专利名称：键合机上的线夹驱动电机的冷却装置、冷却方法及键合机的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种专门适用于制造或处理半导体的设备，特别是涉及一种键合机上的线夹驱动电机的冷却装置、冷却方法及键合机。
背景技术：
键合是把电路芯片上已金属化的电路引出端或电极与装配芯片的金属引线框架或外壳引出电极线一一对应连接起来的焊接工艺。作为键合设备的一种，键合机通过陶瓷细管(劈刀)引导金属引线(金线)在三维空间中作复杂高速的运动，形成各种满足不同封装形式需要的线弧。键合机主要包括XY工作平台、键合头、物料夹持台、上下料装置等部件。键合机在工作过程中，由Z向电机驱动的键合头，配合精密XY运动平台，引导金属线在三维空间作 复杂高速的运动，以便形成各种满足不同芯片封装所需的线弧。线夹是键合头上的关键部件，其在键合过程中不断张开与闭合，以完成对芯片焊盘与封装管脚的键合连接。线夹由线夹驱动电机驱动。目前传统的线夹驱动电机冷却方法是采用增大电机尺寸的方法来降低温度。这种方法冷却效率较低，而且造成线夹驱动电机响应速度变慢，不能满足线夹灵活、快速响应的技术要求，降低了键合机的工作效率。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种保证线夹驱动电机响应速度快速，冷却效率较高的键合机上的线夹驱动电机的冷却装置及冷却方法。本发明要解决的另一技术问题是提供一种安装有冷却效率较高的线夹驱动电机冷却装置的，工作效率高的键合机。本发明的键合机上的线夹驱动电机的冷却装置，包括固定于键合机上的气体导入装置，所述气体导入装置与气源通过进气管连接，用以对所述线夹驱动电机的电机动子两侧分别同时导入用以冷却的气体。本发明的键合机上的线夹驱动电机的冷却装置，其中，所述气体导入装置上设置有出气部，所述出气部设置在靠近所述线夹驱动电机的面上，所述出气部是呈直线排列且均匀排列的两排出气孔，所述两排出气孔分别正对所述线夹驱动电机的第一电机定子与电机动子之间的缝隙、所述线夹驱动电机的第二电机定子与电机动子之间的缝隙。本发明的键合机上的线夹驱动电机的冷却装置，其中，所述气体导入装置上设有用于连接所述进气管的进气管接头。本发明的键合机上的线夹驱动电机的冷却装置，其中，所述进气管上安装有气体流量计。本发明的键合机上的线夹驱动电机的冷却方法，所述冷却方法包括以下步骤A、通过气体导入装置向所述线夹驱动电机的电机动子一侧导入用以冷却的气体；
B、步骤A进行同时，通过气体导入装置向所述线夹驱动电机的电机动子另一侧导入用以冷却的气体。本发明的键合机上的线夹驱动电机的冷却方法，其中，所述气体分别直接吹进所述线夹驱动电机的第一电机定子与电机动子之间的缝隙、所述线夹驱动电机的第二电机定子与电机动子之间的缝隙。本发明的键合机上的线夹驱动电机的冷却方法，其中，所述气体的流动方向呈放射状，所述气体为经过过滤的压缩空气，所述气体的流量设置为可调。本发明的键合机，包括线夹，所述线夹包括线夹动臂、与所述线夹动臂配合的线夹固定臂，所述线夹固定臂上设置有线夹驱动电机，所述线夹固定臂上设有气体导入装置，所述气体导入装置与气源通过进气管连接，用以对所述线夹驱动电机的电机动子两侧分别同时导入用以冷却的气体。本发明的键合机，其中，所述气体导入装置上设置有出气部，所述出气部是开在靠近所述线夹驱动电机的面上的呈直线排列且均匀排列的两排出气孔，所述两排出气孔分别 正对所述线夹驱动电机的第一电机定子与电机动子之间的缝隙、所述线夹驱动电机的二电机定子与电机动子之间的缝隙。本发明的键合机，其中，所述气体导入装置通过螺钉固定于所述线夹固定臂上。本发明的冷却装置和冷却方法克服了传统冷却装置和冷却方法的不足，由于冷却时向线夹驱动电机的电机动子两侧同时导入冷却气体，使冷却效率大为提高，由于冷却效率的增加，保证线夹驱动电机驱动线夹响应速度快速，扩大了线夹的夹紧力范围，可以满足不同线径的夹紧力需要，从而提高了全自动引线键合机的工作效率。本发明的键合机因为安装有冷却效率较高的线夹驱动电机冷却装置，线夹驱动电机驱动线夹响应速度快速，扩大了线夹的夹紧力范围，工作效率大为提高。
