专利名称：接触孔刻蚀方法、集成电路制造方法以及集成电路的制作方法
技术领域：
本发明涉及集成电路制造领域，尤其涉及接触孔刻蚀方法、采用了该接触孔刻蚀方法的集成电路制造方法、以及通过该集成电路制造方法制造出来的集成电路。
背景技术：
对于集成电路(IC，integrate circuit)的制造，首先一般在晶片(也称为晶圆) 中制造半导体器件(有源器件和/或无源器件)，随后在制造了半导体器件的晶片上对金属连线层进行布线，以将半导体器件连接起来形成具有一定功能的集成电路或模块。为了形成集成电路或芯片，需要接触孔来实现半导体器件与金属层之间的电连接。一般通过刻蚀来形成接触孔。在现有技术的接触孔刻蚀方法中，一般先沉积孔刻蚀停止层以及内层电介质层， 然后执行接触孔光刻及刻蚀。但是，在65nm以下的工艺中，为了获得良好的半导体器件性能，需要将之前的接触孔刻蚀停止层同时作为应力层，以改善半导体器件内部的应力分布。而且，由于N型半导体器件和P型半导体器件对于应力类型的要求不同，因此需要两种不同的应力层。但是，这两种不同的应力层容易在N型半导体器件/P型半导体器件交界的位置互相重叠。此时，如果N/P交界处的这种互相重叠的地方需要打开接触孔，就会由于应力层的厚度和其他地方不同而发生接触孔刻蚀窗口差异的问题。一方面，如果刻蚀时过刻蚀量过少，就可能会在重叠的地方引起刻蚀不够的现象，从而引起接触孔连接问题。另一方面，如果过刻蚀量过多， 则有可能在单层接触孔刻蚀停止层(同时作为应力层)部分引起半导体器件漏电的问题。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是针对现有技术中存在上述缺陷，提供一种确保接触孔导电的情况下不会引起半导体器件漏电的接触孔刻蚀方法、采用了该接触孔刻蚀方法的集成电路制造方法、以及通过该集成电路制造方法制造出来的集成电路。根据本发明的第一方面，提供了一种接触孔刻蚀方法，其包括第一接触孔刻蚀阻挡层形成步骤，用于形成第一接触孔刻蚀阻挡层；第一接触孔刻蚀阻挡层刻蚀步骤，用于利用第一掩膜对第一接触孔刻蚀阻挡层进行刻蚀，以便在将要形成接触孔的位置上保留所述第一接触孔刻蚀阻挡层；第二接触孔刻蚀阻挡层形成步骤，用于在所述第一接触孔刻蚀阻挡层刻蚀步骤之后形成第二接触孔刻蚀阻挡层；内层电介质层形成步骤，用于在所述第二接触孔刻蚀阻挡层上形成内层电介质层；接触孔刻蚀步骤，用于利用第二掩膜对内层电介质层进行刻蚀以形成接触孔；以及接触孔填充步骤，用于利用导电材料填充所述接触孔刻蚀步骤刻蚀出来的接触孔。优选地，所述将要形成接触孔的位置包括N型半导体器件/P型半导体器件交界的位置。优选地，所述第一接触孔刻蚀阻挡层的材料为二氧化硅。
优选地，通过逻辑运算产生所述第一掩膜和所述第二掩膜。
优选地，所述第一掩膜和所述第二掩膜相同。优选地，所述接触孔刻蚀方法被用于65nm以下的工艺。根据本发明的第二方面，提供了一种集成电路制造方法，其特征在于采用了根据本发明第一方面所述的接触孔刻蚀方法。根据本发明的第三方面，提供了一种根据本发明的第二方面所述的集成电路制造方法制造的集成电路。本发明提出一种新的用于双层应力接触孔刻蚀阻挡层的接触孔刻蚀停止层工艺用于解决接触孔刻蚀问题。在本发明中，在正常的接触孔刻蚀阻挡层工艺前沉积了一定厚度的接触孔刻蚀阻挡层材料(例如二氧化硅薄膜)，执行光刻和刻蚀以便只在将要形成的接触孔的位置上保留此接触孔刻蚀阻挡层材料(例如二氧化硅薄膜)作为接触孔刻蚀时的停止层；然后可执行正常的接触孔刻蚀阻挡层工艺，内层电介质层工艺和接触孔工艺。由于在接触孔刻蚀时由于在接触孔刻蚀阻挡层下面已经淀积了上述的接触孔刻蚀阻挡层材料 (例如二氧化硅薄膜)的停止层，所以既可以在接触孔刻蚀阻挡层重叠的地方获得足够的刻蚀窗口，又不会在其他单层接触孔刻蚀阻挡层的位置引起过刻蚀的情况。
