专利名称：基板支承构件和基板容纳装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及在水平状态下保持玻璃基板等矩形的板状工件的基板支承构件，该基板支承构件被用在制造液晶面板等时使用的热处理装置等基板容纳装置上，特别涉及适于液晶基板的密封硬化处理的基板支承构件。另外，本发明还涉及包括基板支承构件的基板容纳装置。
背景技术：
制造液晶面板等时，包括针对矩形的板状工件即基板的热处理工序。为提高热处理的作业效率，考虑要在热处理装置内容纳多张基板，因而使用将多张基板以规定间隔设置并多层装载的工件装载装置。在工件装载装置的各基板容纳位置上分别配置有基板支承构件。基板支承构件抵接在水平状态的基板的下表面上。例如，制造液晶基板时，在以一定的间隔设置了柔软性间隔件的两张玻璃基板之间充填液晶，并将两张玻璃基板用密封剂粘合后，在热处理装置内加热一定时间以使密封剂硬化。液晶基板热处理时，如果由于基板支承构件对液晶基板的作用力而使间隔件被压碎，则两张玻璃基板的间隙不均，会发生显示不均。因此，作为现有的基板支承构件，已知有用聚四氟乙烯等收缩管包覆在矩形断面的不锈钢管周围的构件(例如参照专利文献1一日本专利公开公报特开2004-108670号)。 通过使矩形断面的一个面与液晶基板的底面抵接，加大两者的接触面积，以缓和作用在液晶基板上的应力，可以防止间隔件的变形。但是近年来，液晶基板的间隔件柔软性增加，对于以不锈钢管为基材、不具备充分弹性的薄壁收缩管与液晶基板抵接的现有基板支承构件来说，不能达到使应力减小到能够防止高柔软性的间隔件变形的程度。因此，现有的基板支承构件往往不适应近年来的液晶基板的密封硬化处理。另外，由于现有的基板支承构件固定在工件装载装置的机架上，随着时间而发生老化的收缩管破损后，就需要拆卸机架并更换基板支承构件。特别是被使用在因基板的搬入搬出而温度反复变化的热处理装置等基板容纳装置中的基板支承构件，上述问题很容易发生。
发明内容
本发明的目的是提供一种基板支承构件及基板容纳装置，通过具有与基板抵接的可自由拆卸的耐热树脂管，可以防止基板内高柔软性的间隔件的变形，以适于液晶基板的密封硬化处理，从而便于进行与基板底面的抵接部分的更换作业。本发明提供一种基板支承构件，沿与相对基板容纳装置内基板容纳位置的基板搬入方向垂直的方向，以一定的间隔设置有多个基板支承构件，所述基板支承构件与被搬入到所述基板容纳位置上的基板的底面抵接并支承该基板。基板支承构件包括主体部、导向件及耐热树脂管。主体部具有长边方向与基板的搬入方向平行的安装面。导向件被固定在安装面上，并且形成其上表面及其在基板搬入方向上的两个面开放的凹部。耐热树脂管沿安装面嵌入凹部内，并且其上侧部分从凹部的上方露出。按照所述构成，在基板容纳装置内的基板容纳位置上，基板在其底面与多个耐热树脂管抵接的状态下被多个耐热树脂管支承。耐热树脂管由于基板的重量而发生弹性变形，因而不会对基板作用较大的应力。此外，耐热树脂管通过嵌入到凹部内的方式而被保持在安装面上，不必借助固定工具来固定。上述构成中，导向件可以采用例如通过板金的冲压加工等形成的专用构件，但导向件还可以使用通用的构件构成多对突起，在各对突起之间设置有规定的间隙，并且多对突起固定在安装面上。另外，优选基板支承构件还包括芯材，所述芯材的直径小于耐热树脂管的内径，且所述芯材贯穿耐热树脂管并以夹持耐热树脂管圆周方向的一部分的状态被固定在主体部上。这样，可以确保将耐热树脂管固定在主体部上。而且，优选仅将芯材的从耐热树脂管露出的第1端部固定在主体部上。这样，可以不必将芯材从主体部卸下，而从芯材的第2端部一侧拆装耐热树脂管，使耐热树脂管的更换作业简单易行。按照本发明，可以防止基板内的高柔软性间隔件的变形，能够适应液晶基板的密封硬化处理，同时能够使与基板底面的抵接部分的更换作业简单易行。
图1是本发明实施方式的基板容纳装置的俯视断面图。图2是本发明第1实施方式的基板支承构件的主视断面图。图3是本发明第2实施方式的基板支承构件的主视断面图。图4是本发明第3实施方式的基板支承构件的主视断面图。图5是本发明第4实施方式的基板支承构件的侧视断面图。附图标记说明1，21-主体部1A，21A_ 安装面2-导向件3-薄壁管(耐热树脂管)5-芯材22-螺栓(突起)10，20，30，40-基板支承构件100-热处理装置(基板容纳装置)200-液晶基板300-搬送装置
