专利名称：减小半导体器件热载流子注入损伤的制造方法
技术领域：
本发明涉及一种半导体制备技术，尤其涉及一种减小半导体器件热载流子注入损伤的制造方法，可以有效防止MOS器件的热载流子注入损伤，又不会带来严重的硼穿通现象。
背景技术：
随着集成工艺技术进入到深亚微米的工艺条件下，芯片的供电电压、工作电压并没有相应减少很多，所以相应的器件内部的电场强度随器件尺寸的减小而增强。在小尺寸器件中，电路的横向尺寸越来越小，导致栅氧厚度、结深、沟道长度减小，即使是较小的源漏电压也会在漏端附近形成很高的电场强度，由于该横向电场作用，在漏端的强场区，沟道电子获很大的漂移速度和能量，成为热载流子。热载流子效应是MOS器件的一个重要的失效机理，随着MOS器件尺寸的日益缩小，器件的热载流子注入效应越来越严重。以PMOS器件为例，随着漏端电场强度增大，沟道中的空穴，在漏源之间高横向电场的作用下被加速形成高能热载流子，这些热载流子一部分在漏极附近与硅原子碰撞电离，产生电子空穴对，电子由衬底收集，形成衬底电流，大部分碰撞产生的空穴，流向漏极， 但还有部分空穴在纵向电场作用下注入到栅极中，形成栅极电流，这种现象称为热载流子注入(Hot Carrier Ejection)。由于热载流子的注入会造成硅衬底与二氧化硅栅氧界面处能键的断裂，在硅衬底与二氧化硅栅氧界面处产生界面态，导致MOS器件性能，如阈值电压、跨导以及线性区/饱和区电流的退化，最终造成MOS器件失效。器件失效通常首先发生在漏端，这是由于载流子通过整个沟道的电场加速，在到达漏端后，载流子的能量达到最大值，因此漏端的热载流子注入现象比较严重。为了提高MOS器件抗热载流子注入性能，一种方法是对栅氧层氟化，下面以PMOS 结构为例，结合图la、图Ib和图Ic对栅氧层氟化的工作原理进行阐述。如图Ia所示，在半导体衬底100中形成有源漏区102，在半导体衬底100上氧化生长栅氧层104，并在栅氧层104上沉积多晶硅，形成多晶栅极106，并制作栅极侧墙108，然后向图Ia所示的半导体结构注入氟离子，然后在退火工艺的帮助下，如图Ib所示，氟离子与衬底100和栅氧层104 界面处的硅悬挂键110结合，这样硅氟键(Si-F)就替代了原先工艺中的硅氢键(Si-H)。由于Si-F的键能(565kJ/mol)要高于Si-H的键能(318kJ/mol)，所以在热载流子注入过程中，Si-F更不容易断裂，所以氟化后的栅氧层104抗热载流子注入能力得到加强。但是，氟化后的栅氧层104会带来新的问题，由于氟存在于整体二氧化硅栅氧层104中，如图Ic所示，多晶硅106中的硼离子114可以更容易的穿通到MOS器件沟道当中，即硼穿通(Boron Penetration)现象会加重，会造成PMOS器件阈值电压漂移，以及PMOS器件阈值电压工艺线控制难度加大。为了解决上述问题，避免因提高MOS器件抗热载流子注入性能而在整体栅氧层中注入氟原子引起硼穿通现象，以提高MOS器件寿命，需要在如阱注入(Well Implantation) 工艺、轻掺杂漏区(LDD，Lightly Doped Drain)结构注入工艺等注入工艺中寻找解决方案，但在实际的实施过程中仍然存在相当大的壁垒，亟待引进能有效改善上述缺陷的新方法， 以解决MOS器件既能有效防止热载流子效应失效、又能有效抑制硼穿通现象发生的问题。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种减小半导体器件热载流子注入损伤的MOS 器件的制造方法，可以有效防止MOS器件的热载流子注入损伤，又可以抑制硼穿通现象。