结合附图，并通过参考下面的详细描述，将会更容易地对本发明有更完整的理解并且更容易地理解其伴随的优点和特征，其中图1示意性地示出了根据本发明实施例的接触孔刻蚀方法的第一接触孔刻蚀阻挡层形成步骤的示意图。图2示意性地示出了根据本发明实施例的接触孔刻蚀方法的第一接触孔刻蚀阻挡层刻蚀步骤的示意图。图3示意性地示出了根据本发明实施例的接触孔刻蚀方法的内层电介质层形成步骤的示意图。图4示意性地示出了根据本发明实施例的接触孔刻蚀方法的接触孔刻蚀步骤的示意图。图5示意性地示出了根据本发明实施例的接触孔刻蚀方法的接触孔填充步骤的示意图。需要说明的是，附图用于说明本发明，而非限制本发明。注意，表示结构的附图可能并非按比例绘制。并且，附图中，相同或者类似的元件标有相同或者类似的标号。
具体实施例方式为了使本发明的内容更加清楚和易懂，下面结合具体实施例和附图对本发明的内容进行详细描述。下面将参考图1至图5来描述根据本发明实施例的接触孔刻蚀方法。如图所示， 根据本发明实施例的接触孔刻蚀方法包括如下步骤第一接触孔刻蚀阻挡层形成步骤，用于形成第一接触孔刻蚀阻挡层ST1。图1示意性地示出了根据本发明实施例的接触孔刻蚀方法的第一接触孔刻蚀阻挡层形成步骤的示意图。如图1所示，半导体衬底SUB上布置了 P阱PW以及N阱NW ；具体地，P阱PW用于形成P型半导体器件，N阱NW用于形成N型半导体器件。并且，在第一接触孔刻蚀阻挡层形成步骤之前(即在形成接触孔之前)已经形成了半导体器件的栅极结构等。在半导体衬底上例如通过沉积形成了第一接触孔刻蚀阻挡层ST1。优选地，所述第一接触孔刻蚀阻挡层STl 的材料为二氧化硅。第一接触孔刻蚀阻挡层刻蚀步骤，用于利用第一掩膜(未示出)对第一接触孔刻蚀阻挡层进行刻蚀，以便在将要形成接触孔的位置PAl上保留所述第一接触孔刻蚀阻挡层；图2示意性地示出了根据本发明实施例的接触孔刻蚀方法的第一接触孔刻蚀阻挡层刻蚀步骤的示意图。例如，可通过逻辑运算产生所述第一掩膜。优选地，将要形成接触孔的位置PAl包括N型半导体器件/P型半导体器件交界的位置，例如图2所示的三个位置PAl的中间那个位置PAl。第二接触孔刻蚀阻挡层形成步骤，用于在所述第一接触孔刻蚀阻挡层刻蚀步骤之后形成第二接触孔刻蚀阻挡层ST2。优选地，所述第二接触孔刻蚀阻挡层ST2的材料为二氧化硅。内层电介质层形成步骤，用于在所述第二接触孔刻蚀阻挡层ST2上形成内层电介质层ILD ；图3示意性地示出了根据本发明实施例的接触孔刻蚀方法的内层电介质层形成步骤的示意图。接触孔刻蚀步骤，用于利用第二掩膜(未示出)对内层电介质层ILD进行刻蚀以形成接触孔PA2 ；图4示意性地示出了根据本发明实施例的接触孔刻蚀方法的接触孔刻蚀步骤的示意图。优选地，同样可通过逻辑运算产生所述第二掩膜。进一步优选地，所述第一掩膜和所述第二掩膜相同，由此可以仅仅产生一个掩膜来同时用作所述第一掩膜和所述第
