保持夹具、处理夹具、组合保持夹具以及被粘着物保持装置的制作方法

专利名称：保持夹具、处理夹具、组合保持夹具以及被粘着物保持装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及保持夹具、处理夹具、组合保持夹具以及被粘着物保持装置，更详细而言，是涉及尽管能够按照预想粘着保持被粘着物但也能够容易地使被粘着保持的几乎全部被粘着物脱离的保持夹具、处理夹具、组合保持夹具以及被粘着物保持装置。
背景技术：
以往,例如在制造片式电容器(chip capacitor)等小型零件等时,使用能够将能够制造该小型部件等的小型零件用部件等粘着保持于表面的保持夹具。例如，专利文献I所记载的保持夹具的特征在于，“至少表面部由具有粘着性的橡胶弹性材料形成，能够利用其粘着力而在该弹性材料表面密接保持小型零件”(参照专利文献I的技术方案I)。为了使用这样的保持夹具制造小型零件等，小型零件作为被粘着物而在粘着保持于保持夹具的状态下被向各种制造工序等供给。并且，将在粘着保持于保持夹具的状态下制成的小型零件等从保持夹具取下。作为从保持夹具取下小型零件等的方法，例如存在如下方法:使刮刀等小型零件刮取部件在弹性材料表面上滑动，由此将被粘着保持的小型零件等取下。作为这样的方法，具体在专利文献2中有如下记载:“一种电子零件的处理方法，具备以下工序:在具有支承体和形成于支承体的一个面的粘着层的电子零件件保持件的该粘着层通过粘着的方式来保持多个电子零件的工序；对被保持于上述粘着层的电子零件实施规定处理的工序；以及通过利用上述刀刃的前端使粘着层凹陷并在该状态下使刀刃朝粘着层表面方向相对移动而使电子零件从粘着层脱离的工序。”(参照技术方案4等。)。在专利文献2所记载的方法中，如专利文献2的图3所示，由于是通过“利用刀刃的前端使粘着层凹陷并在该状态下使刀刃朝粘着层表面方向相对移动”的方式而使电子零件2倾斜并脱离，所以如果不适当地设定电子零件的尺寸、粘着层的凹陷状态、粘着层的粘着力、刀刃的移动速度等，则有时会使电子部件翻倒而再次粘着于粘着层表面，无法按照预想而从粘着层取下该电子零件。另外，作为其它方法，专利文献3中有如下记载:“一种电子零件的处理方法，其特征在于，包括以下步骤:准备具有粘着材料层、非粘着部分或者粘着力小于粘着材料层的低粘着度部分的保持单元的步骤；通过使电子零件的一端面粘着于上述保持单元的粘着材料层而保持该电子零件的步骤；以及使刮取单元沿上述粘着材料层的表面并且朝使得上述非粘着部分或者上述低粘着度部分朝趋向移动方向末端的方向移动，由此从粘着材料层刮取电子零件的步骤”(参照技术方案8等。)。如专利文献3所记载的方法那样，即便使小型零件刮取部件在弹性材料表面上滑动，有时被粘着物也会翻倒而再次粘着于粘着层表面，从而无法容易地取下小型零件。特别是由于小型零件等近年来逐渐趋向小型化，因此小型零件等的尺寸变得越小，就越容易产生上述那样的小型零件等再次粘着的问题。专利文献1:日本特公平07 - 93247号公报
专利文献2:日本特开2003 - 77772号公报专利文献3:日本特开2004 - 193366号公报

发明内容
本发明的目的在于，提供尽管能够按照预想而粘着保持被粘着物但也能够容易地使粘着保持的几乎全部被粘着物脱离的保持夹具、处理夹具、组合保持夹具以及被粘着物保持装置。本申请发明人发现，在将被粘着物按压于弹性部件而对其进行粘着保持并朝侧方按压被粘着物来使其脱离的保持夹具中，现有的技术常识为如若不使粘着保持被粘着物的粘着性表面高度平坦则无法按照预想而粘着保持被粘着物，若违反上述技术常识而使粘着性表面的表面具有某种程度的粗糙度，则即便使被粘着物与粘着性表面接触，但如果不对其进行按压则无法牢固地粘着保持该被粘着物，尽管如此，但如果将被粘着物按压于粘着性表面，则体现出与平坦的粘着性表面几乎相同的粘着力从而能够粘着保持被粘着物，而且通过朝侧方按压被粘着保持的被粘着物就能够按照预想而容易地使几乎全部被粘着物脱离，本发明人基于如上新发现而完成了本申请发明。这样，本申请发明人发现，如果使粘着性表面的表面具有某种程度的粗糙度，则能够以闻水准同时获得在按压被粘着物时的闻粘着力和被粘着物的脱尚性，从而发 车在粘着性表面的简单的粘着力的调整中无法获得的高脱离性，本发明人基于如上新发现而完成了本申请发明。作为用于解决上述课题的第一方法的本发明的保持夹具的特征在于，构成为具备:夹具主体；以及弹性部件，该弹性部件设置于上述夹具主体的表面，且其最大粗糙度Ry(JIS Β0601 — 1994)为 1.0 μ m 6.0 μ m。该保持夹具优选的一个例子为，上述弹性部件的凹凸的平均间隔Sm(JIS B0601 一1994)为 5.0 μ m 15.0 μ m 。作为用于解决上述课题的第二方法的本发明的处理夹具的特征在于，构成为具备:本发明所涉及的保持夹具；以及脱离件，该脱离件沿上述保持夹具的弹性部件的表面进打相对移动而使被粘着保持的被粘着物脱尚。作为用于解决上述课题的第三方法的本发明的组合保持夹具的特征在于，具备:第一保持夹具，该第一保持夹具构成为具备第一夹具主体和设置于上述第一夹具主体的表面的第一弹性部件；以及第二保持夹具，该第二保持夹具构成为包括第二夹具主体和设置于上述第二夹具主体的表面的第二弹性部件，上述第一保持夹具以及上述第二保持夹具的至少一方是本发明所涉及的保持夹具，并且，上述第二弹性部件具有大于上述第一弹性部件的粘着力的粘着力。该组合保持夹具优选的一个例子为，上述第二保持夹具是本发明所涉及的保持夹具。作为用于解决上述课题的第四方法的本发明的被粘着物保持装置的特征在于，具备本发明所涉及的组合保持夹具。发明的效果由于本发明所涉及的保持夹具具备夹具主体以及设置于该夹具主体的表面且最大粗糙度Ry为1.0 μ m 6.0 μ m的弹性部件，所以如果将被粘着物按压于弹性部件，则被粘着物的接触面与弹性部件的表面密接而使得被粘着物粘着保持于弹性部件，另一方面，如果朝侧方按压被粘着物，则被粘着物的接触面从弹性部件的表面剥落，从而使得被粘着物从弹性部件脱离。另外，本发明所涉及的处理夹具具备本发明所涉及的保持夹具，本发明所涉及的组合保持夹具具备至少一个本发明所涉及的保持夹具，本发明所涉及的被粘着物保持装置具备本发明所涉及的组合保持夹具。因此，根据本发明，能够提供尽管能够按照预想而粘着保持被粘着物但也能够容易地使粘着保持的几乎全部被粘着物脱离的保持夹具、处理夹具、组合保持夹具以及被粘着物保持装置。