为解决上述问题，本发明提出的一种实现减小半导体器件热载流子注入损伤的制造方法，包括如下步骤提供半导体衬底，在所述的半导体衬底中形成η阱和ρ阱，在半导体衬底上方氧化生长栅氧层，再在所述的栅氧层上分别形成多晶硅栅；在η阱区域上方覆盖光刻胶层，在未覆盖光刻胶层的ρ阱区域进行η型轻掺杂漏区结构源漏注入；采用含四氟化碳组合气体通过灰化工艺去除η阱区域上方的光刻胶层并在P阱区域的源漏端的硅衬底和栅氧层界面处形成硅氟键；在P阱区域上方覆盖光刻胶层，在未覆盖光刻胶层的η阱区域进行P型轻掺杂漏区结构源漏注入；采用含四氟化碳组合气体通过灰化工艺去除ρ阱区域上方的光刻胶层并在η阱区域的源漏端的硅衬底和栅氧层界面处形成硅氟键；制作栅极侧墙并进行源漏注入，形成源极和漏极。由上述技术方案可见，与传统LDD形成的MOS器件相比，本发明公开的MOS器件是在形成过程中结合LDD注入工艺的特点即在形成MOS管的源漏区之前，先在MOS管的漏区进行轻掺杂漏区结构源漏注入，而后在MOS管的漏极和沟道区之间有一段轻掺杂区，针对这段轻掺杂区，利用LDD注入工艺后通过灰化(Ashing)工艺去除光刻胶的方法即通入氧气 (O2)外，适当通入四氟化碳(CF4)气体，并调整通入CF4气体的时间和流量，来控制LDD注入工艺之后的Ashing工艺。由于在LDD注入工艺之后的含四氟化碳Ashing工艺中，会有一定量的氟原子进入到源漏端的二氧化硅栅氧中，与源漏端的硅衬底和二氧化硅界面处的悬挂键相结合，形成Si-F，这些在源漏端形成的Si-F能替代原有工艺中的Si-H。由于Si-F的键能要高于Si-H，而热载流子注入损伤，通常会首先发生在漏端，因此漏端形成的Si-F对 Si-H的替代，可以有效地防止MOS器件的热载流子注入损伤，减缓器件的失效时间。同时， 由于氟原子是通过Ashing工艺从源漏端横向扩散进入二氧化硅栅氧层，因此只有在MOS器件源漏端的小范围内会有氟原子存在，相较于在二氧化硅栅氧层中通过氟注入掺入氟原子的方法，不会在整体二氧化硅栅氧层中掺入氟原子，因此硼穿通现象得到有效的抑制，使得 MOS工艺线的控制难度降低。由此可见，在LDD注入工艺后，通过在Ashing工艺中，适当控制四氟化碳气体的通入流量和时间，以及调整灰化功率和灰化温度等条件，可以只在二氧化硅栅氧的源漏端小范围内掺入氟原子，其效果，既可以有效防止MOS器件的热载流子注入损伤，又不会带来严重的硼穿通现象。
图Ia至图Ic为现有技术中氟注入抑制热载流子注入效应示意图2为本发明一种减小半导体器件热载流子注入损伤的MOS器件的方法流程；图3a至图池为本发明一种减小半导体器件热载流子注入损伤的MOS器件的制造方法；图4为本发明一种减小半导体器件热载流子注入损伤的PMOS结构的截面图。
具体实施例方式为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式
做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似推广，因此本发明不受下面公开的具体实施的限制。其次，本发明利用示意图进行详细描述，在详述本发明实施例时，为便于说明，表示器件结构的剖面图会不依一般比例作局部放大，而且所述示意图只是实例，其在此不应限制本发明保护的范围。此外，在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间尺寸。参见图2，本发明所提供的一种减小半导体器件热载流子注入损伤的MOS器件的制造方法流程为SlOO 提供半导体衬底，在所述的半导体衬底中形成η阱和ρ阱，在半导体衬底上方氧化生长栅氧层，再在所述的栅氧层上形成多晶硅栅。SlOl 在η阱区域上方覆盖光刻胶层，在未覆盖光刻胶层的ρ阱区域进行η型轻掺杂漏区结构源漏注入。S102 采用含四氟化碳组合气体通过灰化工艺去除η阱区域上方的光刻胶层并在 P阱区域的源漏端的硅衬底和栅氧层界面处形成硅氟键。S103 在ρ阱区域上方覆盖光刻胶层，在未覆盖光刻胶层的η阱区域进行P型轻掺杂漏区结构源漏注入。S104 采用含四氟化碳组合气体通过灰化工艺去除ρ阱区域上方的光刻胶层并在 η阱区域的源漏端的硅衬底和栅氧层界面处形成硅氟键。S105 制作栅极侧墙并进行源漏注入，形成源极和漏极。下面以图2所示的方法流程为例，结合附图3a至池，对一种减小半导体器件热载流子注入损伤的制作工艺进行详细描述。