连接，所述 手轮2驱动所述传动机构3，所述传动机构3带动所述推动机构4做弧形运动， 其中，所述传动机构3包括蜗杆31、第一级齿轮32、第二级齿轮33，第三级齿 轮34，所述第一级齿轮32具有蜗轮32a、第一齿轮32b及第一传动轴32c,所 述第二级齿轮33具有第二齿轮33a、第三齿轮33b及第二传动轴33c，所述第三 级齿轮34包括扇形齿轮34a、第三传动轴34b及轴承34c，所述第一传动轴32c、 第二传动轴33c及第三传动轴34b轴线平行，所述第一传动轴32c、第二传动轴 33c枢接于所述壳体1内，所述蜗杆31的一端与所述手轮2固定连接，另一端 与与所述蜗轮32a啮合，所述蜗轮32a与所述第一齿轮32b固定于所述第一传动 轴32c上，所述第一齿轮32b与所述第二齿轮33a啮合，所述第二齿轮33a与所 述第三齿轮33b固定于所述第二传动轴33c上，所述第三齿轮33b与所述扇形 齿轮34a啮合，所述扇形齿轮34a固定安装于所述第三传动轴34b上，所述轴承 34c镶嵌并固定于所述壳体1上，所述第三传动轴34b穿过所述壳体1并安装于 所述轴承34c上，所述第三传动轴34b两端与所述推动机构4固定连接。结图4 至图6所示如下
较佳者，所述推动机构4包括两连板41及夹板42，所述连板41的一端分 别与所述第三传动轴34b的两端固定连接，另 一端分别与所述夹4反42的两端固 定连接。所述夹板与盖板5固定，所述连板41连接于所述第三传动轴34b两端 可将第三传动轴34b输出的扭力传导到所述夹板42,使所述夹板42及所述盖板 5绕所述第三传动轴34b转动。
较佳者，所述蜗杆31为单头蜗杆。单头蜗杆具自锁性，可实现任意位置的 自锁，防止所述传动机构3反向转动，从而避免工作过程中，所述盖板5突然 开启或关闭，造成意外的发生。
较佳者，所述扇形齿轮34a的扇形角度为90° 。使用90°的扇形齿轮即可 使所述盖板5完全打开，避免使用圓柱齿轮占用较大空间，使所述手动升降机构100的占用空间小，结构紧凑。
综合上述附图，当要打开所述盖板5时，手动逆时针转动所述手轮2，所述手轮2直接带动所述蜗杆31转动，由于所述蜗4仑32a与所述蜗杆31啮合，所述蜗轮32a随所述蜗杆31 —起转动，所述第一级齿轮32的所述第一齿轮32b及第一传动轴32c转动，所述第一齿轮32b与所述第二齿轮33a啮合，使所述第一齿轮32b带动所述第二齿轮33a转动，从而带动所述第二级齿轮33的所述第二齿轮33a、第二传动轴33c及第三齿轮33b转动，所述第二级齿轮33的所述第三齿轮33b转动带动所述扇形齿轮34a转动，带动所述第三级齿轮34的所述第三传动轴34b转动，通过第三传动轴34b及所述连板41将所述扭力传导到所述夹板42,所述盖板5与所述夹板42相固定，从而使所述夹板42及所述盖板5围绕所述第三传动轴34b的轴线转动，由于所述扇形齿轮34a的扇形角度为90° ,因此，当所述扇形齿轮34a转动90°后，所述扇形齿轮34a—直角边与所述壳体l内侧壁抵触，所述盖板5转动90。，此时，所述盖板5竖立并完全打开。关闭所述盖板5时，手动顺时针转动所述手轮2，其工作过程与上述相同只是转动方向相反，因此，所述盖板5围绕所迷第三传动轴34b转动，直到所述盖板5横向放置，即可完全关闭。
本发明由于利用所述蜗杆31与所述蜗轮32a结构并通过三级齿轮传动将动力输出到转动的物体上，使整个手动升降机构100具有较大的传动比，传动平稳，无噪音，结构紧凑，占用空间小，通过手轮2控制驱动所述传动机构3使操作人员操作更加方便快捷，另，通过手动的方式使得操作人员可根据实际的需要緩和的实现升降的功能，大大的提高了传动和升降的精度。
本发明手动升P争机构IOO所涉及到的第一、第二、第三齿轮32b、 33a、 33b及所述扇形齿轮34a的尺寸大小及安装方法均为本领域普通技术人员所熟知，在此不再^t详细的说明。
以上所揭露的仅为本发明的较佳实例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，因此依本发明申请专利范围所作的等同变化，仍属于本发明所涵盖的范围。
权利要求
1.一种手动升降机构，包括壳体、手轮、传动机构及推动机构，所述手轮安装于所述壳体外，并与所述传动机构连接，所述传动机构安装于所述壳体内，并与所述推动机构连接，所述手轮驱动所述传动机构，所述传动机构带动所述推动机构做弧形运动，其特征在于所述传动机构包括蜗杆、第一级齿轮、第二级齿轮，第三级齿轮，所述第一级齿轮具有蜗轮、第一齿轮及第一传动轴，所述第二级齿轮具有第二齿轮、第三齿轮及第二传动轴，所述第三级齿轮包括扇形齿轮、第三传动轴及轴承，所述第一传动轴、第二传动轴及第三传动轴轴线平行，所述第一传动轴、第二传动轴枢接于所述壳体内，所述蜗杆的一端与所述手轮固定连接，另一端与所述蜗轮啮合，所述蜗轮与所述第一齿轮固定于所述第一传动轴上，所述第一齿轮与所述第二齿轮啮合，所述第二齿轮与所述第三齿轮固定于所述第二传动轴上，所述第三齿轮与所述扇形齿轮啮合，所述扇形齿轮固定安装于所述第三传动轴上，所述轴承镶嵌并固定于所述壳体上，所述第三传动轴穿过所述壳体并安装于所述轴承上，所述第三传动轴两端与所述推动机构固定连接。
2. 如权利要求1所述的手动升降机构，其特征在于所述推动机构包括两连板及 夹板，所述连板的一端分别与所述第三传动轴的两端固定连接，另一端分别与 所述夹板的两端固定连接。
3. 如权利要求1所述的手动升降机构，其特征在于所述蜗杆为单头蜗杆。
4. 如权利要求1所述的手动升降机构，其特征在于所述扇形齿轮的扇区形角度 介于85°到100°之间。
全文摘要
本发明公开一种手动升降机构，包括壳体、手轮、传动机构及推动机构，其中，所述传动机构包括蜗杆、第一级齿轮、第二级齿轮，第三级齿轮，所述第一级齿轮具有蜗轮、第一齿轮及第一传动轴，所述第二级齿轮具有第二齿轮、第三齿轮及第二传动轴，所述第三级齿轮包括扇形齿轮、第三传动轴及轴承，所述手轮与所述蜗杆轴向固定连接，所述蜗杆与所述蜗轮啮合，所述第一齿轮与所述第二齿轮啮合，所述第三齿轮与所述扇形齿轮啮合，所述扇形齿轮固定安装于所述第三传动轴上，所述第三传动轴两端与所述推动机构固定连接。本发明手动升降机构操作方便、结构紧凑、连接可靠。
文档编号H01L51/50GK101645491SQ200910040588
公开日2010年2月10日 申请日期2009年6月26日 优先权日2009年6月26日
发明者杨明生, 勇 王, 王曼媛, 范继良, 郭远伦 申请人:东莞宏威数码机械有限公司