专利名称：晶圆传输校准装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种晶圆传输校准装置。
背景技术：
在半导体的生产工艺中，经常需要对晶圆进行传输。例如，在离子注入设备进行离子注入时，是将晶圆盒(cassette)内的若干片晶圆轮流传输至离子注入工艺载盘(disk)上进行离子注入的。在晶圆盒和工艺载盘之间的晶圆传输过程的准确性显得十分重要的，如果出现偏差或出现掉片现象，会造成很大的经济损失。请参阅图1至图3，在整个传输过程需要使用晶圆夹持机构实现晶圆的传输和固定，例如需要机械臂(arm)与晶圆夹持器(wafer holder)实现晶圆在晶圆盒(cassette)与离子注入工艺载盘(disk)之间的传输。具体传输过程如下:首先，使用机械臂7从晶圆盒中夹取一片待处理的晶圆1，然后将该待处理的晶圆I交接至晶圆夹持器8上；接着，使用机械臂7从离子注入工艺载盘9上夹取已经处理完成的晶圆1，并将其放回晶圆盒；最后，晶圆夹持器8将待处理晶圆I交接至离子注入工艺载盘9上进行工艺处理，如此形成循环。其中，如图1所示，机械臂7有3个卡盘12，其有四个工作位置；如图2所示，晶圆夹持器8有4个卡盘12，其有3个工作位置；如图3所示，工艺载盘9有三个卡盘12，其只有一个工作位置。三个部件相互作用对晶圆I进行交替传接，位置的要求需要十分精确。然而，由于晶圆I上述传输过程中，是在真空环境下的离子设备内进行，外部很难对晶圆的位置进行控制。目前，对晶圆I的校准方法是，每半年进行一次全方位的校准，或者是在晶圆I传输过程中出现掉片的时候对其进行全方位的校准。晶圆I校准一般是由资深设备工程师在传输过程中，观察机械臂7、晶圆夹持器8和工艺载盘9对晶圆I进行传送时的具体位置。并且，传送晶圆I的时候，还要对两个动作交接时候的位置变化进行确认和观察，如果发生很大问题，应及时更改位置。调节位置的方法为，先通过软件进行微小调节，当位置变化差距很大的情况下，就应该对硬件的位置进行实质性的调节，再经过晶圆I传输进行观察确认。另外，在传送进行位置校准时，通常使用钢制圆片进行，防止在晶圆掉落后不受到影响。上述方法的缺点在于，无法能够准确的证明具体位置，只能靠经验和手法来判断，无法使得每一位工程师都可以进行准确的校准操作。因此，如何提供一种使用方便、并能够保证传输准确性的、高效的的晶圆传输校准装置是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种晶圆传输校准装置，不但使用方便、便捷，而且能够保证传输准确性，使得机械臂、晶圆夹持器和工艺载盘在对晶圆实现准备传输，从而确保工艺的稳定性，提闻广品良率。为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案:[0010]—种晶圆传输校准装置,包括一与晶圆相同大小的检测圆盘、LED显不板、电路板、光电转换器、若干光信号发光体以及若干光纤，所述LED显不板和所述光电转换器分别与所述电路板连接，所述光信号发光体设置于所述检测圆盘上由晶圆夹持机构夹持的部位，每种晶圆夹持机构对应一个LED显示板，所述光纤设置于所述检测圆盘上，且所述光纤在所述光信号发光体位置设有采光口，且所述光纤分别连接至所述光电转换器。优选的，在上述的晶圆传输校准装置中，还包括一控制面板，所述LED显示板、电路板以及光电转换器集成于所述控制面板内。优选的，在上述的晶圆传输校准装置中，所述控制面板设置于所述检测圆盘的中心部位。优选的，在上述的晶圆传输校准装置中，还包括一电源，所述电源与所述电路板连接。优选的，在上述的晶圆传输校准装置中，所述电源设置于所述检测圆盘内。优选的，在上述的晶圆传输校准装置中，所述晶圆夹持机构包括机械臂、晶圆夹持器夹持、工艺载盘中的一种或多种。优选的，在上述的晶圆传输校准装置中，所述晶圆夹持机构通过三个或四个卡盘夹持所述检测圆盘。优选的，在上述的晶圆传输校准装置中，所述光电转换器为光电耦合器。本实用新型提供的晶圆传输校准装置，包括一与晶圆相同大小的检测圆盘、LED显不板、电路板、光电转换器、若干光信号发光体以及若干光纤，所述LED显不板和所述光电转换器分别与所述电路板连接，所述光信号发光体设置于所述检测圆盘上由晶圆夹持机构夹持的部位，每种晶圆夹持机构对应一个LED显示板，所述光纤设置于所述检测圆盘上，且所述光纤在所述光信号发光体位置设有采光口，且所述光纤分别连接至所述光电转换器。