具体实施例方式以下参照附图，说明本发明实施方式的基板支承构件及基板容纳装置。如图1所示，本发明第1实施方式的基板支承构件10，借助框架111、112设置在作为本发明基板容纳装置一例的热处理装置100内部的基板容纳部110上。作为一例，热处理装置100用于液晶面板用的液晶基板200的密封硬化处理。因此，热处理装置100包括未图示的加热器。热处理装置100的内部通过空气循环装置102被保持在均勻的温度上， 并且有时还会进行去除尘埃及升华物的清洁化处理。在热处理装置100内，在上下方向上隔开规定的间隔分多层设置多个基板容纳部 110。在热处理装置100的前表面上，设置有对应各基板容纳部110的、上下方向位置可选择性自由开闭的挡板101。液晶基板200被承载在搬送装置300的搬送臂301上，并沿搬入方向X搬入挡板101开放的基板容纳部110中。热处理装置100的背面设置有维护用的可自由开闭的门103、104。在各基板容纳部110上，在其长边方向平行搬入方向X的状态下，沿垂直搬入方向 X的方向等间隔配置例如8根基板支承构件10。各基板支承构件10被设置在不会干涉到插入基板容纳部110上的搬送臂301的位置上。如图2所示，基板支承构件10包括主体部1，导向件2，薄壁管3以及台座4。作为一例，主体部1由不锈钢方管构成，并被固定于台座4的上部。主体部1的上表面成为水平的安装面1A。作为一例，导向件2通过板金的冲压加工形成二形断面，其底面固定在安装面IA上。导向件2形成为凹部，其上表面和其在液晶基板200搬入方向上的两个面开放。薄壁管3相当于本发明的耐热树脂管，耐热树脂例如以具有可以在250°C下连续使用的耐热性的、可注塑成形的热塑性树脂PEEK(聚醚醚酮)为原料。薄壁管3可拆装自由地嵌入导向件2的凹部内。此时，薄壁管3的上侧部分从导向件2的上端向上方露出。基板支承构件10中，薄壁管3的上侧部分位于最上方的位置。所以，被搬入基板容纳部110内的液晶基板200，以其底面抵接薄壁管3的状态被支承。由于液晶基板200的重量，薄壁管3产生弹性变形。以被搬入各基板容纳部110的液晶基板200的底面与薄壁管3抵接的方式，液晶基板200被基板支承构件10支承。接受密封硬化处理的液晶基板200中，在通过间隔件 203设定了相互间隔的上下玻璃基板201、202之间充填液晶204。PEEK等耐热树脂制的薄壁管3，由于外力的作用容易发生弹性变形。因此如图2 所示，即使当薄壁管3与液晶基板200的底面上的间隔件203的设置位置抵接时，薄壁管3 也发生充分弹性变形，间隔件203上不会作用较大的应力。间隔件203由高柔软性材料构成时，间隔件203也不会发生较大塑性变形，所以处理后的液晶基板200上不会产生显示不均。因为薄壁管3可拆装自由地嵌入导向件2内，所以即使在随着时间而发生硬化及破损时，也容易更换。导向件2的长度可以与薄壁管3的轴向全长相当，同时也可以沿薄壁管3的轴向设置在多个位置上。如图3所示，本发明第2实施方式的基板支承构件20，使用多对螺栓22代替基板支承构件10的导向件2。作为一例，在由金属方管构成的主体部21上表面的安装面21A 上，各对螺栓22相互间以规定间隔设置，并与安装面21A螺纹连接。螺栓22的头部相当于本发明的突起。通过基于薄壁管3的外径而设定各对螺栓22的头部的间隔，可以不必准备专用的导向件2而使用通用的零件。另外，还可以使用销或铆钉作为本发明的突起，以替代螺栓22。