SlOO 提供半导体衬底，在所述的半导体衬底中形成η阱和ρ阱，在半导体衬底上方氧化生长栅氧层，再在所述的栅氧层上形成多晶硅栅。参见图3a，提供半导体衬底200，首先，在衬底200中制作η阱204和ρ阱206，其次，对半导体衬底200表面进行氧化生长二氧化硅薄膜，形成栅氧层202，并在衬底200上采用浅沟槽隔离(STI)工艺制备浅沟槽隔离208，然后，采用通用工艺在η阱204和ρ阱206 的栅氧层202上沉淀多晶硅，形成多晶栅极210。SlOl 在η阱区域上方覆盖光刻胶层，在未覆盖光刻胶层的ρ阱区域进行η型轻掺杂漏区结构源漏注入。参见图北，采用通常工艺在η阱区域上方覆盖用于掩膜的光刻胶层212，所述η阱区域是指η阱204及其两侧的部分浅沟槽隔离208所组成的区域，即在η阱204的有源区表面，和多晶栅极210的表面以及侧面，还有浅沟槽隔离208的一部分区域上方覆盖用于掩膜的光刻胶层212 ；然后，在未被光刻胶保护的ρ阱区域中进行轻掺杂漏区源漏注入，在ρ阱区域中形成η型轻掺杂区214，所述ρ阱区域是指ρ阱206及其两侧的部分浅沟槽隔离208 所组成的区域。S102 采用含四氟化碳组合气体通过灰化工艺去除η阱区域上方的光刻胶层并在 P阱区域的源漏端的硅衬底和栅氧层界面处形成硅氟键。首先，参见图3c，当对光刻胶层212进行灰化工艺时，除了通入化外，还可以适当通入一定量的CF4气体216，并调整通入时间和流量，在灰化工艺中，会有一定量的氟原子进入到η型轻掺杂区214中的源漏端，与源漏端的硅衬底和栅氧层202界面处的悬挂键相结合，参见图3d，形成硅氟键218。当灰化工艺完成之后，可以完全去除光刻胶层之外，还可以由源漏端形成的Si-F替代原有工艺中的Si-H。可选的，所述含四氟化碳组合气体可以为但不限于&与CF4气体的组合。可选的，所述灰化工艺可以在反应离子刻蚀装置中进行。优选的，所述灰化工艺中四氟化碳气体流量为5 15sCCm。优选的，所述灰化工艺的时间为5 15秒。S103 在ρ阱区域上方覆盖光刻胶层，在未覆盖光刻胶层的η阱区域进行P型轻掺杂漏区结构源漏注入。参见图加，采用通常工艺在ρ阱区域206上方覆盖用于掩膜的光刻胶层220，所述 P阱区域是指P阱206及其两侧的部分浅沟槽隔离208所组成的区域，即在P阱206的有源区表面，和多晶栅极210的表面以及侧面，还有浅沟槽隔离208—部分区域上方覆盖用于掩膜的光刻胶层220;然后，在未被光刻胶保护的阱区域中进行轻掺杂漏区源漏注入，在η阱区域中形成P型轻掺杂区222。S104 采用含四氟化碳组合气体通过灰化工艺去除ρ阱区域上方的光刻胶层并在 η阱区域的源漏端的硅衬底和栅氧层界面处形成硅氟键。参见图3f，当对光刻胶层220进行灰化工艺时，除了通入含O2气体外，还可以适当通入一定量的CF4气体216，并调整通入时间和流量，在灰化工艺中，会有一定量的氟原子进入到P型轻掺杂区222中的源漏端，与源漏端的硅衬底和栅氧层202界面处的悬挂键相结合，参见图3g，形成硅氟键224。当灰化工艺完成之后，可以完全去除光刻胶层220之外，还可以由源漏端形成的Si-F替代原有工艺中的Si-H。。可选的，所述含四氟化碳组合气体可以为但不限于&与CF4气体的组合。可选的，所述灰化工艺可以在反应离子刻蚀装置中进行。优选的，所述灰化工艺中四氟化碳气体流量为5 15sCCm。优选的，所述灰化工艺的时间为5 15秒。S105 制作栅极侧墙并进行源漏注入，形成MOS器件的源极和漏极。参见图3h，通过沉积侧墙薄膜并经过通用工艺制作栅极侧墙226。然后，再进行源漏重掺杂注入，形成MOS器件的源漏区。所述源漏注入分别在η阱204和ρ阱206形成ρ+ 区2 和η+区230，并分别作为PMOS和NMOS的源漏区。同时，源漏重掺杂注入工艺之后， 形成了 PMOS的轻掺杂区222’和NMOS的轻掺杂区214’。最后，参见图4，以PMOS为例，按照通常工艺从形成的PMOS的源漏区引出电极分别制作PMOS源极232和漏极234。