若光信号发光体被晶圆夹持机构(例如是机械臂或工艺载盘或晶圆夹持器)的卡盘挡住，对应光纤不能接收到光信号，从而使得光电转换器接收不到光信号，光电转换器会将该信息传输给电路板，电路板会触动LED显示板发出光来，从而告知在外面进行操作的设备工程师检测圆盘(相当于晶圆)的传输位置是正确的，如果光纤不能接收到光信号，使得光电转换器接收到光信号，光电转换器会将该信息传输给电路板，电路板会触动LED显示板不发光，从而告知在外面进行操作的设备工程师该检测圆盘(相当于晶圆)的传输位置是错误的，需要调整。由此可见，本实用新型不但使用方便、便捷，而且能够保证传输准确性，使得机械臂、晶圆夹持器和工艺载盘在对晶圆实现准备传输，从而确保工艺的稳定性，提闻广品良率。
本实用新型的晶圆传输校准装置由以下的实施例及附图给出。图1是机械臂夹持晶圆的结构示意图；图2是晶圆夹持器夹持晶圆的结构示意图；图3是工艺载盘夹持晶圆的结构示意图；图4是本实用新型的晶圆传输校准装置的结构示意图；图5是本实用新型的晶圆传输校准装置的光纤分布示意图；[0026]图6是本实用新型的晶圆传输校准装置的电路示意图；图中，1-晶圆或检测圆盘，2-LED显示板，3_电路板，4_光电转换器，5_光信号发光体，6-光纤，7-机械臂，8-晶圆夹持器，9-工艺载盘，10-控制面板，11-电源，12-卡盘。
具体实施方式
以下将对本实用新型的晶圆传输校准装置作进一步的详细描述。下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有益效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式
作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。请参阅图4飞，其中，图4是本实用新型的晶圆传输校准装置的结构示意图；图5是本实用新型的晶圆传输校准装置的光纤分布示意图；图6是本实用新型的晶圆传输校准装置的电路示意图。这种晶圆传输校准装置，包括一与晶圆相同大小的检测圆盘1、LED显不板2、电路板3、光电转换器4、若干光信号发光体5以及若干光纤6, LED显不板2和光电转换器4分别与所述电路板3连接，所述光信号发光体5设置于所述检测圆盘I上由晶圆夹持机构夹持的部位，每种晶圆夹持机构对应一个LED显示板2，所述光纤6设置于所述检测圆盘I上，且所述光纤6在所述光信号发光体5位置设有采光口，且所述光纤6分别连接至所述光电转换器4。所述检测圆盘I例如是钢制圆片。所述晶圆夹持机构可以包括机械臂7、晶圆夹持器夹持8、工艺载盘9中的一种或多种。本实施例中，所述晶圆夹持机构包括机械臂7、晶圆夹持器夹持8以及工艺载盘9。所述晶圆夹持机构通过三个或四个卡盘12夹持所述检测圆盘，即所述晶圆夹持机构具有三个或四用于夹持所述检测圆盘的卡盘12。请重点参阅图5，并请结合图4，点划线表示的光纤6用于对应机械臂7的夹持部位，也就是说，所述机械臂7有三个用于夹持所述检测圆盘的卡盘12 ;实线表示的光纤6对应晶圆夹持器8的夹持部位，也就是说，所述机械臂7有四个用于夹持所述检测圆盘的卡盘12 ;虚线表示的光纤6对应的工艺载盘9的夹持部位，也就是说，所述机械臂7有三个用于夹持所述检测圆盘的卡盘12。若光信号发光体5被机械臂7和/或晶圆夹持器8和/或工艺载盘9的卡盘12挡住，对应光纤6没有接收到光信号，从而使得光电转换器4接收不到光信号，光电转换器4会将该信息传输给电路板3,电路板3会触动LED显不板2发出光来,从而告知在外面进行操作的设备工程师检测圆盘(相当于晶圆)的传输位置是正确的；若光纤6不能接收到光信号，使得光电转换器4接收到光信号，光电转换器4会将该信息传输给电路板3，电路板3会触使LED显示板不发光，从而告知在外面进行操作的设备工程师该检测圆盘(相当于晶圆)的传输位置是错误的，需要调整。从而，能够实现对晶圆传输的及时、准确校准，保证传输准确性，使得机械臂7、晶圆夹持器8和工艺载盘9在对晶圆实现准备传输，从而确保工艺的稳定性，提闻广品良率。优选的，在上述的晶圆传输校准装置中，还包括一控制面板10，如图4所示，所述LED显示板2、电路板3以及光电转换器4集成于所述控制面板10内。将所述LED显示板
