专利名称：晶圆粘膜组分离设备的离膜装置的制作方法
技术领域：
本实用新型有关于一种半导体生产设备，尤其指一种晶圆粘膜组分离设备的离膜
>J-U ρ α装直。
背景技术：
在半导体生产中，因薄如纸张的晶圆本身强度不足，为了避免晶圆在生产或运送过程中搬动不易甚至因扭曲造成脆裂，通常会暂时性的贴上特殊材质粘膜或者贴上一层玻璃或硅材质的承载材料作为固定与强化薄晶圆的解决方法。然而，传统的将晶圆粘膜组(即粘接方式连接的晶圆及粘膜)与框架剥离的方式通常采用人工进行，其需要小心翼翼地将晶圆粘膜组从金属框架上取下，以维持粘膜的平整性，并避免因粘膜皱折导致遭客户退货等情形发生；因此，上述方法容易因人工疲劳及施力不均匀而影响剥除效率，且需要耗费较多的人力，造成人力浪费，成本也较高。
实用新型内容为了解决上述问题，本实用新型的发明人针对上述现有技术的缺陷，特潜心研究并配合学理的运用，提供了一种晶圆粘膜组分离设备的离膜装置。本实用新型提供的一种晶圆粘膜组分离设备的离膜装置，利用载具安置于承放框时，吹气机构会将气体吹入框架及晶圆粘膜组之间，使框架及晶圆粘膜组产生分离，以达到生产自动化，进而节省人力、降低制造成本及提高生产效率。本实用新型提供的一种晶圆粘膜组分离设备的离膜装置，包括:一架体；一承放框，设置在该架体内部；一吹气机构，配置在该承放框的上方；以及一吸附机构，配置在该承放框的下方。优选地，该离膜装置还包括一架体，该吹气机构固定在该架体上。优选地，该吸附机构包括一真空吸盘器及连接该真空吸盘器的一升降器。优选地,该吹气机构包括一基体及装设在该基体的一出风器，该基体设有多个风道，每一风道的两侧开口分别朝该出风器及该承放框方向配置。优选地,该吹气机构包括一基体及装设在该基体的一出风器和一升降器，该基体设有多个风道，每一该风道的两侧开口分别朝该出风器及该承放框方向配置。 优选地，该基体朝该承放框方向设有一凹陷部。本实用新型还具有以下有益效果:载具安置于承放框时，吹气机构及吸附机构同步朝载具接近，且吹气机构下降的同时，吹气机构会将气体吹入框架及晶圆粘膜组之间，使框架及晶圆粘膜组产生分离，再将分离后的晶圆粘膜组吸附在吸附机构上，分离后的框架经由移动装置收纳至回收架，以使框架与晶圆粘膜组剥离的方式达到自动化生产的目的，进而节省人力、降低制造成本及提
高生产效率。另外， 出风器经由吹气口引导吹至框架及晶圆粘膜组之间的接缝处，使框架及晶圆粘膜组的分离利用气体均匀充满在两者之间，进而让粘膜的受力也均匀分布，避免剥离下的粘膜产生皱折或变形，使本实用新型离膜装置在剥离过程中，其可有效地维持粘膜的平整性。再者，吹气机构下降的同时，吹气机构会持续将气体吹入框架及晶圆粘膜组之间，使气体分布在基体及晶圆粘膜组之间，让基体及粘膜之间具有一间隔空间，因此可以避免基体碰触到粘膜，更加强维持粘膜的平整性。再者，基体的凹陷部和粘膜共同围设成容置空间，使晶圆容置在容置空间内，让框架与晶圆粘膜组剥离的自动化生产中，晶圆被基体所保护，以避免晶圆于生产中受到损坏。
图1为本实用新型晶圆粘膜组分离设备的组合示意图。图2为本实用新型离膜装置的组合示意图。图3为本实用新型离膜装置的立体组合图。图4为本实用新型离膜装置的第一使用状态示意图。图5为本实用新型离膜装置的第二使用状态示意图。图6为本实用新型离膜装置的第三使用状态示意图。图7为本实用新型离膜装置的第四使用状态示意图。图8为本实用新型离膜装置的第五使用状态示意图。图9为本实用新型离膜装置另一实施例的组合示意图。图10为本实用新型离膜装置另一实施例的另一组合示意图。主要元件符号说明:100…载具；101…框架；102…晶圆粘膜组；1021…粘膜；1022…晶圆；10…晶圆粘膜组分离设备；
I...离膜装置；11...架体；12…承放框；13…吹气机构；131…基体；1311…风道；1312…吹气口；1313…凹陷部；132…出风器；133…升降器；134…容置空间；14…吸附机构；141…真空吸盘器；142…升降器；2…进料架；3…回收架；4...移动装置；41...滑轨；41’…转盘；42…固持器；5…贴保护贴装置；6…贴离形纸装置；7…贴标签装置。