图I是安装于线夹固定臂的线夹驱动电机的立体图；图2是图I的结构分解图；图3是安装有本发明的线夹驱动电机的冷却装置的一种实施例的线夹的结构示意图的注视图；图4是本发明的线夹驱动电机的冷却装置的一种实施例的气体导入装置的结构示意图；图5是安装有本发明的线夹驱动电机的冷却装置的一种实施例的线夹的结构示意图的立体图；图6是图5的A-A剖视图。
具体实施例方式本发明的键合机上的线夹驱动电机的冷却装置，包括固定于键合机上的气体导入装置，气体导入装置与气源通过进气管连接，用以对线夹驱动电机的电机动子两侧分别同时导入用以冷却的气体。下面将结合附图对本发明作进一步详述
参见图3所示，安装于键合机上的线夹包括线夹动臂4、与线夹动臂4配合的线夹固定臂16。第一线夹夹片8粘结于线夹动臂4上，第二线夹夹片18粘结于线夹固定臂16上，线夹固定臂16通过螺钉10与键合头相连。线夹动臂4通过拉紧弹簧17与线夹固定臂16相连。线夹固定臂16上设置有线夹驱动电机。结合图I、图2、图5、图6所示，线夹驱动电机包括第一电机定子、第二电机定子、第一电机定子、第二电机定子之间的电机动子。磁铁2与电机定子上板I粘结构成第一电机定子，磁铁2与电机定子下板5粘结构成第二电机定子。线圈3与线夹动臂4粘接在一起，线圈3与线夹动臂4构成电机动子。第一电机定子、第二电机定子分别通过螺钉6固定于线夹固定臂16上。这样在线夹动臂4在线圈3所产生的力的作用下，会产生绕枢轴中心9的沿Θ方向的转动，带动第一线夹夹片8沿Θ ’方向的摆动，从而第一线夹夹片8与第二线夹夹片18产生张开与闭合的动作。 当线夹驱动电机运转时，线圈3的温度升高很快，本发明的冷却方法为向线夹驱动电机的电机动子的两侧同时导入用以冷却的气体。本发明的键合机上的线夹驱动电机的冷却方法包括以下步骤A、通过气体导入装置向线夹驱动电机的电机动子一侧导入用以冷却的气体；B、步骤A进行同时，通过气体导入装置向线夹驱动电机的电机动子另一侧导入用以冷却的气体。这种气体分别直接吹进线夹驱动电机的第一电机定子与电机动子之间的缝隙、线夹驱动电机的第二电机定子与电机动子之间的缝隙中。这种气体流动方向相对线夹驱动电机的电机动子的旋转中心呈放射状。这种气体最好为经过过滤的压缩空气。冷却气体的流量最好设置为可调。通过高速流动的气体可以同时带走电机动子两侧的热量，因此其冷却效率较高，可保证线夹驱动电机长时间运行。本发明的键合机上的线夹驱动电机的冷却装置包括通过螺钉15固定于线夹固定臂16上的气体导入装置14。气体导入装置14内部具有用于气体流动的气路管道。气体导入装置14与气源通过进气管连接。气体导入装置14靠近线夹驱动电机的面上设置有出气部。结合图4所示，本实施例中，出气部是开在靠近线夹驱动电机的面上的呈直线排列且均匀排列的两排出气孔19。两排出气孔分别正对线夹驱动电机的第一电机定子与电机动子之间的缝隙、线夹驱动电机的第二电机定子与电机动子之间的缝隙。也就是说，两排出气孔分别正对线夹电机第一电机定子与线圈3之间的缝隙、线夹动臂4与第二电机定子之间的缝隙。气体导入装置14上安装有用于连接进气管的进气管接头13。通过进气管接头13，气体导入装置14和连接气源(图中未示出)的进气管(图中未示出)连接。当本发明的冷却装置工作时，气源提供的经过过滤的压缩空气通过进气管导入气体导入装置14中，然后分别通过两排出气孔19排出，排出的气体分别直接吹进线夹电机第一电机定子与线圈3之间的缝隙、线夹动臂4与第二电机定子之间的缝隙。因为两排出气孔19呈直线排列且均匀排列，所以气流方向相对线夹动臂4枢轴旋转中心9呈放射状，以实现对线夹电机线圈的高效冷却。本实施例中，和气体导入装置14相连的进气管上可以安装气体流量计，以对导入的气流大小进行控制。本发明的冷却装置和冷却方法克服了传统冷却装置和冷却方法的不足，由于冷却时向线夹驱动电机的电机动子两侧同时导入冷却气体，使冷却效率大为提高，由于冷却效率的增加，保证线夹驱动电机驱动线夹响应速度快速，扩大了线夹的夹紧力范围，可以满足不同线径的夹紧力需要，从而提高了全自动引线键合机的工作效率。本发明的键合机，包括线夹，线夹包括线夹动臂、与线夹动臂配合的线夹固定臂，线夹固定臂上设置有线夹驱动电机，线夹固定臂上设有气体导入装置，气体导入装置与气源通过进气管连接，用以对线夹驱动电机的电机动子两侧分别同时导入用以冷却的气体。本发明的键合机，其中，气体导入装置上设置有出气部，出气部是开在靠近线夹驱动电机的面上的呈直线排列且均匀排列的两排出气孔，两排出气孔分别正对线夹驱动电机的第一电机定子与电机动子之间的缝隙、线夹驱动电机的二电机定子与电机动子之间的缝隙。
