专利名称：一种用于单晶托加热的装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及单晶硅加工领域中的一种用于单晶托加热的装置。
背景技术：
在单晶硅片生产流程中有一道工序是将玻璃板与单晶托剥离。此工序是利用加热烘箱对带有玻璃的单晶托进行加热烘烤，烘烤后取出，再利用锤子将玻璃板轻松敲下的过程。现在，由工人将带有玻璃的单晶托放置在平板上，再将平板搬到加热烘箱中进行加热烘烤。在加热烘烤完毕后，再由工人将单晶托取出。这样，只能一件一件的进行加热， 并且只能人工操作，费时费办，工作效率低下。
实用新型内容本实用新型的所要解决的技术问题是提供一种可供多件同时加热，且工作效率高的一种用于单晶托加热的装置。本实用新型的技术方案为一种用于单晶托加热的装置，其结构中包括托架和托盘；所述的托架为底座、上架和多个立柱围合而成的框架结构，在相对立柱的侧壁上的相对应位置分别设置有放置托盘的支架。其中，所述的托盘由平板和支脚组成，所述支脚设置于平板的下表面。其中，所述的立柱自上至下设置有多个支架，所述的托盘为多个。本实用新型与现有技术相比的优点为1、本实用新型设置了多层支架和托盘，可以同时加热多个单晶托，提高了工作效率。2、在托盘下面设置了支脚，可以方便液压堆高车进行工件的运送，实现机械操作， 避免了对人的烫伤和降低了劳动强度。
1、图1是本实用新型的结构示意图。其中，1、底座，2、支脚，3、平板，4、单晶托，5、立柱，6、上架，7、支架。
具体实施方式
参见图1，本实用新型的用于单晶托加热的装置，由托架和托盘组成，所述的托架为底座1、上架6和多个立柱5围合而成的框架结构，在相对立柱5的侧壁上的相对应位置分别设置有放置托盘的支架7。托盘由平板3和支脚2组成，所述支脚2设置于平板3的下表面。立柱5自上至下设置有6个支架7，3个托盘。工作时，将需加热的将带有玻璃的单晶托4放置在托盘的平板3上，再用液压堆高车将托盘放置在置于烘箱内的托架的支架7上，即可进行烘烤。在加热完成后，用液压堆高车将托盘取出，再进行将玻璃板与单晶托的剥离。
权利要求1.一种用于单晶托加热的装置，其特征在于其结构中包括托架和托盘；所述的托架为底座(1)、上架(6)和多个立柱(5)围合而成的框架结构，在相对立柱(5)的侧壁上的相对应位置分别设置有放置托盘的支架(7)。
2.根据权利要求1所述的一种用于单晶托加热的装置，其特征在于所述的托盘由平板⑶和支脚⑵组成，所述支脚⑵设置于平板⑶的下表面。
3.根据权利要求1或2所述的一种用于单晶托加热的装置，其特征在于所述的立柱 (5)自上至下设置有多个支架(7)，所述的托盘为多个。
专利摘要本实用新型涉及单晶硅加工领域中的一种用于单晶托加热的装置，其结构中包括托架和托盘；所述的托架为底座(1)、上架(6)和多个立柱(5)围合而成的框架结构，在相对立柱(5)的侧壁上的相对应位置分别设置有放置托盘的支架(7)。本实用新型设置了多层支架和托盘，可以同时加热多个单晶托，提高了工作效率；在托盘下面设置了支脚，可以方便液压堆高车进行工件的运送，实现机械操作，避免了对人的烫伤和降低了劳动强度。
文档编号H01L21/67GK202259215SQ201120380270
公开日2012年5月30日 申请日期2011年10月9日 优先权日2011年10月9日
发明者刘巍, 周为征, 李佩剑, 王建锁, 范靖, 黄计成 申请人:晶伟电子材料有限公司