摆片装置及其调整方法
【专利摘要】本发明实施例公开了一种摆片装置及其调整方法，属于半导体晶片加工【技术领域】。解决了现有的调整搭片问题的方法比较复杂，影响晶硅太阳能电池的生产效率的技术问题。该摆片装置，包括装载台、传送带和龙门架；装载台用于承载载板，载板上设置有若干个用于摆放硅片的片槽；装载台上设置有至少三个定位器，用于从至少三个方向调节并固定载板的位置；传送带位于装载台的一侧，用于传送待摆放的硅片；龙门架用于将传送带上的硅片摆放到载板上。该调整方法，包括：当硅片偏离片槽时，获取硅片偏离的距离；根据硅片偏离的距离，调节载板、传送带或龙门架的位置。本发明应用于制造晶硅太阳能电池的PECVD系统。
【专利说明】摆片装置及其调整方法
【技术领域】
[0001] 本发明属于半导体晶片加工【技术领域】，具体涉及一种摆片装置及其调整方法。
【背景技术】
[0002] 随着太阳能技术的不断发展，晶硅太阳能电池作为新兴的清洁可再生能源，得 到了越来越广泛的应用。晶硅太阳能电池的制造需要利用等离子体增强化学气相沉积 (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，PECVD)系统，娃片在 PECVD 系统中，首先 要由龙门架将硅片从传送带上摆放到装载台上的载板中（摆片过程)，再进入PECVD系统中 的预热腔、工艺腔、冷却腔、卸载台等进行加工。装载台上设置的夹持气缸可将载板固定在 装载台上，并且载板上设置有若干个用于摆放硅片的片槽，片槽的大小几乎是与硅片相等 的，在摆片过程中应当快捷、准确的将硅片摆放在片槽中，以保证后续镀膜工艺的效率和质 量。
[0003] 本发明人在实现本发明的过程中发现，现有技术至少存在以下问题：在实际的生 产过程中，可能会出现硅片偏离片槽，而导致硅片搭在片槽的边缘上的现象，即搭片现象。 搭片现象的主要原因是夹持气缸对载板的施力不均匀，而使载板的位置产生偏移。目前，只 能通过手动调节夹持气缸将载板重新定位，以调整搭片问题，但是手动调节夹持气缸的力 度很难把握，有时候还需要将夹持气缸卸下来重新安装，这样非常浪费时间，因此现有的调 整搭片问题的方法比较复杂，影响晶硅太阳能电池的生产效率。
【发明内容】
[0004] 本发明实施例提供了一种摆片装置及其调整方法，解决了现有的调整搭片问题的 方法比较复杂，影响晶硅太阳能电池的生产效率的技术问题。
[0005] 为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：
[0006] 本发明提供一种摆片装置，包括装载台、传送带和龙门架；
[0007] 所述装载台用于承载载板，所述载板上设置有若干个用于摆放硅片的片槽；
[0008] 所述装载台上设置有至少三个定位器，用于从至少三个方向调节并固定所述载板 的位置；
[0009] 所述传送带位于所述装载台的一侧，用于传送待摆放的硅片；
[0010] 所述龙门架用于将所述传送带上的硅片摆放到所述载板上。
[0011] 进一步，该摆片装置还包括上料台和机械手；
[0012] 所述上料台用于放置装有硅片的料盒；
[0013] 所述机械手用于将所述料盒中的硅片取出并放置在所述传送带上。
[0014] 优选的，所述定位器为伺服电机。
[0015] 优选的，所述定位器的数量为三个，且该三个定位器分别设置于所述装载台的前 侧、左侧、后侧。
[0016] 本发明还提供一种基于上述摆片装置的调整方法，包括：
[0017] 当硅片偏离片槽时，
[0018] 获取所述硅片偏离的距离；
[0019] 根据所述硅片偏离的距离，调节载板、传送带或龙门架的位置。
[0020] 进一步，在所述获取所述硅片偏离的距离之前，还包括：
[0021] 判断造成所述硅片偏离的原因；
[0022] 则根据所述硅片偏离的距离，调节载板、传送带或龙门架的位置，具体为：
[0023] 根据所述硅片偏离的原因和距离，调节载板、传送带或龙门架的位置。
[0024] 与现有技术相比，本发明所提供的上述技术方案具有如下优点：因为载板是通过 至少三个定位器从至少三个方向固定在装载台上，并且通过定位器能够非常方便的调节并 固定载板的位置，所以当摆片过程中出现搭片现象时，工作人员就可以在获取硅片偏离的 距离之后，根据该距离实时手动调节载板、传送带或龙门架的位置，从而能够简单、快捷的 解决搭片问题，提商晶娃太阳能电池的生广效率。
【专利附图】
【附图说明】
[0025] 为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现 有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。
[0026] 图1为本发明的实施例所提供的摆片装置的结构示意图；
[0027] 图2为本发明的实施例所提供的调整方法的流程图；
[0028] 图3为本发明的实施例所提供的调整方法的另一流程图；
[0029] 图4a和图4b为本发明的实施例中硅片向前后方向偏离的示意图；
[0030] 图5a和图5b为本发明的实施例中硅片向左右方向偏离的示意图；
[0031] 图6a至图6d为本发明的实施例中硅片向斜向方向偏离的示意图。
【具体实施方式】
[0032] 下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完 整地描述。