同样，可以从形成NMOS的源漏区引出电极分别制作NMOS 源极和漏极。经过图3a至图池可知，与传统的灰化工艺中不需要通入CF4的LDD注入工艺相比，本发明所公开的一种减小半导体器件热载流子注入损伤的MOS器件的制造方法由于在 LDD注入工艺之后采用了含四氟化碳组合气体的灰化工艺，因此会在在源漏端形成Si-F替代原有工艺中的Si-H。由于Si-F的键能要高于Si-H，而热载流子注入损伤，通常会首先发生在漏端，因此漏端形成的Si-F对Si-H的替代，可以有效地防止MOS器件的热载流子注入损伤，减缓器件的失效时间。同时，与传统的对二氧化硅栅氧层中直接通过氟注入掺入氟原子的方法相比，本发明通过Ashing工艺中掺入适当的CF4，由于氟原子只从轻掺杂区128’ 和轻掺杂区116’的源漏端横向扩散进入二氧化硅栅氧层，因此只有在MOS器件的轻掺杂区 222’和轻掺杂区214’的源漏端的小范围内会有氟原子存在，不会在整体二氧化硅栅氧层中掺入氟原子，因此硼穿通现象得到有效的抑制，使得MOS工艺线的控制难度降低。由此可见，在LDD注入工艺之后，通过在Ashing工艺中，掺入通入CF4气体，并适当控制四氟化碳 CF4气体的通入流量和时间，以及调整灰化功率和灰化温度等条件，可以只在二氧化硅栅氧的源漏端小范围内掺入氟原子，从而有效防止MOS器件的热载流子注入损伤，又抑制了严重的硼穿通现象。本发明虽然以较佳实施例公开如上，但其并不是用来限定权利要求，任何本领域技术人员在不脱离本发明的精神和范围内，都可以做出可能的变动和修改，因此本发明的保护范围应当以本发明权利要求所界定的范围为准。
权利要求
1.一种减小半导体器件热载流子注入损伤的制造方法，包括如下步骤提供半导体衬底，在所述的半导体衬底中形成Π阱和ρ阱，在半导体衬底上方氧化生长栅氧层，再在所述的栅氧层上分别形成多晶硅栅；在η阱区域上方覆盖光刻胶层，在未覆盖光刻胶层的P阱区域进行η型轻掺杂漏区结构源漏注入；采用含四氟化碳组合气体通过灰化工艺去除η阱区域上方的光刻胶层并在ρ阱区域的源漏端的硅衬底和栅氧层界面处形成硅氟键；在P阱区域上方覆盖光刻胶层，在未覆盖光刻胶层的η阱区域进行P型轻掺杂漏区结构源漏注入；采用含四氟化碳组合气体通过灰化工艺去除P阱区域上方的光刻胶层并在η阱区域的源漏端的硅衬底和栅氧层界面处形成硅氟键；制作栅极侧墙并进行源漏注入，形成源极和漏极。
2.根据权利要求1所述的减小半导体器件热载流子注入损伤的制造方法，其特征在于所述含四氟化碳组合气体为氧气与四氟化碳气体的组合。
3.根据权利要求1所述的减小半导体器件热载流子注入损伤的制造方法，其特征在于所述灰化工艺在反应离子刻蚀装置中进行。
4.根据权利要求2所述的减小半导体器件热载流子注入损伤的制造方法，其特征在于所述灰化工艺中四氟化碳气体流量为5 15sCCm。
5.根据权利要求1所述的减小半导体器件热载流子注入损伤的制造方法，其特征在于所述灰化工艺的时间为5 15秒。
全文摘要
本发明提出一种减小半导体器件热载流子注入损伤的制造方法，包括如下步骤在半导体衬底中形成n阱、p阱，在衬底上方生长栅氧层并在栅氧层上形成多晶硅栅；在n阱区域上方覆盖光刻胶层后对p阱区域进行轻掺杂漏区结构源漏注入；采用含四氟化碳组合气体灰化光刻胶层并在p阱区域源漏端界面处形成硅氟键；在p阱区域上方覆盖光刻胶层后对n阱区域进行轻掺杂漏区结构源漏注入；采用含四氟化碳组合气体灰化光刻胶层并在n阱区域源漏端界面处形成硅氟键；制作栅极侧墙并进行源漏注入，形成源极和漏极。本发明提供了一种可以减小半导体器件热载流子注入损伤的MOS器件的制造方法，既可以防止MOS器件的热载流子注入损伤，又可以抑制硼穿通现象。
文档编号H01L21/8238GK102299113SQ20111026652
公开日2011年12月28日 申请日期2011年9月8日 优先权日2011年9月8日
发明者俞柳江, 李全波, 黄晓橹 申请人:上海华力微电子有限公司