图1是示出作为本发明所涉及的保持夹具的一个例子的保持夹具的简要立体图。图2是示出作为本发明所涉及的处理夹具的一个例子的处理夹具的简要主视图。图3是示出作为本发明所涉及的组合保持夹具的一个例子的组合保持夹具的简图。图4是示出作为本发明所涉及的被粘着物保持装置的一个例子的被粘着物保持装置的简要说明图。图5是示出在作为本发明所涉及的被粘着物保持装置的一个例子的被粘着物保持装置中利用第一保持夹具而悬垂保持片式电容器主体的状态的简要说明图。图6是示出在作为本发明所涉及的被粘着物保持装置的一个例子的被粘着物保持装置中将形成有电极的片式电容器主体悬垂保持于第一保持夹具的状态的简要说明图。图7是示出在作为本发明所涉及的被粘着物保持装置的一个例子的被粘着物保持装置中将悬垂保持于第一保持夹具的片式电容器主体朝第二保持夹具按压的状态的简要说明图。图8是示出在作为本发明所涉及的被粘着物保持装置的一个例子的被粘着物保持装置中将在两端部涂装设置电极而形成的片式电容器悬垂保持于第二保持夹具的状态的简要说明图。
具体实施例方式对于粘着保持于本发明所涉及的保持夹具、处理夹具、组合保持夹具以及被粘着物保持装置的被粘着物，列举出了能够制造需要被粘着保持于上述这些装置的被粘着物的被粘着物用部件，例如列举了小型器械用部件、小型机械构件用部件以及小型电子零件用部件等。另外，由于被粘着物的制造过程中还包括被粘着物的输送工序等，所以被粘着物还包括被粘着物本身，例如小型器械、小型机械构件以及小型电子零件等。因此，在本发明中，无需明确区别被粘着物与被粘着物用部件。在这些被粘着物中，作为适合被粘着保持于本发明所涉及的保持夹具、处理夹具、组合保持夹具以及被粘着物保持装置的被粘着物，能够举出小型电子零件以及/或者小型电子零件用部件等。作为小型电子零件以及小型电子零件用部件，例如能够举出电容片(有时也称作片式电容器。)、电感片、电阻片、FPC、晶圆等成品或未成品等、以及/或者能够制造这些被粘着物的例如棱柱体或圆柱体、一端部具有凸缘的棱柱体或圆柱体、两端部具有凸缘的棱柱体或圆柱体等。本发明所涉及的保持夹具构成为具备夹具主体和具有上述范围内的最大粗糙度Ry的粘着性表面的弹性部件，能够按照预想而将被粘着物粘着保持于弹性部件的粘着性表面，另一方面，在必要时能够容易地将粘着保持于弹性部件的被粘着物取下。为了将被粘着物粘着保持于本发明所涉及的保持夹具，将被粘着物按压于弹性部件的粘着性表面。于是，对于通过被粘着物的接触面而被按压的弹性部件的粘着性表面，例如具有上述最大粗糙度Ry的山峰部分发生弹性变形而山谷部分变得平坦，该弹性部件的粘着性表面与被粘着物的接触面密接，由此将被粘着物粘着保持于弹性部件。另一方面，为了将被粘着保持于本发明所涉及的保持夹具的被粘着物取下，从侧方按压被粘着物以使该被粘着物倾斜。于是，发生了弹性变形的山峰部分复原而使得粘着性表面具有上述范围内的最大粗糙度Ry，被粘着物的接触面容易从弹性部件的表面剥落，由此使被粘着物脱离弹性部件。这样，根据现有技术的技术常识可知，如若不使粘着性表面高度平坦则无法粘着保持被粘着物，而在本发明中却与上述技术常识相反，当弹性部件的粘着性表面具有上述范围内的最大粗糙度Ry时，能够以高水准同时获得按压被粘着物时的高粘着力以及被粘着物的脱离性，其结果，尽管能够按照预想而对被粘着物进行粘着保持，但也能够容易地使几乎全部被粘着物脱离。参照附图对作为本发明所涉及的保持夹具的一个例子的保持夹具进行说明。如图1所示，该保持夹具I具备夹具主体2和弹性部件3，该弹性部件3设置于夹具主体2的表面并具有能够对被粘着物进行粘着保持的粘着性表面。如图1所示，夹具主体2支承后述的弹性部件3。该夹具主体2只要具有平滑的表面即可，只要能够支承弹性部件3，能够基于各种设计变更而形成为各种形态。例如，如图1所示，该夹具主体2具有大于弹性部件3的尺寸的盘状薄片体，其端缘附近从弹性部件3的端缘突出。该夹具主体2也可以形成为尺寸与弹性部件3大致相同的方形的盘状薄片体。夹具主体2只要由能够支承弹性部件3的材料形成即可，例如能够列举出不锈钢以及铝等金属制的薄板、铝箔以及铜箔等金属箔、聚酯、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚苯硫醚、聚酰胺、聚碳酸酯、聚苯乙烯、聚丙烯、聚乙烯以及聚氯乙烯等树脂薄膜或树脂板等。进而，夹具主体2也可以设为层叠多层片状材料而形成的层叠体。弹性部件3设计为与被粘着物的一个平面接触并通过粘着来保持多个被粘着物，例如，如图1所示，在夹具主体2的表面成型为比夹具主体2小一圈的方形盘状体。该弹性部件3例如由后述的具有粘着力的粘着性材料或者该粘着性材料的固化物形成，整个表面成为能够对被粘着物进行粘着保持的粘着性表面。由于通过弹性部件3的粘着性表面与被粘着物的表面接触而粘着保持被粘着物，所以具有能够粘着保持被粘着物的粘着力。具体而言，弹性部件3通常可以具有lg/mm2 60g/mm2的粘着力，也可以具有7g/mm2 60g/mm2的粘着力。弹性部件3的粘着力是利用下述“信越聚合物法”进行测量而得的值。