专利名称：石墨舟电极结构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及石墨舟技术领域，尤其涉及一种石墨舟电极结构。
背景技术：
石墨舟是给太阳能电池片中的硅片镀膜的载体，在工作时，石墨舟通过其上设置的电极与真空镀膜设备比如PECVD设备的电极导电连接，实现石墨舟的通电。目前，石墨舟的电极接触方式一般为孔接触，通常在石墨舟的大电极块和小电极块上设置电极接触孔，对于这种电极结构，如果尺寸稍有偏差，则很容易撞坏石墨舟。
实用新型内容本实用新型的主要目的在于提供一种方便可靠的石墨舟电极结构。为了达到上述目的，本实用新型提出一种石墨舟电极结构，包括设置在石墨舟上的电极块，还包括电极叉，所述电极叉一端与所述电极块连接，其另一端为延伸出所述电极块外的自由端，该自由端与外部设备电极导电连接。优选地，所述电极叉包括两弹簧片，两弹簧片后部插入所述电极块内并与所述电极块导电连接，中部设有圆弧形弹性区域，其前部形成Y型开口，用于与外部设备电极接触。优选地，所述两弹簧片后部设有穿套石墨舟上的陶瓷杆及石墨杆的定位孔，所述两弹簧片通过所述陶瓷杆与所述电极块固定连接；并通过所述石墨杆与所述电极块导电连接。优选地，所述两弹簧片在其后部的尾端焊接。优选地，所述两弹簧片一体成型。优选地，所述电极叉还包括连接片；所述连接片位于所述两弹簧片之间，且位于所述两弹簧片的后部。优选地，所述连接片与所述两弹簧片焊接。优选地，所述电极叉为不锈钢或铜制成。本实用新型提出的一种石墨舟电极结构，改变石墨舟电极接触方式，通过电极叉连接石墨舟的电极与外部设备电极，将石墨电极的接触点延伸到石墨舟外，避免了石墨舟电极直接与外部设备电极接触可能造成的损害，不仅起到保护石墨舟的作用，而且可以更换电极叉材料，选用导电效果更好的材料，进一步增强了石墨舟电极接触的效果，而且方便可靠。
图1是本实用新型石墨舟电极结构中电极叉的主视图；图2是本实用新型石墨舟电极结构中电极叉的俯视图；图3是本实用新型应用于石墨舟的局部放大示意图。
3[0017]为了使本实用新型的技术方案更加清楚、明了，下面将结合附图作进一步详述。
具体实施方式
本实用新型技术方案总体思路是通过电极叉连接石墨舟的电极与外部设备电极，将石墨电极的接触点延伸到石墨舟外，避免了石墨舟电极直接与外部设备电极接触可能造成的损害，方便可靠。以下将结合附图及实施例，对实现实用新型目的的技术方案作详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。如图1、图2及图3所示，本实用新型一实施例提出一种石墨舟电极结构，包括设置在石墨舟上的电极块20，以及电极叉10，电极叉10—端与电极块20连接，其另一端为延伸出电极块20外的自由端，该自由端与外部设备电极导电连接。具体地，本实施例中电极叉10包括两弹簧片101，两弹簧片101包括前部1013、中部1012及后部1011，两弹簧片101后部1011插入电极块内与电极块导电连接，中部1012 设有圆弧形弹性区域，其前部1013形成Y型开口，用于与外部设备电极接触。在本实施例中，两弹簧片101在其后部1011的尾端焊接。作为实施方式的变形， 两弹簧片101也可以一体成型。通常，石墨舟的电极块20通过陶瓷杆固定连接，并通过石墨杆与舟片及舟片之间的石墨隔块导电连接，本实施例中，在两弹簧片101后部1011设有穿套石墨舟上的陶瓷杆及石墨杆的定位孔1014，当两弹簧片101插入电极块20后，两弹簧片101通过陶瓷杆与电极块固定连接；并通过石墨杆与电极块20导电连接。为了增加电极叉10的弹性，电极叉10还包括连接片102 ；该连接片102位于两弹簧片101之间，且位于两弹簧片101的后部1011，连接片102与两弹簧片101的后部1011 一起插入石墨舟的电极块20中。其中，连接片102与两弹簧片101焊接。本实施例中电极叉10可以由导电良好且耐腐蚀性的不锈钢或铜制成。相比现有技术，本实用新型实施例的石墨舟电极结构，改变石墨舟电极接触方式， 通过电极叉10连接石墨舟的电极块20与外部设备电极，将石墨电极的接触点延伸到石墨舟外，避免了石墨舟电极直接与外部设备电极接触可能造成的损害，不仅起到保护石墨舟的作用，而且可以更换电极叉材料，选用导电效果更好的材料，进一步增强了石墨舟电极接触的效果，而且方便可靠。需要说明的是，上述电极叉10也可以与石墨舟中的石墨隔块直接连接，该石墨隔块应与石墨舟中的电极块20导电连接，石墨隔块的形状可以根据实际需要设定，以将电极叉10插入石墨隔块的结构较佳。因此，本实用新型石墨舟电极结构的电极接触方式适用于所有型号的石墨舟。以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围， 凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
权利要求1.一种石墨舟电极结构，包括设置在石墨舟上的电极块，其特征在于，还包括电极叉， 所述电极叉一端与所述电极块连接，其另一端为延伸出所述电极块外的自由端，该自由端与外部设备电极导电连接。
2.根据权利要求1所述的石墨舟电极叉，其特征在于，所述电极叉包括两弹簧片，两弹簧片后部插入所述电极块内并与所述电极块导电连接，中部设有圆弧形弹性区域，其前部形成Y型开口，用于与外部设备电极接触。
3 根据权利要求2所述的石墨舟电极叉，其特征在于，所述两弹簧片后部设有穿套石墨舟上的陶瓷杆及石墨杆的定位孔，所述两弹簧片通过所述陶瓷杆与所述电极块固定连接；并通过所述石墨杆与所述电极块导电连接。
4.根据权利要求2所述的石墨舟电极叉，其特征在于，所述两弹簧片在其后部的尾端焊接。
5.根据权利要求2所述的石墨舟电极叉，其特征在于，所述两弹簧片一体成型。
6.根据权利要求1-5中任一项所述的石墨舟电极叉，其特征在于，所述电极叉还包括连接片；所述连接片位于所述两弹簧片之间，且位于所述两弹簧片的后部。
7.根据权利要求6所述的石墨舟电极叉，其特征在于，所述连接片与所述两弹簧片焊接。
8.根据权利要求7所述的石墨舟电极叉，其特征在于，所述电极叉为不锈钢或铜制成。
专利摘要本实用新型涉及一种石墨舟电极结构，包括设置在石墨舟上的电极块，以及电极叉，电极叉一端与电极块连接，其另一端为延伸出电极块外的自由端，该自由端与外部设备电极导电连接。本实用新型改变石墨舟电极接触方式，通过电极叉连接石墨舟的电极与外部设备电极，将石墨电极的接触点延伸到石墨舟外，避免了石墨舟电极直接与外部设备电极接触可能造成的损害，不仅起到保护石墨舟的作用，而且可以更换电极叉材料，选用导电效果更好的材料，进一步增强了石墨舟电极接触的效果，而且方便可靠。
文档编号H01L31/18GK202022977SQ20112009394
公开日2011年11月2日 申请日期2011年4月1日 优先权日2011年4月1日
发明者冯银辉 申请人:石金精密科技(深圳)有限公司