二掩膜。接触孔填充步骤，用于利用导电材料M填充所述接触孔刻蚀步骤刻蚀出来的接触孔。图5示意性地示出了根据本发明实施例的接触孔刻蚀方法的接触孔填充步骤的示意图。具体地说，导电材料M可以是导电金属，例如金属钨(W)。由此，本发明提出一种新的用于双层应力接触孔刻蚀阻挡层的接触孔刻蚀停止层工艺用于解决接触孔刻蚀问题。在本发明中，在正常的接触孔刻蚀阻挡层工艺前沉积了一定厚度的接触孔刻蚀阻挡层材料(例如二氧化硅薄膜)，执行光刻和刻蚀以便只在将要形成的接触孔的位置上保留此接触孔刻蚀阻挡层材料(例如二氧化硅薄膜)作为接触孔刻蚀时的停止层；然后可执行正常的接触孔刻蚀阻挡层工艺，内层电介质层工艺和接触孔工艺。 由于在接触孔刻蚀时由于在接触孔刻蚀阻挡层下面已经淀积了上述的接触孔刻蚀阻挡层材料(例如二氧化硅薄膜)的停止层，所以既可以在接触孔刻蚀阻挡层重叠的地方获得足够的刻蚀窗口，又不会在其他单层接触孔刻蚀阻挡层的位置引起过刻蚀的情况。优选地，上述接触孔刻蚀方法有利地用于65nm以下的半导体器件制造工艺及集成电路制造工艺。在本发明的另一实施例中，提供了一种集成电路制造方法，其有利地采用了上述接触孔刻蚀方法。在本发明的另一实施例中，提供了一种通过上述集成电路制造方法制成的集成电路。
可以理解的是，虽然本发明已以较佳实施例披露如上，然而上述实施例并非用以限定本发明。对于任何熟悉本领域的技术人员而言，在不脱离本发明技术方案范围情况下， 都可利用上述揭示的技术内容对本发明技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本发明技术方案保护的范围内。
权利要求
1.一种接触孔刻蚀方法，其特征在于包括第一接触孔刻蚀阻挡层形成步骤，用于形成第一接触孔刻蚀阻挡层；第一接触孔刻蚀阻挡层刻蚀步骤，用于利用第一掩膜对第一接触孔刻蚀阻挡层进行刻蚀，以便在将要形成接触孔的位置上保留所述第一接触孔刻蚀阻挡层；第二接触孔刻蚀阻挡层形成步骤，用于在所述第一接触孔刻蚀阻挡层刻蚀步骤之后形成第二接触孔刻蚀阻挡层；内层电介质层形成步骤，用于在所述第二接触孔刻蚀阻挡层上形成内层电介质层；接触孔刻蚀步骤，用于利用第二掩膜对内层电介质层进行刻蚀以形成接触孔；以及接触孔填充步骤，用于利用导电材料填充所述接触孔刻蚀步骤刻蚀出来的接触孔。
2.根据权利要求1所述的接触孔刻蚀方法，其特征在于，所述将要形成接触孔的位置包括N型半导体器件/P型半导体器件交界的位置。
3.根据权利要求1或2所述的接触孔刻蚀方法，其特征在于，所述第一接触孔刻蚀阻挡层的材料为二氧化硅。
4.根据权利要求1或2所述的接触孔刻蚀方法，其特征在于，通过逻辑运算产生所述第一掩膜和所述第二掩膜。
5.根据权利要求1或2所述的接触孔刻蚀方法，其特征在于，所述第一掩膜和所述第二掩膜相同。
6.根据权利要求1或2所述的接触孔刻蚀方法，其特征在于，所述接触孔刻蚀方法被用于65nm以下的工艺。
7.一种集成电路制造方法，其特征在于采用了根据权利要求1至6之一所述的接触孔刻蚀方法。
8.一种采用了根据权利要求7所述的集成电路制造方法制成的集成电路。
全文摘要
本发明提供了一种接触孔刻蚀方法、集成电路制造方法以及集成电路。根据本发明的一种接触孔刻蚀方法包括第一接触孔刻蚀阻挡层形成步骤，用于形成第一接触孔刻蚀阻挡层；第一接触孔刻蚀阻挡层刻蚀步骤，用于利用第一掩膜对第一接触孔刻蚀阻挡层进行刻蚀，以便在将要形成接触孔的位置上保留所述第一接触孔刻蚀阻挡层；第二接触孔刻蚀阻挡层形成步骤，用于在所述第一接触孔刻蚀阻挡层刻蚀步骤之后形成第二接触孔刻蚀阻挡层；内层电介质层形成步骤，用于在所述第二接触孔刻蚀阻挡层上形成内层电介质层；接触孔刻蚀步骤，用于利用第二掩膜对内层电介质层进行刻蚀以形成接触孔；接触孔填充步骤，用于利用导电材料填充接触孔刻蚀步骤刻蚀出来的接触孔。
文档编号H01L21/768GK102364674SQ20111036618
公开日2012年2月29日 申请日期2011年11月17日 优先权日2011年11月17日
发明者石磊 申请人:上海华力微电子有限公司