在该方法中，准备下述载荷测量装置，该载荷测量装置具备:对弹性部件3进行水平固定的吸附固定装置(例如，商品名称:电磁吸盘，KET -1530B,日本强力(KANETEC)(株)制造)或者真空吸引夹盘(chuck plate)等；以及在测量部末端安装有形成为直径IOmm的圆柱且由不锈钢(SUS304)制成的触头的数显测力计(商品名称:ZP - 50N，依梦达(IMADA)(株)制造)，将弹性部件3固定于该载荷测量装置的吸附固定装置或者真空吸引夹盘上，并将测量环境设定为21±1°C、湿度50±5%。接下来，使被安装于上述载荷测量装置的上述触头以20mm/min的速度下降直至与弹性部件3的被测量部位接触为止，接着，以规定的载荷且以垂直于被测量部的方式将该触头按压于被测量部位并持续3秒钟。此处，将上述规定的载荷设定为25g/mm2。接下来，以180mm/min的速度拉动上述触头使之与被测量部位分离，此时读取由上述数显测力计测量所得的拉动分离载荷。在被测量部位的多处位置进行该操作，并对所获的多个拉动分离载荷进行算术平均，进而将所获的算术平均值作为弹性部件3的粘着力。
弹性部件3的粘着性表面的最大粗糙度Ry (JIS B0601 — 1994)为Ι.Ομπ! 6.0 μ m。如果弹性部件3的最大粗糙度Ry不足1.0 μ m,则具有最大粗糙度的山峰部分过小，与被粘着物的接触面过度密接而导致被粘着物的脱离性恶化，另一方面，如果弹性部件3的最大粗糙度Ry超过6.0 μ m，则具有最大粗糙度的山峰部分过大，即使按压被粘着物而使山峰部分发生弹性变形，粘着性表面的平坦性也变差，所以无法以高粘着力粘着保持被粘着物，因而，无论过大还是过小，都无法以高水准同时获得高粘着力和被粘着物的脱离性。为了以更高的水准同时获得高粘着力和被粘着物的脱离性从而达成本发明的目的，优选最大粗糙度Ry为1.0 μ m 5.0 μ m，特别优选为2.0 μ m 4.0 μ m。最大粗糙度Ry是粘着性表面不对被粘着物进行粘着保持的状态下的最大粗 糙度Ry，依据JIS B0601 一 1994，在截止值(cut-off ) 0.8_、测量长度2.4mm等的条件下至少对3处位置进行测量，并求出它们的算术平均值。能够通过后述的方法等来调整最大粗糙度Ry。
对于弹性部件3的粘着性表面的凹凸的平均间隔Sm (JIS B0601 一 1994)而言，优选为5.0 μ m 15.0 μ m,更加优选为5.0 μ m 11.0 μ m,特别优选为6.0 μ m 11.0 μ m。如果粘着性表面的凹凸的平均间隔Sm处于上述范围内，则山峰部分与山峰部分(或者山谷部分与山谷部分)之间的间隔变成所需的间隔，所以因山峰部分的弹性变形而被影响的粘着性表面的平坦性进一步提高，能够很好地达成本发明的目的。粘着性表面的凹凸的平均间隔Sm是在粘着性表面未对被粘着物进行粘着保持的状态下的凹凸的平均间隔Sm，基本上是根据JIS B0601 - 1994所记载的测量方法而进行测量。此时，截止值波长为0.8mm，评价长度为2.4_，截止值种类为高斯分布，且是至少3点的算术平均值。能够通过后述的方法等来调整粘着性表面的凹凸的平均间隔Sm。
为了能够很好地达成本发明的目的，对于弹性部件3的粘着性表面的中心线平均粗糙度Ra (JIS B0601 — 1994)而言，优选为0.1ym 0.5μπι，特别优选为0.2μπι 0.4 μ m。粘着性表面的中心线平均粗糙度Ra是在粘着性表面未对被粘着物进行粘着保持的状态下的中心线平均粗糙度Ra，依据JIS B0601 一 1994并在截止值0.8mm、测量长度2.4_等的条件下对至少3处位置进行测量，并计算它们的算术平均值。能够通过后述的方法等来调整粘着性表面的中心线平均粗糙度Ra。
为了很好地达成本发明的目的，对于弹性部件3的粘着性表面的十点平均粗糙度Rz (JIS B0601 - 1994)而言，优选为L O μ m 5.0 μ m，特别优选为2.0 μ m 4.0 μ m。粘着性表面的十点平均粗糙度Rz是粘着性表面未对被粘着物进行粘着保持的状态下的十点平均粗糙度Rz，依据JIS B0601 - 1994并在截止值0.8mm、测量长度2.4mm等的条件下对至少3处位置进行测量，并计算它们的算术平均值。能够通过后述的方法等来调整粘着性表面的十点平均粗糙度Rz。
能够通过以下的方法分别调整弹性部件3的粘着性表面的最大粗糙度Ry、凹凸的平均间隔Sm、中心线平均粗糙度Ra以及十点平均粗糙度Rz。例如，能够举出以下的方法，即、对弹性部件3的粘着性表面进行公知的粗化处理例如喷砂处理等的表面处理方法、使用具有在公知的粗化处理中进行了表面处理后的型腔内表面的成型模具来对弹性部件3进行成型的方法、使弹性部件3或者形成弹性部件3的粘着性材料含有粒状物的方法等。
对使弹性部件3或者形成弹性部件3的粘着性材料含有粒状物的方法(以下称为本发明的表面粗化方法。)进行简单说明。本发明所涉及的表面粗化方法中所使用的粒状物，只要是粒子即可，并不特别限定其形状、材质等，例如能够举出公知的粒状填充剂等。
例如能够举出硅石系填充材料等无机填充剂作为满足上述基准的粒状物。作为硅石系填充材料，例如能够举出气相二氧化硅、烧结二氧化硅等的通过干法合成的二氧化硅、沉淀二氧化硅、以及硅胶等的通过湿法合成的二氧化硅。其中，优选气相二氧化硅、沉淀二氧化硅。
无论粒状物是否为硅石系填充材料，但从难以凝结且在弹性部件3中大致均匀地分散的观点出发，优选利用有机物将粒状物的表面覆盖。将粒状物覆盖的有机物虽然可以是低分子有机化合物，但是从混合时的分散性的观点考虑而优选有机树脂。作为有机树脂，例如能够列举出聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯、聚酯纤维、氟树脂(例如聚四氟乙烯)、聚酰亚胺、聚苯硫醚、聚酰胺、聚碳酸酯等。其中，优选发挥高耐热性以及耐久性的有机树脂。作为这样的有机物覆盖粒状物，例如能够举出覆盖有聚乙烯的二氧化硅等。
