一种静电聚焦微通道板光电倍增管的制作方法与工艺

技术特征：
1.一种静电聚焦微通道板光电倍增管，包括球形或椭球形玻璃真空容器内表面上的用来接收光子并产生光电子的光阴极，用来接收从光阴极发射出来的光电子的电子倍增器，用来收集所述电子倍增器所产生倍增电子的阳极，用来将光电子聚焦使其落在所述电子倍增器有效区域上的聚焦电极，用来供电给所述光阴极、聚焦电极、电子倍增器、阳极的供电极，以及支撑所述聚焦电极、电子倍增器、阳极的支撑柱，所述聚焦电极、电子倍增器、阳极置于玻璃真空容器内，所述阳极的信号引线和所述供电极的引线穿过所述玻璃真空容器与外部电路相连，所述聚焦电极、电子倍增器、阳极的中心共轴；其特征在于所述电子倍增器包括两对并列放置且具有一定间隙的微通道板构成；其中，每对微通道板的两块微通道板之间设置有绝缘垫片，所述每对微通道板的两块微通道板的间隙范围为60μm～500μm、间隙电压在50～1000V可调。2.如权利要求1所述的光电倍增管，其特征在于每对微通道板以竖直布置的方式置于所述阳极的两侧。3.如权利要求1所述的光电倍增管，其特征在于所述支撑柱的支撑所述聚焦电极、电子倍增器、阳极的一端，即所述支撑柱上端的外表面为绝缘层；所述支撑柱下端外表面为导电层且与所述光阴极电连接。4.如权利要求1或3所述的光电倍增管，其特征在于所述支撑柱的内部为带孔的绝缘材料，所述聚焦电极、微通道板以及阳极各电压引线和所述阳极的信号线通过所述支撑柱内部的孔与所述玻璃真空容器底座上的芯柱相应的插针连接。5.如权利要求1或3所述的光电倍增管，其特征在于所述支撑柱通过一陶瓷骨架(107)支撑所述聚焦电极、电子倍增器、阳极；其中所述陶瓷骨架两侧设有对称的凹槽，每一侧的凹槽内依次安装阳极片(200)、绝缘环(201)、栅网(202)、绝缘环(201)、第一电极环(203)、微通道板(105)、第二电极环(204)、绝缘环垫片(205)、第三电极环(206)、微通道板(105)、压环电极环(207)、固定盖板(108)、压盖聚焦环(104)；所述阳极片(200)、绝缘环(201)、栅网(202)构成所述阳极，所述压盖聚焦环(104)为所述聚焦电极；所述陶瓷骨架(107)两侧的第一电极环(203)、微通道板(105)、第二电极环(204)、绝缘环垫片(205)、第三电极环(206)、微通道板(105)、压环电极环(207)构成所述电子倍增器。6.如权利要求1或3所述的光电倍增管，其特征在于所述聚焦电极为薄金属环带，竖直环绕在所述电子倍增器外围，其中心与微通道板同心。7.如权利要求6所述的光电倍增管，其特征在于所述聚焦电极的外围设置一细金属圆环作为辅助聚焦电极，并与所述聚焦电极位于同一平面且同心。8.如权利要求1所述的光电倍增管，其特征在于所述阳极为共轴的两个相同阳极结构单元，分别接收两组所述微通道板的倍增电子。9.如权利要求8所述的光电倍增管，其特征在于所述阳极结构单元为金属栅网加金属薄片构成的阳极结构或微带线阳极结构。10.如权利要求1所述的光电倍增管，其特征在于所述阳极为两个金属栅网加一个阳极片构成；或者在一个基片的两侧制作微带线阳极结构，两侧面上的蛇形导电层与匹配的导线连接后，馈入阳极信号线。