[0033] 如图1所示，本发明实施例所提供的摆片装置，包括装载台1、传送带2和龙门架 3。装载台1用于承载载板4,载板4上设置有若干个用于摆放硅片41的片槽40 ;装载台1 上设置有至少三个定位器，用于从至少三个方向调节并固定载板的位置。作为一个优选方 案，本实施例中定位器的数量为三个，且其中的第一定位器11、第二定位器12、第三定位器 13分别设置于装载台1的前侧、左侧、后侧，也就是从前方、左方、后方三个方向对载板4施 加压力，以固定住载板4的位置。
[0034] 本发明实施例提供的摆片装置进一步还包括上料台5和机械手（图中未示出）。上 料台5用于放置装有硅片41的料盒6,机械手用于将料盒6中的硅片41取出并放置在装载 台1左侧的传送带2上。龙门架3用于拿取传送带2上摆放的硅片41，并将硅片41摆放到 载板4的片槽40中。
[0035] 优选的，本发明实施例中的定位器为伺服电机，当然在其他实施方式中，定位器也 可以采用其他能够方便调节位置的控制器件。
[0036] 本发明还提供了基于上述摆片装置的调整方法，以调整搭片的问题。如图2所示， 该调整方法包括：
[0037] 当硅片偏离片槽，即发生搭片现象时，获取硅片偏离的距离，当然其中也包括硅片 偏离的方向。
[0038] 然后，根据所获取的硅片偏离的距离及方向，调节载板、传送带或龙门架的位置。
[0039] 进一步，在获取硅片偏离的距离之前，还可以包括判断造成硅片偏离的原因。则如 图3所示，该调整方法包括：
[0040] 当发生搭片现象时，判断造成搭片的原因。具体可以根据搭片的方向及偏离距离 进行判断：
[0041] 通常由传送带或龙门架造成搭片的偏离距离很小，而且由传送带造成的搭片通常 是硅片41相对于片槽40向前或向后偏离（如图4a和图4b所示)，由龙门架造成的搭片通 常是硅片41相对于片槽40向左或向右偏离(如图5a和图5b所示)。如果是由载板偏移造 成的搭片，偏离的距离通常较大，而且硅片41经常相对于片槽40向斜向偏离（如图6a-图 6d所示)。
[0042] 判断出造成搭片的原因之后，再获取硅片偏离的距离及方向。
[0043] 然后，根据硅片偏离的原因、距离及方向，调节载板、传送带或龙门架的位置。
[0044] 例如，当硅片向左前方偏离时，则应当将载板向右后方调整。可由工作人员在控 制软件中输入第一定位器和第三定位器向后移动的距离，再输入第二定位器向右移动的距 离，然后就可以由三个定位器调节载板的位置，并将载板固定。每个定位器对载板调节的距 离通常在1至6毫米之内。
[0045] 又如，当硅片向后偏离且偏离的距离较小时，则仅向前调整传送带的位置即可。由 工作人员在控制软件中输入传送带向前传输的距离，再根据所输入的传输距离调节传送带 就能够解决搭片的问题。或者，当硅片向右偏离且偏离的距离较小时，则仅向左调整龙门架 的位置即可。工作人员在控制软件中输入龙门架向左移动的距离，再根据所输入的移动距 离移动龙门架就能够解决搭片的问题。
[0046] 应当说明的是，在本发明的其他实施方式中，可以根据实际情况将三个定位器的 位置进行变更，比如将三个定位器分别设置在装载台的左侧、后侧、右侧。或者，还可以设置 四个定位器，分别位于载板的前后左右四个方向上。
[0047] 以上所述，仅为本发明的【具体实施方式】，但本发明的保护范围并不局限于此，任何 熟悉本【技术领域】的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应 涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以权利要求的保护范围为准。
【权利要求】
1. 一种摆片装置，其特征在于：包括装载台、传送带和龙门架； 所述装载台用于承载载板，所述载板上设置有若干个用于摆放硅片的片槽； 所述装载台上设置有至少三个定位器，用于从至少三个方向调节并固定所述载板的位 置； 所述传送带位于所述装载台的一侧，用于传送待摆放的硅片； 所述龙门架用于将所述传送带上的硅片摆放到所述载板上。
2. 根据权利要求1所述的摆片装置，其特征在于：还包括上料台和机械手； 所述上料台用于放置装有硅片的料盒； 所述机械手用于将所述料盒中的硅片取出并放置在所述传送带上。
3. 根据权利要求1所述的摆片装置，其特征在于：所述定位器为伺服电机。
4. 根据权利要求1所述的摆片装置，其特征在于：所述定位器的数量为三个，且该三个 定位器分别设置于所述装载台的前侧、左侧、后侧。
5. -种基于权利要求1所述的摆片装置的调整方法，其特征在于，包括： 当硅片偏离片槽时， 获取所述硅片偏离的距离； 根据所述硅片偏离的距离，调节载板、传送带或龙门架的位置。
6. 根据权利要求5所述的调整方法，其特征在于，在所述获取所述硅片偏离的距离之 前，还包括： 判断造成所述硅片偏离的原因； 则根据所述硅片偏离的距离，调节载板、传送带或龙门架的位置，具体为： 根据所述硅片偏离的原因和距离，调节载板、传送带或龙门架的位置。
【文档编号】H01L31/18GK104103711SQ201310122693
【公开日】2014年10月15日 申请日期:2013年4月10日 优先权日:2013年4月10日
【发明者】韩盼盼 申请人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司