无论粒状物是否为硅石系填充材料，但从能够使该粒状物在弹性部件3中大致均匀地分散并能够在上述范围内至少对最大粗糙度Ry、凹凸的平均间隔Sm、中心线平均粗糙度Ra以及十点平均粗糙度Rz中的最大粗糙度Ry进行调整的观点出发，优选其平均粒径为3 μ m 30 μ m，更加优选为3 μ m 20 μ m，特别优选为5 μ m 10 μ m。平均粒径的测量方法依据二次粒径d50 (激光法)。
无论粒状物是否为硅石系填充材料，但从能够使该粒状物在弹性部件3中大致均匀地分散并能够在上述范围内至少对最大粗糙度Ry、凹凸的平均间隔Sm、中心线平均粗糙度Ra以及十点平均粗糙度Rz中的最大粗糙度Ry进行调整的观点出发，相对于形成弹性部件3的橡胶或者树脂的100质量份，优选在弹性部件3中含有I 25质量份的粒状物，特别优选在弹性部件3中含有3 25质量份的粒状物。此外，为了使弹性部件3中含有该粒状物，能够举出对形成弹性部件3的粘着性材料添加粒状物的方法等。
对于弹性部件3的粘着性表面的硬度(JISK6253 (A型杜罗硬度计))而言，优选为5 50，特别优选为30 50。如果粘着性表面处于上述硬度的范围内，则在将被粘着物按压于粘着性表面而对其进行粘着保持时，特别是粘着性表面的山峰部分容易发生弹性变形，使得粘着性表面更加平坦化，从而能够更加牢固地与被粘着物的接触面密接，并能够防止被粘着物的损伤及破损等。此外，能够通过粒状物的含量等而调整弹性部件3的硬度。
优选弹性部件3具有0.05mm 5_左右的厚度。如果该弹性部件3的厚度不足0.05mm,则弹性部件3的机械强度降低，弹性部件3的耐久性不足，另一方面，如果该弹性部件3的厚度超过5mm，则弹性部件3难以进行弹性变形，有时无法容易地从弹性部件3取下被粘着物。
只要通过粘合剂层或底涂层、弹性部件3的粘着力或者固定工具等而将弹性部件3固定于夹具主体2的表面即可，在保持夹具I中，通过粘合剂层或底涂层而将弹性部件3固定于夹具主体2的表面。
只要由能够发挥上述粘着力的粘着性材料或者该粘着性材料的固化物形成弹性部件3即可，作为粘着材料，例如能够举出氟类树脂或者氟类橡胶、含有氟类树脂或者氟类橡胶的氟类组合物、硅树脂或者硅橡胶、含有硅树脂或者硅橡胶的硅组合物、聚氨酯类弹性体、天然橡胶、苯乙烯-丁二烯共聚合成橡胶等各种弹性体等。其中，优选硅橡胶以及/或者含有硅橡胶的附加反应固化型粘着性硅组合物以及过氧化物固化型粘着性硅组合物。作为上述附加反应固化型粘着性硅组合物，例如能够举出日本特开2008 - 091659号公报所记载的含有硅生胶(a)、交联成分(b)、粘着力提高剂(C)、催化剂(d)、硅石系填充材料(e)的粘着性组合物。作为上述过氧化物固化型粘着性硅组合物，例如能够举出日本特开2008 -091659号公报所记载的含有硅生胶(a)、粘着力提高剂(C)、硅石系填充材料(e)、有机过氧化物(f)的粘着性组合物。使粘着性材料在适当的条件下固化。此外，为了利用本发明所涉及的表面粗化方法调整最大粗糙度Ry而使之处于上述范围内，使这些粘着性材料含有规定量的粒状物。
对于保持夹具I而言，由于弹性部件3的粘着性表面具有上述范围内的最大粗糙度Ry，所以如上所述，能够同时得到彼此相反的特性、亦即按压被粘着物时的高粘着力和被粘着物的脱离性，从而能够很好地达成本发明的目的。另外，保持夹具I的粘着性表面的整个表面具有粘着性，必要时能容易地对被粘着物进行粘着保持，所以无需高精度地对被粘着物的粘着保持位置进行定位，生产性以及操作性极其优异。
对本发明所涉及的处理夹具进行说明。本发明所涉及的处理夹具具备:本发明所涉及的保持夹具；以及脱离件，该脱离件沿该保持夹具的弹性部件的表面相对移动以使被粘着保持的被粘着物脱离。本发明所涉及的处理夹具优选用于以下情况，例如为了对多个被粘着物进行制造、输送、收纳或者检查等而暂时粘着保持上述多个被粘着物，然后再取下被粘着保持的被粘着物。本发明所涉及的处理夹具的保持夹具如上所述，例如能够举出保持夹具I等。
本发明所涉及的处理夹具的脱离件只要具有如下实施方式即可，S卩，沿保持夹具的弹性部件的表面相对于保持夹具进彳丁相对移动，由此使被粘着保持于该保持夹具的被粘着物脱离，例如能够适当地举出具有如下被碰撞部的脱离件，该被碰撞部能够碰撞被粘着保持于保持夹具的被粘着物并按压该被粘着物。作为这样的脱离件，例如可以是其前端作为上述被碰撞部而发挥功能的翻倒配置的三棱柱状的刀刃，另外，还可以是本身作为上述被碰撞部而发挥功能的线材等。本发明所涉及的处理夹具的脱离件以与保持夹具的弹性部件的表面接触的状态或者非接触的状态而进行相对移动，优选以非接触的状态进行相对移动。
作为本发明所涉及的处理夹具的一个例子的处理夹具4具备保持夹具I和脱离件5。保持夹具I如上所述，脱离件5如图2所示，例如是形成为翻倒配置的三棱柱状的刀刃，其前端作为上述被碰撞部而发挥功能。从能够使成排地粘着保持于保持夹具I的弹性部件3的多个被粘着物一次性地脱离的观点出发，对于该脱离件5的延伸方向上的长度、亦即三棱柱的高度而言，优选其大于弹性部件3的长度。此外，由于脱离件5的前端作为与被粘着物碰撞的被碰撞部而发挥功能，所以为了防止对被粘着物受到损伤等而可以由弹性材料形成其前端或者使其前端被弹性材料覆盖。
以处理夹具4为例，对使用本发明所涉及的处理夹具而对被粘着物进行处理的处理方法的一个例子(以下，有时称为一种操作方法。)进行说明。该一种操作方法具有使脱离件沿对被粘着物进打粘着保持的保持夹具I的粘着性表面进打相对移动从而取下被粘着物的脱离工序，优选具有将被粘着物按压于保持夹具I的弹性部件3的粘着性表面而对该被粘着物进行粘着保持的保持工序。即，该一种操作方法是对被粘着物进行粘着保持并将被粘着保持的被粘着物取下的方法。