本发明的键合机，其中，气体导入装置通过螺钉固定于线夹固定臂上。本发明的键合机因为安装有冷却效率较高的线夹驱动电机冷却装置，线夹驱动电机驱动线夹响应速度快速，扩大了线夹的夹紧力范围，工作效率大为提高。以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
权利要求
1.一种键合机上的线夹驱动电机的冷却装置，其特征在于，包括固定于键合机上的气体导入装置，所述气体导入装置与气源通过进气管连接，用以对所述线夹驱动电机的电机动子两侧分别同时导入用以冷却的气体。
2.如权利要求I所述的键合机上的线夹驱动电机的冷却装置，其特征在于，所述气体导入装置上设置有出气部，所述出气部设置在靠近所述线夹驱动电机的面上，所述出气部是呈直线排列且均匀排列的两排出气孔，所述两排出气孔分别正对所述线夹驱动电机的第一电机定子与电机动子之间的缝隙、所述线夹驱动电机的第二电机定子与电机动子之间的缝隙。
3.如权利要求I所述的键合机上的线夹驱动电机的冷却装置，其特征在于，所述气体导入装置上设有用于连接所述进气管的进气管接头。
4.如权利要求I所述的键合机上的线夹驱动电机的冷却装置，其特征在于，所述进气管上安装有气体流量计。
5.一种键合机上的线夹驱动电机的冷却方法，其特征在于，所述冷却方法包括以下步骤 A、通过气体导入装置向所述线夹驱动电机的电机动子一侧导入用以冷却的气体； B、步骤A进行同时，通过气体导入装置向所述线夹驱动电机的电机动子另一侧导入用以冷却的气体。
6.如权利要求5所述的键合机上的线夹驱动电机的冷却方法，其特征在于，所述气体分别直接吹进所述线夹驱动电机的第一电机定子与电机动子之间的缝隙、所述线夹驱动电机的第二电机定子与电机动子之间的缝隙。
7.如权利要求5所述的键合机上的线夹驱动电机的冷却方法，其特征在于，所述气体的流动方向呈放射状，所述气体为经过过滤的压缩空气，所述气体的流量设置为可调。
8.—种键合机,包括线夹,所述线夹包括线夹动臂、与所述线夹动臂配合的线夹固定臂，所述线夹固定臂上设置有线夹驱动电机，其特征在于，所述线夹固定臂上设有气体导入装置，所述气体导入装置与气源通过进气管连接，用以对所述线夹驱动电机的电机动子两侧分别同时导入用以冷却的气体。
9.如权利要求8所述的键合机，其特征在于，所述气体导入装置上设置有出气部，所述出气部是开在靠近所述线夹驱动电机的面上的呈直线排列且均匀排列的两排出气孔，所述两排出气孔分别正对所述线夹驱动电机的第一电机定子与电机动子之间的缝隙、所述线夹驱动电机的二电机定子与电机动子之间的缝隙。
10.如权利要求8或9所述的键合机，其特征在于，所述气体导入装置通过螺钉固定于所述线夹固定臂上。
全文摘要
本发明提供的键合机上的线夹驱动电机的冷却装置，包括固定于键合机上的气体导入装置，气体导入装置与气源通过进气管连接，用以对线夹驱动电机的电机动子两侧分别同时导入冷却气体。本发明的冷却方法，通过气体导入装置向线夹驱动电机的电机动子两侧导入用以冷却的气体。本发明的键合机的线夹固定臂上设有气体导入装置，用以对线夹驱动电机的电机动子两侧分别同时导入气体。由于向电机动子两侧同时导入冷却气体，使冷却效率大为提高，由于冷却效率的增加，保证线夹驱动电机驱动线夹的快速响应，提高了全自动引线键合机的工作效率。本发明的键合机因为安装有冷却效率较高的线夹驱动电机冷却装置，工作效率大为提高。
文档编号H01L21/60GK102810921SQ20111014771
公开日2012年12月5日 申请日期2011年6月2日 优先权日2011年6月2日
发明者李朝军 申请人:北京中电科电子装备有限公司