具体实施方式
有关本实用新型的详细说明及技术内容，将配合图式说明如下，但所附图式仅作为说明用途，并非用于局限本实用新型。请参考图1至图8所示，本实用新型提供一种晶圆粘膜组分离设备的离膜装置，用于一载具100，载具100包括相互黏接的一框架101及一晶圆粘膜组102，晶圆粘膜组102包括一粘膜1021及粘设在粘膜1021上的晶圆1022，此晶圆粘膜组分离设备10主要包括一离膜装置1、一进料架2、一回收架3及一移动装置4。离膜装置I包括一架体11、一承放框12、一吹气机构13及一吸附机构14，承放框12设置在架体11内部，此承放框12可为一中空板或如图1所示由两支架所构成，且承放框12设有定位槽可供框架101定位；吹气机构13固定在架体11并配置在承放框12的上方；吸附机构14，配置在承放框12的下方。详细说明如下，吹气机构13包括一基体131及装设在基体131的一出风器132和一升降器133，基体131的外周缘尺寸小于框架101的内周缘尺寸并设有多个风道1311，每一风道1311的两侧开口分别朝出风器132及承放框12方向配置，且每一风道1311在基体131上形成有一吹气口 1312，各吹气口 1312朝框架101及晶圆粘膜组102的接缝处配置，基体131设有一凹陷部1313，凹陷部1313和晶圆粘膜组102形成一容置空间134，使晶圆1022容置在容置空间134内；另外，吸附机构14包括一真空吸盘器141及连接真空吸盘器141的一升降器142，此吸附机构14也可由陶瓷材质制成。进料架2和回收架3分别配置在承放框12的左右两侧，且进料架2设有多个放置槽以供载具100收纳，回收架3设有多个放置槽以供框架101收纳。移动装置4固持框架101并移动于进料架2、承放框12及回收架3之间；此移动装置4包括一滑轨41及滑接于滑轨的一固持器42，滑轨41对应进料架2、承放框12及回收架3配置，使固持器42可将载具100由进料架2放置在承放框12上，或者，固持器42可将框架101由承放框12放置在回收架3上；另外，固持器42可为一机械手臂或一伺服轴，此机械手臂或伺服轴上装设有一夹持件或一吸附件。本实用新型晶圆粘膜组分离设备组合，其利用离膜装置I包括架体11及设置在架体11内部的承放框12、吹气机构13和吸附机构14，吹气机构13配置在承放框12的上方，吸附机构14配置在承放框12的下方；进料架2和回收架3分别配置在承放框12的两侧；移动装置4固持框架101并移动于进料架2、承放框12及回收架3之间。本实用新型离膜装置组合，其利用承放框12设置在架体11内部；吹气机构13配置在承放框12的上方；吸附机构14配置在承放框12的下方。本实用新型晶圆粘膜组分离设备的离膜装置的使用状态如下，首先如图4所示，移动装置4将载具100由进料架2放置在承放框12上；再如图5所示，吹气机构13的升降器133带动基体131朝载具100方向接近，吸附机构14的升降器142也同步带动真空吸盘器141朝载具100方向接近，且基体131下降的同时，出风器132产生气体吹入风道1311，并经由吹气口 1312导引吹至框架101及晶圆粘膜组102之间的接缝处，使框架101及晶圆粘膜组102之间的接缝处产生缝隙，又因气体分布在基体131及晶圆粘膜组102之间，故可避免基体131碰触到粘膜1021 ;又如图6所示，吹气口 1312吹出的气体逐渐布满框架101及粘膜1021之间，导致框架101及晶圆粘膜组102分离；最后，如图7和图8所示，分离后的晶圆粘膜组102吸附在吸附机构14上，另外分离后的框架101则经由移动装置4收纳至回收架3。