上述粘着工序是将被粘着物按压于弹性部件3的粘着性表面而对该被粘着物进打粘着保持的工序。为了在处理夹具4的保持夹具I将被粘着物保持为立起状态，在弹性部件3上使多个被粘着物在立起状态下排列为规定的图案，并将其底面按压于保持夹具I的弹性部件3的粘着性表面。于是，被粘着物的底面与粘着性表面压接，如上所述，弹性部件3的山峰部分发生弹性变形而使得粘着性表面变得平坦，利用粘着性表面的粘着力将多个被粘着物粘着保持于弹性部件3。作为以该方式对被粘着物进行粘着保持的方法，例如能够举出日本特开2008 - 091659号公报所记载的方法等。具体而言，如果在将具有比被粘着物的轴线长度薄的厚度且形成有能够供被粘着物通过的多个配设孔的立设配置板载置于弹性部件3的状态下，将被粘着物插入到配设孔，接下来使用例如平坦的板状部件等而朝弹性部件3按压该被粘着物的自由端，则弹性部件3被粘着保持于被粘着物。
在该一种操作方法中，为了将粘着保持于被保持夹具I的被粘着物取下，使脱离件5沿保持夹具I的粘着性表面相对移动从而朝侧方按压被粘着物。具体而言，以非接触的方式将脱离件5配置于保持夹具I的粘着性表面附近。此时，即使脱离件5不与保持夹具I的表面接触，只要是本发明所涉及的保持夹具就能够按照预想而使被粘着物脱离。使以该方式配置的脱离件5沿粘着性表面相对地进行前进移动，亦即使其朝被粘着物侧移动。于是，脱离件5的前端与被粘着物的侧面抵接，朝上述方向、亦即侧方按压被粘着物而使其倾斜，弹性变形的山峰部分得以复原，使得粘着性表面形成上述范围内的最大粗糙度Ry，从而使被粘着物的接触面从弹性部件3的粘着性表面剥离。这样，被脱离件5按压的被粘着物从保持夹具I的弹性部件3脱离。这样，利用处理夹具4而能够使被粘着保持的几乎全部被粘着物脱离。
此外，专利文献2所记载的方法是“利用刀刃的前端使粘着层凹陷并在该状态下使刀刃沿粘着层表面方向进行相对移动”的方法，另外，专利文献3所记载的方法是“使刮取单元沿上述粘着材料层的表面并且朝使得上述非粘着部分或者上述低粘着度部分趋向移动方向末端的方向移动而从粘着材料层刮取电子零件的方法”，然而，即便使小型零件刮取部件在弹性材料表面上滑动，有时被粘着物也会翻倒而再次粘着于粘着层表面，从而无法容易地取下小型零件。另外，如果使刮取部件在弹性材料表面上滑动，特别是如果为了可靠地取下被粘着物而将刮取部件强力按压于弹性材料表面上并使其在该弹性材料表面上滑动、或者使刮取部件顺畅地在弹性材料表面上滑动，则有时会因小型零件刮取部件而对弹性材料表面造成损伤、损坏。与此相对，由于本发明所涉及的处理夹具具备脱离性优异的本发明所涉及的保持夹具，因此即使被粘着物翻倒，只要其未被强力按压于粘着性表面就不会发生再次粘着，能够使被粘着保持的几乎全部被粘着物容易地从弹性部件3脱离而不发生再次粘着，还无需使脱离件5在粘着性表面上滑动，也无需将脱离件5按压于该粘着性表面上。因此，本发明所涉及的处理夹具能够高度防止由脱离件对弹性部件造成损伤，尤其是防止对粘着性表面造成损伤。
这样，本发明所涉及的保持夹具以及本发明所涉及的处理夹具能够按照预想而对多个被粘着物进行粘着保持，并且能够容易地使被粘着保持于保持夹具的几乎全部被粘着物脱离。因此，本发明所涉及的保持夹具以及本发明所涉及的处理夹具适用于例如被粘着物的制造工序、分散的被粘着物的回收等。
参照附图对本发明所涉及的组合保持夹具进行说明。本发明所涉及的组合保持夹具具备:第一保持夹具，其构成为包括第一夹具主体和设置于上述第一夹具主体的表面的第一弹性部件；以及第二保持夹具，其构成为包括第二夹具主体和设置于上述第二夹具主体的表面的第二弹性部件，第一保持夹具以及第二保持夹具中的至少一方是本发明所涉及的保持夹具，并且第二弹性部件具有大于第一弹性部件的粘着力的粘着力。在本发明所涉及的组合保持夹具中，优选第一保持夹具以及第二保持夹具中的第二保持夹具是本发明所涉及的保持夹具，特别优选第一保持夹具以及第二保持夹具的双方均为本发明所涉及的保持夹具。在本发明所涉及的组合保持夹具中，除了粘着力不同以外，第一保持夹具以及第二保持夹具的其它结构基本相同。本发明所涉及的组合保持夹具优选用于下述情况，即，例如为了对多个被粘着物的两端部按顺序依次实施规定的处理而制造被粘着物等，在将粘着保持于一方的保持夹具的被粘着物转移到另一方的保持夹具以后，将转移后的被粘着物取下。
如图3所示，作为本发明所涉及的组合保持夹具的一个例子的组合保持夹具6具备:第一保持夹具1A，其构成为包括第一夹具主体2A和设置于该第一夹具主体2A的表面且能够对被粘着物进行粘着保持的第一弹性部件3A ;以及第二保持夹具1B，其构成为包括第二夹具主体2B和设置于该第二夹具主体2B的表面且能够对被粘着物进行粘着保持的第二弹性部件3B。第一保持夹具IA以及第二保持夹具IB与保持夹具I的结构基本相同。
在第一保持夹具IA以及第二保持夹具IB中，第一弹性部件3A和第二弹性部件3B具有能够对被粘着物进行粘着保持的粘着力，通常可以具有lg/mm2 60g/mm2的粘着力(根据上述“信越聚合物法”)，也可以具有7g/mm2 60g/mm2的粘着力。
而且，第二保持夹具IB的第二弹性部件3B具有大于第一弹性部件3A的粘着力的粘着力。第一弹性部件3A以及第二弹性部件3B具有这样的粘着力的关系，由此能够将被粘着物从第一保持夹具IA的第一弹性部件3A转移到第二保持夹具IB的第二弹性部件3B。从能够顺畅地将被粘着物从第一弹性部件3A转移到第二弹性部件3B而不使其脱落的观点出发，对于第一弹性部件3A与第二弹性部件3B的粘着力(上述“信越聚合物法”)之差而言，优选为15g/mm2 43g/mm2,更加优选为18g/mm2 35g/mm2,特别优选为20g/mm2 30g/mm2。能够通过粘着力提高剂的含量以及粒状物的含量等来调整第一弹性部件3A以及3B各自的粘着力。
在组合保持夹具6中，第一保持夹具IA以及第二保持夹具IB都被设为保持夹具I，换言之，第一保持夹具IA的第一弹性部件3A以及第二保持夹具IB的第二弹性部件3B都具有上述范围内的最大粗糙度Ry。如果第一保持夹具IA以及第二保持夹具IB都是保持夹具1，则能够按照预想而对多个被粘着物进行粘着保持，并能够将被粘着保持的几乎全部被粘着物以其被粘着保持的立起状态而从第一保持夹具IA的第一弹性部件3A向第二保持夹具IB的第二弹性部件3B转移。