如图4所示，本发明第3实施方式的基板支承构件30，在基板支承构件20的构成基础上还包括芯材5。芯材5贯穿薄壁管3，并且芯材5是直径小于薄壁管3内径的金属线材。芯材5在横跨薄壁管3轴向全长并夹持薄壁管3圆周方向的一部分的状态下，被固定在主体部21的安装面2IA上。薄壁管3通过芯材5被固定在安装面21A上，在相对基板容纳部110搬入搬出液晶基板200时，可以防止薄壁管3从安装面2IA脱落。另外，在通过芯材5确保薄壁管3被固定在安装面21A的前提下，也可以省略2个螺栓22。并且，在图2所示构成上也可以使用芯材5。如图5所示，本发明第4实施方式的基板支承构件40，是在基板支承构件30的构成中，仅将芯材5的第1端部一侧借助安装板6固定在主体部21的安装面21A上。芯材5 的第2端部在热处理装置100的背面一侧上开放。更换薄壁管3时，开放热处理装置100的门103、104，将老化的薄壁管3从安装面 21A向热处理装置100的背面一侧拔出，并将新的薄壁管3向前面一侧推压以使芯材5贯穿其内部。此时，可以在芯材5的弹性变形范围内将芯材5在背面一侧的端部向上方抬起，以便于薄壁管3的拔出操作。据此，可以使薄壁管3的更换作业变得极为容易。在不使用芯材5的情况下，通过从热处理装置100的背面一侧进行薄壁管3的更换作业，与由于存在挡板101而从上下方向敞开范围较小的热处理装置100前面一侧进行更换作业的情况相比， 作业性得到提高。上述实施方式的说明全部为示例说明，而并非限制性说明。本发明的范围不限于上述实施方式，而是通过权利要求来表示。并且，本发明的范围还包括与权利要求等同的方式，以及在本发明范围内的所有变形方式。例如，本发明的基板容纳装置不限于对液晶基板200进行加热处理的热处理装置 100。例如对液晶基板200以外的基板进行加热或冷却处理的热处理装置，以及保存热处理后的基板的箱体等，也属于本发明的基板容纳装置，也可以适用本发明实施方式的基板支承构件。
权利要求
1.一种基板支承构件，在与相对基板容纳装置内基板容纳位置的基板搬入方向垂直的方向上，以一定的间隔设置有多个所述基板支承构件，所述基板支承构件与被搬入到所述基板容纳位置上的基板的底面抵接并支承该基板，其特征在于，包括主体部，具有长边方向与所述基板搬入方向平行的安装面；导向件，固定在所述安装面上，并且所述导向件形成其上表面及其在所述基板搬入方向上的两个面开放的凹部；以及耐热树脂管，沿所述安装面插入到所述凹部内，并且所述耐热树脂管的上侧部分从所述凹部的上方露出。
2.根据权利要求1所述的基板支承构件，其特征在于，所述导向件由多对突起构成，在各对突起之间设置有规定的间隙，并且所述多对突起固定在所述安装面上。
3.根据权利要求1所述的基板支承构件，其特征在于，所述基板支承构件还包括芯材， 所述芯材的直径小于所述耐热树脂管的内径，且所述芯材贯穿所述耐热树脂管并以夹持所述耐热树脂管圆周方向的一部分的状态被固定在主体部上。
4.根据权利要求2所述的基板支承构件，其特征在于，所述基板支承构件还包括芯材， 所述芯材的直径小于所述耐热树脂管的内径，且所述芯材贯穿所述耐热树脂管并以夹持所述耐热树脂管圆周方向的一部分的状态被固定在主体部上。
5.根据权利要求3所述的基板支承构件，其特征在于，仅将所述芯材的从所述耐热树脂管露出的一端固定在所述主体部上。
6.根据权利要求4所述的基板支承构件，其特征在于，仅将所述芯材的从所述耐热树脂管露出的一端固定在所述主体部上。
7.一种基板容纳装置，其特征在于，包括权利要求1-6中任意一项所述的基板支承构件，以及设置在所述基板容纳装置背面的可开闭的门，并且所述芯材只有前面一侧被固定在所述主体部上。
全文摘要
本发明提供基板支承构件和基板容纳装置。基板支承构件(10)包括主体部(1)、导向件(2)和薄壁管(3)。主体部(1)的上表面成为水平的安装面(1A)。导向件(2)形成其上表面及其在液晶基板(200)搬入方向上的两个面开放的凹部。薄壁管(3)以可注塑成形的耐热树脂为原料。薄壁管(3)可拆装自由地嵌入导向件(2)的凹部内。并且，薄壁管(3)的上侧部分从导向件(2)的上端向上方露出。搬入到基板容纳部(110)的液晶基板(200)，以其底面抵接薄壁管(3)的状态被支承。由于液晶基板(200)的重量，薄壁管(3)产生充分的弹性变形，从而不会在液晶基板(200)内的间隔件(203)上作用会引起塑性变形程度的较大应力。
文档编号H01L21/00GK102446798SQ201110179649
公开日2012年5月9日 申请日期2011年6月28日 优先权日2010年10月8日
发明者吉原贤一 申请人:光洋热系统株式会社