[0052]载具100安置于承放框12时，吹气机构13及吸附机构14同步朝载具100接近，且吹气机构13下降的同时，吹气机构13会将气体吹入框架101及晶圆粘膜组102之间，使框架101及晶圆粘膜组102产生分离，再将分离后的晶圆粘膜组102吸附在吸附机构14上，分离后的框架101经由移动装置4收纳至回收架3，以使框架101与晶圆粘膜组102剥离的方式达到自动化生产，进而节省人力、降低制造成本及提高生产效率。另外，出风器132通过吹气口 1312引导吹至框架101及晶圆粘膜组102之间的接缝处，使框架101及晶圆粘膜组102的分离是利用气体均匀充满在两者之间，进而让粘膜1021的受力也均匀分布，避免剥离下的粘膜1021产生皱折或变形，使本实用新型离膜装置在剥离过程中,可有效地维持粘膜1021的平整性。再者，吹气机构13下降的同时，吹气机构13会持续将气体吹入框架101及晶圆粘膜组102之间，使气体分布在基体131及晶圆粘膜组102之间，让基体131及粘膜1021之间具有一间隔空间，故可避免基体131碰触到粘膜1021，更加强维持粘膜1021的平整性。再者，基体131的凹陷部1313和粘膜1021之间形成容置空间134，使晶圆1022容置在容置空间134内，让框架101与晶圆粘膜组102剥离的自动化生产中，晶圆1022被基体131所保护，以避免晶圆1022于生产中受到损坏。请参考图9和图10所示，为本实用新型离膜装置另一实施例，本实用新型离膜装置还包括一贴保护贴装置5、一贴离形纸装置6及一贴标签装置7，移动装置4包括一转盘41’及对应转盘41’移动的固持器42，此转盘41’对应承放框12、贴保护贴装置5、贴离形纸装置6及贴标签装置7配置，固持器42固持框架101并移动于承放框12、贴保护贴装置5、贴离形纸装置6及贴标签装置7之间。其中，贴保护贴装置5用以将保护贴贴于晶圆1022上，进而保护晶圆1022 ;贴离形纸装置6用以将离形纸对应粘膜1021胶合，进而封装晶圆1022 ;贴标签装置7用以将标签贴于离形纸上，进而可标示晶圆1022的型号及料号。以上所述实施例仅是为充分说明本实用新型而所举的较佳的实施例，本实用新型的保护范围不限于此。本技术领域的技术人员在本实用新型基础上所作的等同替代或变换，均在本实用新型的保护范围之内。本实用新型的保护范围以权利要求书为准。
权利要求1.一种晶圆粘膜组分离设备的离膜装置，其特征在于，包括: 一架体； 一承放框，设置在该架体内部； 一吹气机构，配置在该承放框的上方；以及 一吸附机构，配置在该承放框的下方。
2.如权利要求1所述的晶圆粘膜组分离设备的离膜装置，其特征在于，该离膜装置还包括一架体，该吹气机构固定在该架体上。
3.如权利要求1所述的晶圆粘膜组分离设备的离膜装置，其特征在于，该吸附机构包括一真空吸盘器及连接该真空吸盘器的一升降器。
4.如权利要求1所述的晶圆粘膜组分离设备的离膜装置，其特征在于，该吹气机构包括一基体及装设在该基体的一出风器，该基体设有多个风道，每一风道的两侧开口分别朝该出风器及该承放框方向配置。
5.如权利要求1所述的晶圆粘膜组分离设备的离膜装置，其特征在于，该吹气机构包括一基体及装设在该基体的一出风器和一升降器，该基体设有多个风道，每一该风道的两侧开口分别朝该出风器及该承放框方向配置。
6.如权利要求4或5所述的晶圆粘膜组分离设备的离膜装置，其特征在于，该基体朝该承放框方向设有一凹陷部。
专利摘要本实用新型涉及一种晶圆粘膜组分离设备的离膜装置，该离膜装置，包括一架体、一承放框、一吹气机构及一吸附机构，承放框设置在架体内部；吹气机构配置在承放框的上方；吸附机构配置在承放框的下方。载具安置于承放框时，吹气机构朝载具接近并同时将气体吹入框架及晶圆粘膜组之间，使载具的框架及晶圆粘膜组产生分离，以达到生产自动化的目的，进而节省人力、降低制造成本及提高生产效率。
文档编号H01L21/683GK202917460SQ20122058253
公开日2013年5月1日 申请日期2012年11月7日 优先权日2012年4月13日
发明者黃郁芬, 戴進福 申请人:世广科技股份有限公司