对本发明所涉及的被粘着物保持装置进行说明。本发明所涉及的被粘着物保持装置具备本发明所涉及的组合保持夹具。参照附图对作为本发明所涉及的被粘着物保持装置的一个例子的被粘着物保持装置进行说明。如图4所示，被粘着物保持装置10是具备包括第一保持夹具IA以及第二保持夹具IB的组合保持夹具，能够对被粘着物进行粘着保持并且能够将被粘着物从第一保持夹具IA转移到第二保持夹具IB的装置。被粘着物保持装置10所具备的组合保持夹具与组合保持夹具6的结构相同。
如图4所示，被粘着物保持装置10构成为，第一保持夹具IA和第二保持夹具IB能够配置成使得第一弹性部件3A与第二弹性部件3B彼此对置。由此，例如能够维持立起状态地将粘着保持于第一保持夹具IA的被粘着物转移到第二保持夹具1B。这样的第一弹性部件3A与第二弹性部件3B的配置可以通过由机械结构构成的移位机构来实现，也可以通过手动来实现。
如图4所示，将夹具主体2A的未形成有第一弹性部件3A的表面侧固定于支承部件14，该支承部件14设置于从保持夹具移位单元12朝下方延伸的支承臂13的末端，从而将第一保持夹具IA支承于保持夹具移位单元12。
该保持夹具移位单元12安装于轨道11，构成为能够沿该轨道11在水平方向上进行运动并且能够使支承臂13沿上下方向进行运动。因此，被支承于该保持夹具移位单元12的第一保持夹具IA能够通过保持夹具移位单元12而沿水平方向以及上下方向移动自如。即，具有悬垂保持被粘着物的第一弹性部件3A的第一保持夹具IA能够被移送到例如浸浴用导电膏的上方、或者从该位置移送到浸浴用导电膏的上方以外的适当的位置例如第二保持夹具IB的上方的位置，并且能够朝第二保持夹具IB下降，而且使被粘着物变为被保持于第二保持夹具IB的第二弹性部件3B，然后使第一保持夹具IA从第二保持夹具IB上升。
进而，该保持夹具移位单元12构成为能够以轨道11为中心轴绕轴进行旋转运动。如果保持夹具移位单元12能够以该方式进行旋转运动，则能够将第一保持夹具IA的状态按照预想而改变为利用第一弹性部件3A悬垂保持被粘着物的状态以及利用第一弹性部件3A立起设置并保持被粘着物的状态。
另外，如图4所示，第二夹具主体2B的未形成有第二弹性部件3B的表面侧被固定于支承部件18，该支承部件18设置于从保持夹具移位单元16朝上方延伸的支承臂17的末端，从而将第二保持夹具IB支承于保持夹具移位单元16。
该保持夹具移位单元16安装于与轨道11大致正交的轨道15，基本上以与保持夹具移位单元12同样的方式而形成。因此，被支承于该保持夹具移位单元16的第二保持夹具IB能够通过保持夹具移位单元16而沿水平方向以及上下方向移动自如，并且该第二保持夹具IB能够以轨道15为中心轴绕轴进行旋转运动。
保持夹具移位单元12以及保持夹具移位单元16的运动机构并未被特别限定，例如能够举出如下运动机构，该运动机构具备:产生驱动力的驱动单元，例如马达；以及将该马达的输出传递到轨道11或者15以及支承臂13或者17的传递单元，例如齿轮、线材等。该运动机构可以由通常的个人计算机等控制，也可以手动控制。
该被粘着物保持装置10构成为，第一保持夹具IA和第二保持夹具IB能够配置成在轨道11与轨道15交叉的位置附近使得第一弹性部件3A与第二弹性部件3B彼此对置。由此，能够将被粘着保持于第一保持夹具IA的被粘着物转移到第二保持夹具1B。
接下来，对使用该被粘着物保持装置10在作为小型电子零件用部件之一的片式电容器主体形成电极而制造作为小型电子零件的片式电容器的方法进行说明，同时对该被粘着物保持装置10的作用进行说明。如图5所示，该片式电容器主体7形成为四棱柱体，例如，如图8所示，片式电容器9构成为在该片式电容器主体7的两端部分别形成有电极8。
为了使用被粘着物保持装置10而在片式电容器主体7形成电极8，首先将片式电容器主体7粘着保持于第一弹性部件3A。具体而言，使保持夹具移位单元12以轨道11为中心轴绕轴进行旋转运动，从而将第一保持夹具IA配置为使得第一弹性部件3A位于上方，例如，如上所述，使用上述立设配置板将片式电容器主体7按压于第一弹性部件3A。于是，第一弹性部件3A因片式电容器主体7而进行弹性变形从而变得平坦，进而将片式电容器主体7粘着保持于第一弹性部件3A。
在以该方式对片式电容器主体7进行粘着保持之后，如图5所示，如果使保持夹具移位单元12以轨道11为中心轴绕轴进行旋转运动，则形成为多个片式电容器主体7被悬垂保持于第一弹性部件3A的状态。接下来，使保持夹具移位单元12 (未图示)沿轨道11(未图示)在水平方向上进行运动，使悬垂保持的多个片式电容器主体7水平移动到浸浴用导电膏(未图示)的上方，使支承臂13朝下方运动来使片式电容器主体7的下端部浸溃入浸浴用导电膏中。片刻之后使支承臂13朝上方运动，使涂覆于片式电容器主体7的导电膏干燥。于是，如图6所示，在悬垂保持于第一弹性部件3A的各片式电容器主体7的下端部形成大小大致均等的电极8。此时，由于按照预想而将被粘着物粘着保持于第一弹性部件3A，所以在浸溃于导电膏之中以及从导电膏提起时，被粘着物不会从第一弹性部件3A脱落或倾斜。
接下来，使保持夹具移位单元12沿轨道11在水平方向上进行运动，使第一保持夹具IA水平移动到第二保持夹具IB的上方，如图7所示，通过使支承臂13朝下方运动而使第一保持夹具IA朝第二保持夹具IB下降。使第一保持夹具IA进一步下降，使粘着保持于第一保持夹具IA的片式电容器主体7的下端部压接于第二保持夹具2A的第二弹性部件3B。于是，第二弹性部件3B因片式电容器主体7而发生弹性变形从而变得平坦，发挥比第一弹性部件3A大的粘着力，所以利用较大的粘着力而使粘着保持于第一弹性部件3A的片式电容器主体7与第二弹性部件3B粘接。接下来，如果通过使支承臂13朝上方运动而使第一保持夹具IA上升，则第二弹性部件3B体现出期望的粘着力并且第二弹性部件3B具有大于第一弹性部件3A的粘着力的粘着力，从而片式电容器主体7经由电极8而牢固地粘接于第二弹性部件3B，片式电容器主体7几乎不残留于第一保持夹具IA的第一弹性部件3A而是脱离该第一弹性部件3A。这样，能够按照预想从第一保持夹具IA向第二保持夹具IB转移多个片式电容器主体7而不使它们脱落或翻倒。