2、电路板3以及光电转换器4集成在一起，不但可以缩小整体所需的体积，而且可以有效保护内部部件。优选的，在上述的晶圆传输校准装置中，所述控制面板10设置于所述检测圆盘I的中心部位。从而可以便于光纤6的铺设，缩短光纤6的传输距离。优选的,请重点参阅图5,并请结合图4和图6,在本实施例中,还包括一电源11,所述电源11与所述电路板3连接。通过电源11可以实现对电路板3的供电，不需要电路板3自带电源。优选的，在上述的晶圆传输校准装置中，所述电源11设置于所述检测圆盘I内，不但保护电源11，而且可以减少检测圆盘I的厚度。本实施例中，所述电源11采用3.5V镍电池。优选的，在上述的晶圆传输校准装置中，所述光电转换器4为光电耦合器。综上所述，本实用新型提供的晶圆传输校准装置，包括一与晶圆相同大小的检测圆盘、LED显不板、电路板、光电转换器、若干光信号发光体以及若干光纤，LED显不板和光电转换器分别与所述电路板连接，所述光信号发光体设置于所述检测圆盘上由机械臂和/或晶圆夹持器夹持和/或工艺载盘的位置，所述光纤设置于所述检测圆盘上，且所述光纤在所述光信号发光体位置设有采光口，且所述光纤分别连接至所述光电转换器。若光信号发光体由机械臂和/或工艺载盘和/或晶圆夹持器的卡盘挡住，对应光纤没有接收到光信号，光电转换器会将该信息传输给电路板，电路板会触动LED显板发出光来,从而告知在外面进行操作的设备工程师检测圆盘(相当于晶圆)的传输位置是正确的；若光纤不能接收到光信号，使得光电转换器接收到光信号，光电转换器会将该信息传输给电路板，电路板会触使LED显示板不发光，从而告知在外面进行操作的设备工程师该检测圆盘(相当于晶圆)的传输位置是错误的，需要调整。从而，能够实现对晶圆传输的及时、准确校准，保证传输准确性，使得机械臂、晶圆夹持器和工艺载盘在对晶圆实现准备传输，从而确保工艺的稳定性，提闻广品良率。显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求1.一种晶圆传输校准装置，其特征在于，包括一与晶圆相同大小的检测圆盘、LED显示板、电路板、光电转换器、若干光信号发光体以及若干光纤，所述LED显不板和所述光电转换器分别与所述电路板连接，所述光信号发光体设置于所述检测圆盘上由晶圆夹持机构夹持的部位，每种晶圆夹持机构对应一个LED显示板，所述光纤设置于所述检测圆盘上，且所述光纤在所述光信号发光体位置设有采光口，且所述光纤分别连接至所述光电转换器。
2.根据权利要求1所述的晶圆传输校准装置，其特征在于，还包括一控制面板，所述LED显示板、电路板以及光电转换器集成于所述控制面板内。
3.根据权利要求2所述的晶圆传输校准装置，其特征在于，所述控制面板设置于所述检测圆盘的中心部位。
4.根据权利要求3所述的晶圆传输校准装置，其特征在于，还包括一电源，所述电源与所述电路板连接。
5.根据权利要求4所述的晶圆传输校准装置，其特征在于，所述电源设置于所述检测圆盘内。
6.根据权利要求1所述的晶圆传输校准装置，其特征在于，所述晶圆夹持机构包括机械臂、晶圆夹持器夹持、工艺载盘中的一种或多种。
7.根据权利要求1所述的晶圆传输校准装置，其特征在于，所述晶圆夹持机构通过三个或四个卡盘夹持所述检测圆盘。
8.根据权利要求1 7中任意一项所述的晶圆传输校准装置，其特征在于，所述光电转换器为光电稱合器。
专利摘要本实用新型提供的晶圆传输校准装置，包括一与晶圆相同大小的检测圆盘、LED显示板、电路板、光电转换器、若干光信号发光体以及若干光纤，所述LED显示板和所述光电转换器分别与所述电路板连接，所述光信号发光体设置于所述检测圆盘上由晶圆夹持机构夹持的部位，每种晶圆夹持机构对应一个LED显示板，所述光纤设置于所述检测圆盘上，且所述光纤在所述光信号发光体位置设有采光口，且所述光纤分别连接至所述光电转换器。本实用新型不但使用方便、便捷，而且能够保证传输准确性，使得机械臂、晶圆夹持器和工艺载盘在对晶圆实现准备传输，从而确保工艺的稳定性，提高产品良率。
文档编号H01L21/677GK203055882SQ20122074881
公开日2013年7月10日 申请日期2012年12月31日 优先权日2012年12月31日
发明者许鹖 申请人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司