接下来，使保持夹具移位单元16 (未图示)以轨道15 (未图示)为中心轴绕轴进行旋转运动，从而形成为将片式电容器主体7悬垂保持于第二保持夹具IB的状态。然后，与上述方式相同，通过在被悬垂保持的片式电容器主体7的下端部涂覆导电膏并使其干燥而形成电极8。
这样，如图8所示，在片式电容器主体7各自的两端部形成有大小几乎均等的电极8的片式电容器9以悬垂的状态粘着保持于第二保持夹具IB的第二弹性部件3B。而且，例如利用沿第二保持夹具IB的粘着性表面进行相对移动的脱离件5朝侧方按压被粘着保持于该第二保持夹具IB的片式电容器9，从而发生弹性变形后的第二弹性部件3B得以复原，使得上述片式电容器9容易从第二弹性部件3B脱离并落下。
这样，通过使用本发明所涉及的组合保持夹具6以及被粘着物保持装置，能够按照预想而一次性地将多个被粘着物以立起的状态粘着保持于一方的保持夹具，并且在将被粘着物从一方的保持夹具向另一方的保持夹具转移时，能够有效地防止被粘着物在一方的保持夹具上残留或翻倒，能够在保持立起状态不变的情况下将多个被粘着物从一方的保持夹具转移到另一方的保持夹具。即，若使用本发明所涉及的组合保持夹具以及被粘着物保持装置，则能够以良好的生产率制造被粘着物。
本发明所涉及的保持夹具、处理夹具、组合保持夹具以及被粘着物保持装置并不限定于上述例子，在能够达成本申请发明的目的的范围内能够进行各种变更。例如，虽然在上述保持夹具I中弹性部件3的整个表面形成为粘着性表面，但是在本发明中只要弹性部件自身的表面的至少一部分形成为粘着性表面即可。
虽然在上述保持夹具I中夹具主体2以及弹性部件3均形成为矩形，但是夹具主体以及弹性部件只要形成为适合小型零件制造的形状即可，可以根据被粘着物的形状、被粘着物保持装置的形状、制造工序、操作性等而形成任意的形状。例如，保持夹具能够举出正方形、长方形、五边形、六边形等多边形、圆形、椭圆形、不定形或者将上述这些形状组合而成的形状等的板状体。另外，夹具主体2的未形成有弹性部件3的一方的面侧可以是平面形状，也可以是半圆筒体等立体形状。
虽然上述保持夹具I具备呈方形的盘状体的夹具主体2，但是在本发明中，保持夹具可以在弹性部件的局部形成支承部件。另外，该支承部件和弹性部件可以均由具有弯曲性的材料形成。
虽然上述保持夹具I形成为方形的盘状体，但是在本发明中，保持夹具能够根据用途等而适当地形成为环形带状、厚壁的板状体、片状体、长条体等形态。例如，形成为环形带状的保持夹具除了其整体形成为环形带状以外，其它结构形成为基本上与上述保持夹具I相同。因此，该保持夹具包括形成为环形带状的支承部件以及在支承部件的表面层叠成环形带状的弹性部件。
虽然上述处理夹具4构成为具备保持夹具以及脱离件，但是在本发明中，处理夹具也可以具备这些构件以外的部件或者构件，例如可以具备被粘着物的收纳部件、脱离件的驱动单元，另外，还可以具备日本特开2008 — 091659号公报所记载的立设配置板例如上述立设配置板以及将被插入到立设配置板的配设孔的被粘着物朝第一保持夹具按压的压板等。
虽然在上述组合保持夹具6中具备第一保持夹具IA和第二保持夹具1B，但是在本发明中，除了第一保持夹具以及第二保持夹具之外，组合保持夹具还可以具备其它部件或者构件，例如可以具备第三保持夹具、上述脱离件等。
虽然在上述被粘着物保持装置10中具备第一保持夹具IA和第二保持夹具1B，但是在本发明中，除了第一保持夹具以及第二保持夹具之外，被粘着物保持装置还可以具备其它部件或者构件，例如可以具备第三保持夹具、上述脱离件等。
另外，在上述组合保持夹具6以及上述被粘着物保持装置10中，第一弹性部件3A和第二弹性部件3B可以由相同的粘着性材料形成，也可以由不同的粘着性材料形成。
进而，虽然在上述被粘着物保持装置10中轨道11和轨道15配设成大致以直角互相交叉，但是在本发明中轨道与轨道也可以配设成大致平行。
另外，虽然在上述被粘着物保持装置10中保持夹具移位单元12及16构成为能够以轨道11及15为中心轴绕轴进行旋转运动，但是这些保持夹具移位单元也可以构成为无法进行旋转运动。在该情况下，可以在保持夹具移位单元对将片式电容器主体粘着保持于第一弹性部件的第一保持夹具进行支承，也可以通过从保持夹具移位单元取下将片式电容器粘着保持于第二弹性部件的第二保持夹具而将片式电容器从第二弹性部件取下。
实施例
(实施例1)
从不锈钢板(SUS304制成，厚度为0.5mm)切出一条边的长度为120mm的正方形的盘状体。在利用丙酮对该盘状体的一方的表面进行脱脂处理以后，将适量的硅橡胶粘合用底漆(商品名称“X - 33 - 156 - 20”，信越化学工业株式会社制造)涂覆于弹性部件形成区域(一条边的长度为IlOmm的正方形，该正方形的中心与盘状体的中心一致)，在23°C的环境中进行干燥，从而形成底涂层(厚度为3 μ m)。以该方式制成夹具主体2。
作为形成弹性部件3的粘着性材料，准备了具有下述组分的附加反应固化型粘着性硅组合物。
.含有硅生胶(a)、交联成分(b)、粘着力提高剂(C)、催化剂(d)的硅橡胶组合物(商品名称“X - 34 - 632A/B”，信越化学工业株式会社制造)为90质量份
.利用聚乙烯将表面覆盖的平均粒径为10 μ m的硅石为10质量份(硅生胶(a)为100质量份时的换算含量(在第一表中记录的换算含量)为13质量份)
将制成的夹具主体2收纳于金属模具，向在其弹性部件形成区域上所形成的型腔(一条边的长度为110mm、厚度为0.8mm的立方体)浇注准备好的附加反应固化型粘着性硅组合物，在120°C、IOMPa的条件下进行传递模塑成型，接下来，在200°C、4个小时的条件下使其进一步固化，从而在夹具主体2的表面形成弹性部件3而制成了保持夹具I。
(实施例2)
除了将上述硅石的平均粒径变更为6μπι以外，其它条件及步骤基本上与实施例1相同，并由此制成了保持夹具I。
(实施例3 5)
除了将上述硅石的含量分别变更为3质量份(硅生胶(a)为100质量份时的换算含量为4质量份)、7质量份(娃生胶(a)为100质量份时的换算含量为9质量份)以及14质量份(硅生胶(a)为100质量份时的换算含量为18质量份)以外，其它的条件及步骤基本上与实施例1相同，并由此制成了保持夹具I。
(比较例I以及2)
除了将上述娃石的含量变更为O质量份以及21质量份(娃生胶(a)为100质量份时的换算含量为27质量份)以外，其它的条件及步骤基本上与实施例1相同，并由此制成了保持夹具。
(粘着性表面的测量)
基于上述测量方法而对在各实施例以及各比较例中分别制成的保持夹具的粘着性表面的最大粗糙度Ry、凹凸的平均间隔Sm、粘着力以及硬度分别进行了测量，其测量所得的结果如第一表所示。
(粘着性评价)
对约25,000个长方体状的被粘着物(纵0.3mmX横0.3mmX高0.6mm)以同样的方式进行排列，将在各实施例以及各比较例中分别制成的保持夹具的弹性部件的粘着性表面按压于各被粘着物的顶面(纵0.3mmX横0.3mm),并对被粘着物的粘着状态进行了评价。其结果，实施例1 5的保持夹具能够粘着保持大部分的被粘着物，特别是实施例3以及4的保持夹具能够粘着保持几乎全部的被粘着物。另一方面，比较例I及2的保持夹具无法粘着保持大部分的被粘着物。
(脱离性评价)
与上述粘着性评价基本相同，将约25，000个长方体状的被粘着物(纵0.3mmX横0.3mmX 1 0.6mm)以直立状态粘着保持于在各实施例以及各比较例中分别制成的保持夹具的弹性部件，。此外，比较例1及2的保持夹具将该弹性部件牢固地按压于被粘着物并强制性地进行粘着保持。这样，在将被粘着物粘着保持为立起状态以后，以使弹性部件与粘着性表面不接触的方式使聚甲醛制的刀刃沿粘着性表面移动从而将被粘着物刮除。其结果，实施例1 5的保持夹具能够使粘着保持的全部被粘着物脱离而不使弹性部件3受到损伤，显示出出很高的脱离性。另一方面，比较例I及2的保持夹具，特别是比较例I的保持夹具如若不使聚甲醛制的刀刃在与粘着性表面接触或者被按压于粘着性表面的状态下移动则无法使被粘着保持的被粘着物脱离，而且暂时脱离的被粘着物有时会再次粘着于粘着性表面，其脱离性不够充分。
(转印性评价)
利用在实施例3中制成的保持夹具和在实施例5中制成的保持夹具(弹性部件的粘着力的差为22g/mm2)进行了被粘着物的转印试验。具体而言，与上述粘着性评价基本相同，将约25，000个长方体状的被粘着物(纵0.3mmX横0.3mmX高0.6mm)以立起状态粘着保持于在实施例5中制成的保持夹具的弹性部件。接下来，使在实施例3中制成的保持夹具的弹性部件位于实施例5的保持夹具的上方并平稳下降。使实施例3的保持夹具的弹性部件与在实施例5的保持夹具的弹性部件的表面立起设置的多个长方体状的被粘着物的上端部接触。接下来，在接触后又历经了 3秒以后，使实施例3的保持夹具以180mm/min.的速度朝上方升起而使其从实施例5的保持夹具脱离。对脱离后的实施例3的保持夹具对长方体状的被粘着物的保持状态进行了观察，结果表明:残留于实施例5的保持夹具的长方体状的被粘着物的数量不足整体的0.5%，显示出很高的转印性。
表I
权利要求
1.一种保持夹具，其特征在于， 所述保持夹具构成为具备: 夹具主体；以及 弹性部件，该弹性部件设置于所述夹具主体的表面，且其最大粗糙度Ry (JIS B0601 一1994)为 1.0 μ m 6.0 μ m。
2.根据权利要求1所述的保持夹具，其特征在于， 所述弹性部件的凹凸的平均间隔Sm (JIS B0601 - 1994)为5.0 μ m 15.0 μ m。
3.—种处理夹具，其特征在于， 所述处理夹具构成为具备: 权利要求1或2所述的保持夹具；以及 脱离件，该脱离件沿所述保持夹具的弹性部件的表面进行相对移动而使被粘着保持的被粘着物脱离。
4.一种组合保持夹具，其特征在于， 所述组合保持夹具具备: 第一保持夹具，该第一保持夹具构成为具备第一夹具主体和设置于所述第一夹具主体的表面的第一弹性部件；以及 第二保持夹具，该第二保持夹具构成为具备第二夹具主体和设置于所述第二夹具主体的表面的第二弹性部件， 所述第一保持夹具以及所述第二保持夹具的至少一方是权利要求1或2所述的保持夹具，并且， 所述第二弹性部件具有大于所述第一弹性部件的粘着力的粘着力。
5.根据权利要求4所述的组合保持夹具，其特征在于， 所述第二保持夹具是权利要求1或2所述的保持夹具。
6.一种被粘着物保持装置，其特征在于， 所述被粘着物保持装置具备权利要求4或5所述的组合保持夹具。
全文摘要
本发明的课题在于，提供尽管能够按照预想而粘着保持被粘着物但也能够容易地使被粘着保持的几乎全部被粘着物脱离的保持夹具、处理夹具、组合保持夹具以及被粘着物保持装置。解决该课题的本申请发明涉及构成为具备夹具主体(2)以及设置于夹具主体(2)的表面且最大粗糙度Ry(JIS B0601－1994)为1.0μm～6.0μm的弹性部件(3)的保持夹具(1)、构成为具备该保持夹具(1)和脱离件的处理夹具、构成为具备至少一个该保持夹具(1)的组合保持夹具以及具备该组合保持夹具的被粘着物保持装置。
文档编号H01G13/00GK103180923SQ201180050918
公开日2013年6月26日 申请日期2011年10月13日 优先权日2010年11月9日
发明者初见俊明, 木暮浩一 申请人:信越聚合物股份有限公司